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anchor troughとは 意味・読み方・使い方
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Here the beam structure body 2A is supported and fixed by the first substrate 60 by an anchor part, which is formed as an embedding part by burying a polysilicon film 68 having an etching proof performance and a polysilicon nitride film 69 in a trench 66, passing trough the oxide film 61 from the second substrate 62.例文帳に追加
ここにおいて、梁構造体２Ａは、第２の基板６２の表面から酸化膜６１を貫通する溝６６に耐エッチング性を有するポリシリコン膜６８及びシリコン窒化膜６７を埋め込むことにより埋め込み部として形成されたアンカー部３ａ〜３ｄによって、第１の基板６０に支持固定されている。 - 特許庁
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