Auger electronsとは 意味・読み方・使い方

The position to be analyzed by characteristic X-rays or Auger electrons is corrected by measuring the amount of sample displacement, by a position detecting means having high detection efficiency, such as secondary electrons, passed electrons or the like.例文帳に追加

検出効率が高い二次電子あるいは透過電子等の位置検出手段により試料変位量を計測して特性Ｘ線あるいはオージェ電子による分析を行う位置を補正する。 - 特許庁

An electron beam is projected from an electron gun 11 onto a sample S to be analyzed, in order to cause Auger electrons to be emitted from the sample S.例文帳に追加

電子銃１１から分析すべき試料Ｓに対して電子線を照射し、試料Ｓからオージェ電子を放出させる。 - 特許庁

Numerical values based on the photoelectrons and Auger electrons and another numerical values based on the fluorescent X rays are brought to correspond with each other in a processing section 29, and then the numerical value based on the photoelectrons and Auger electrons is subtracted from the numerical value based on the fluorescent X rays, thereby obtaining an absorption coefficient with respect only to the inward side of the sample S.例文帳に追加

処理部２９で光電子及びオージェ電子に基づく数値と蛍光Ｘ線に基づく数値とを対応させた後、蛍光Ｘ線に基づく数値から光電子及びオージェ電子に基づく数値を減じて、試料Ｓの内部側だけの吸収係数を得る。 - 特許庁

Then, only Auger electrons AE, having emission polar angles in a range of 26±2 degrees and being selected from the Auger electrons, are introduced into a space between an inner cylindrical electrode 13 and an outside cylindrical electrode 14 arranged so as to surround the electron gun 11 and deflected by a deflection electric field, whereby an analysis is carried out.例文帳に追加

次いで、前記オージェ電子の内、放出極角が２６±２度の範囲にあるオージェ電子ＡＥのみを、電子銃１１を囲むようにして設けられた内円筒電極１３及び外円筒電極１４間に導入し、偏向電場により偏向させて分析に供する。 - 特許庁

One X-ray spectrum is obtained from the photoelectrons and Auger electrons emitted from the sample S in an electron yield spectrum detecting section 25 of an XAFS analysis apparatus 1.例文帳に追加

ＸＡＦＳ分析装置１の電子収量スペクトル検出部２５において試料Ｓから放出された光電子及びオージェ電子に基づいてＸ線吸収スペクトルを得る。 - 特許庁

Information about a sample is determined by detecting Auger electrons, secondary ions, secondary neutral particles, primary neutral particles, scattered ions, and additional particles such as photons from the sample.例文帳に追加

試料からオージェ電子、二次イオン、二次中性粒子、一次中性粒子、散乱イオン及び光子等の追加の粒子を検出することにより試料についての情報を決定するように構成する。 - 特許庁

The Auger electrons that are captured by the input lens 12 are subjected to energy selection by an analyzer 1, and an electron that is selected by the analyzer 13 is detected by a detector 14.例文帳に追加

インプットレンズ１２に捕集されたオージェ電子はアナライザ１３でエネルギー選別され、アナライザ１３で選択された電子が検出器１４で検出される。 - 特許庁

On the other hand, the Auger electrons that have high energy and are discharged to the outer direction of the contact hole (h) are discharged to the outside of the hole from the bottom of the contact hole (h) by own kinetic energy.例文帳に追加

一方、エネルギーが高く、コンタクトホールｈの外の方向へ放出されたオージェ電子は、それ自身の運動エネルギーによってコンタクトホールｈの底から穴の外に放出される。 - 特許庁