Chamber Cleaningとは 意味・読み方・使い方

CHAMBER FOR TONER CLEANING AND CLEANING METHOD例文帳に追加

トナー清掃用チャンバー、及び清掃方法 - 特許庁

SUBSTRATE CLEANING CHAMBER, AND CLEANING AND CONDITIONING METHODS例文帳に追加

基板洗浄チャンバ、洗浄及びコンディショニング方法 - 特許庁

A chamber has a cleaning chamber and a drying room located above the cleaning chamber.例文帳に追加

本発明によると、チャンバは洗浄室とその上部に位置する乾燥室を有する。 - 特許庁

The cleaning device 1 for applying cleaning processes to the wafer W in the order of SPM cleaning, rinse cleaning, SCI cleaning, rinse cleaning and drying treatment is provided with an outside cleaning chamber 2, an inside cleaning chamber 4 and an elevator structure 6 for taking in and out the inside cleaning chamber 4 into and from the outside cleaning chamber 2.例文帳に追加

ＳＰＭ洗浄，リンス洗浄，ＳＣ１洗浄，リンス洗浄，乾燥処理の順番でウェハＷに対して洗浄工程を施す洗浄装置１において，外洗浄室２と，内洗浄室４と，外洗浄室２内に内洗浄室４を出し入れする昇降機構６とを備えている。 - 特許庁

To provide a substrate cleaning chamber, chamber components, and a substrate cleaning method.例文帳に追加

基板洗浄チャンバ、チャンバコンポーネント及び基板洗浄方法を提供する。 - 特許庁

LOCAL CLEANING TRANSFER CHAMBER AND LOCAL CLEANING TREATMENT EQUIPMENT例文帳に追加

局所クリーン化搬送室および局所クリーン化処理装置 - 特許庁

METHOD OF CLEANING CVD CHAMBER AND CLEANING GAS USED THEREFOR例文帳に追加

ＣＶＤチャンバーのクリーニング方法およびそれに用いるクリーニングガス - 特許庁

DEVICE FOR FORMING ISOLATION CHAMBER AND METHOD FOR CLEANING AND FUMIGATING ISOLATION CHAMBER例文帳に追加

隔離室形成装置、及び、隔離室清浄燻蒸方法 - 特許庁