ガス系の英語

フッ素系ガス分解装置およびフッ素系ガス分解方法例文帳に追加

APPARATUS FOR DECOMPOSING FLUORINE-CONTAINING GAS AND METHOD THEREFOR - 特許庁

Ｎ系ガスまたはＳ系ガス除去部材例文帳に追加

N-BASED OR S-BASED GAS REMOVING MEMBER - 特許庁

原料ガスは、炭化水素系ガスと有機シラン系ガスと酸素源ガスとを含む。例文帳に追加

Raw material gas contains hydrocarbon gas, organic silane gas and oxygen source gas. - 特許庁

ハロゲン系ガス及び酸性ガスの除害剤例文帳に追加

AGENT FOR DETOXIFYING HALOGEN-BASED GAS AND ACIDIC GAS - 特許庁

また、エッチングガスとして、ハロゲン系ガスを用いる。例文帳に追加

As the etching gas, halogen-based gas is used. - 特許庁

フッ素系ガス及び水素ガス発生装置例文帳に追加

APPARATUS FOR GENERATING FLUORINE-BASED GAS AND HYDROGEN GAS - 特許庁

排ガス脱臭方法及び排ガス脱臭触媒系例文帳に追加

TAIL GAS DEODORIZATION METHOD AND TAIL GAS DEODORIZATION CATALYST SYSTEM - 特許庁

主ガスとして、ＳｉＨ_４／Ｈ_２系のガスを用いている。例文帳に追加

As main gas, SiH_4/H_2 gas is used. - 特許庁