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To provide a method for verifying a photomask with precision and high reliability for easily detecting a program error (bug) of an OPC (optical proximity correction) rule and correcting the program.例文帳に追加
ＯＰＣ補正ルールのプログラムミス（バグ）を容易に検出してプログラムを修正することができる精密で信頼度の高いフォトマスク検証方法を提供する。 - 特許庁
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