Cassette Stationとは意味・読み方・使い方

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Weblio専門用語対訳辞書での「Cassette Station」の意味

Cassette Station

カセットステーション

カテゴリ液晶技術用語

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「Cassette Station」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 58件

例文

CASSETTE FLOATING STAGE AND CASSETTE STATION USING THE SAME例文帳に追加

カセットフローティングステージおよびこれを用いたカセットステーション - 特許庁

A vacant cassette which is carried onto the cassette loading stage 12 by the external cassette carrying device A and after transporting wafers W to a processing station are transferred to the vacant cassette loading stage by a cassette transfer mechanism 22 to store it temporarily.例文帳に追加

外部カセット搬送装置Ａによりカセット載置台１２に搬入され、ウェハＷが処理ステーションに搬送された空のカセットは、カセット移送機構２２により空カセット載置台に一時的に貯め置かれる。 - 特許庁

Two station blocks B1 and B2 which apply resist on wafers are connected to a cassette station S1, where wafer cassettes are loaded or unloaded, and furthermore a station block B3 which carries out a developing process is also connected to the cassette station S1.例文帳に追加

ウエハカセットを搬入出するカセットステーションＳ１に、レジストの塗布を行う例えば２つのステーションブロックＢ１、Ｂ２を接続し、更に現像を行うステーションブロックＢ３を接続する。 - 特許庁

A cassette station S1, a process station S3 having an applying station 42 and a developing unit 41, and an inspecting station having a film thickness inspector 31 and a defect inspector 32 are arranged approximately right angles to a cassette 22 array in the cassette station S1, with the inspecting station S2 being disposed between the cassette and the process stations S1, S3.例文帳に追加

カセットステーションＳ１と、塗布ユニット４２と現像ユニット４１とを備えた処理ステーションＳ３と、膜厚検査装置３１と欠陥検査装置３２とを備えた検査ステーションＳ２とを、カセットステーションＳ１のカセット２２の配列方向にほぼ直交する方向に、前記検査ステーションＳ２が前記カセットステーションＳ１と処理ステーションＳ３との間に設けられるように配置する。 - 特許庁

An empty cassette carried in the cassette mounting base 12 by the external cassette conveying device A and from which a wafer W has been conveyed to a treatment station is temporarily stored on the empty cassette mounting base.例文帳に追加