ablation configurationとは 意味・読み方・使い方

To provide a thin film deposition apparatus for laser beam ablation to obtain a thin film of uniform film thickness and large area by adding a very simple configuration to an apparatus for depositing thin film by applying laser beam ablation process.例文帳に追加

レーザ・アブレーション用薄膜作製装置に関し、レーザ・アブレーション法を実施して薄膜を成膜する装置に極めて簡単な構成を付加することで、膜厚が均一で且つ大面積の薄膜が得られるようにする。 - 特許庁

To provide a laser ablation mechanism in which an operation is facilitated by a simple mechanism configuration, a deposition operation is made possible for a long period of time, nonuniform and futile consumption of a target is reduced, and the yield of using a costly target material can be greatly enhanced.例文帳に追加

簡素な装置構成で運転が容易で長期間に亘り安定的に成膜操作が可能であり、またターゲットの不均一で無駄な消耗が少なく高価なターゲット材料の使用歩留りを大幅に高めることが可能なレーザーアブレーション装置を提供する。 - 特許庁