RF Power Generatorとは 意味・読み方・使い方

A power generation system includes an RF power generator which provides an RF output power.例文帳に追加

電力発生システムは、ＲＦ出力電力を供給するＲＦ電力発生器を備える。 - 特許庁

An RF power generator is coupled to the cathode electrode.例文帳に追加

ＲＦパワー発生器がカソード電極に結合されている。 - 特許庁

RF power is supplied to the plasma container from the RF generator through the controlled impedance network.例文帳に追加

ＲＦパワーが、ＲＦ発生器から制御されたインピーダンス・ネットワークを通してプラズマ容器に供給される。 - 特許庁

The apparatus includes an RF generator 10 configured to generate an RF signal, an RF amplifier responsive to the RF signal to produce a VHF-RF signal having sufficient power to drive a plasma chamber load 16, and a VHF-band circulator 32 coupled to the amplifier and configured to isolate nonlinearities of the plasma chamber load 16 from the amplifier.例文帳に追加

ＲＦ信号を発生するように構成されたＲＦ発生器１０と、ＲＦ信号に応答し、プラズマチャンバ負荷１６を駆動するのに十分な電力を有するＶＨＦ・ＲＦ信号を生成するＲＦ増幅器と、増幅器に結合され、プラズマチャンバ負荷１６の非線形性を増幅器から分離するように構成されたＶＨＦ帯サーキュレータ３２とを含んでいる。 - 特許庁

To provide a scalable radio frequency (RF) generator including at least one power supply, at least one power amplifier receiving input from the power supply, a power supply control module, and a system controller.例文帳に追加

少なくとも１つの電源と、電源からの入力を受信する少なくとも１つの電力増幅器と、電源制御モジュールと、システム制御装置とを備えたスケーラブルな無線周波（ＲＦ）発生器を提供する。 - 特許庁

The present invention relates to a scalable RF generator including at least one power supply, at least one power amplifier receiving input from the power supply, a power supply control module, and a system controller.例文帳に追加

少なくとも１つの電源と、電源からの入力を受信する少なくとも１つの電力増幅器と、電源制御モジュールと、システム制御装置とを備えたスケーラブルな無線周波（ＲＦ）発生器。 - 特許庁

A power divider (44) is adapted so that an RF signal generated by a signal generator (42) can be distributed, as signals equal in power, to the respective conductive members (36).例文帳に追加

信号発生器（４２）により発生したＲＦ信号が複数の導電性部材の各々に等しいパワーの信号で分布するようにパワー分割器（４４）を適応させている。 - 特許庁