Resumo
As técnicas de nanofabricação têm desempenhado um papel fundamental na investigação de novos materiais e suas transformações em dispositivos habilitadores de novas tecnologias. No centro de todas essas tecnologias está o processo de litografia, onde um padrão desejado é transferido para um filme fino em um substrato adequado (por exemplo, silício, semicondutores do tipo III-V, niobato de …