CV Lattes
Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem:
Patrick Bernard Verdonck em auxílios à pesquisa e bolsas apoiadas pela FAPESP.
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Corrosão e deposição por plasma são técnicas indispensáveis para a fabricação de circuitos integrados e micromáquinas. Neste projeto pretendemos combinar pesquisa básica com desenvolvimento de processos. Programas de simulação por plasma serão verificados e melhorados, utilizando medidas de plasmas reais com sondas eletrostáticas e de fluxo de íons e com medidores de tensão e corrente. De…
Neste projeto será feito um estudo de plasmas fluorados acoplados indutivamente (inductively coupled plasmas - ICP) Estes plasmas têm a grande vantagem sobre plasmas tipo "Reactive lon Etching - RIE" que a densidade do plasma é muito maior. Desta maneira, processos de corrosão com melhores características podem ser obtidos com estes plasmas tipo ICP. Serão analisados plasmas a base de CF4…
O projeto consiste em desenvolver processos de corrosão por plasma para a fabricação de elementos ópticos difrativos. Serão desenvolvidos processos de corrosão de filmes de carbono amorfo hidrogenado e de sílica fundida, utilizando plasma tipo "Reactive Ion Etching" respectivamente com O2 e com CF4 puro. Esses processos serão caracterizados, determinando taxas de corrosão, uniformidade, …
O projeto é principalmente um estudo de plasmas acoplados indutivamente (inductively coupled plasmas - ICP) Estes plasmas têm a grande vantagem sobre plasmas tipo "Reactive lon Etching - RIE" que a densidade do plasma é muito maior. Desta maneira, processos de corrosão de melhores características podem ser obtidos com estes plasmas tipo ICP. Após o estudo bibliográfico, serão analisados p…
As características (energia e densidade de elétrons e íons, potenciais de plasma e de eletrodos) de um plasma frio podem ser modificado injetando elétrons com densidade e energia controladas. Desta maneira é possível caracterizar melhor plasmas capacitivamente e indutivamente acoplados, e modificar as características de processos de corrosão por plasma. Neste trabalho pretendemos fazer es…