condensation pathwayとは 意味・読み方・使い方

The mechanical refrigerating machine used for 3He condensation in the dilution refrigerating device, is structurally separated from a body part of the dilution refrigerating machine, and 3He can be promptly cooled by using liquid He from a He vessel for auxiliary cooling, in 3He condensation in a 3He circulating pathway in starting the dilution refrigerating machine.例文帳に追加

希釈冷凍装置において３Ｈｅ凝縮のために用いる機械式冷凍機を、希釈冷凍機の本体部分から構造的に分離し、かつ希釈冷凍機の起動時に３Ｈｅ循環経路における３Ｈｅ凝縮に補助冷却用Ｈｅベッセルからの液体Ｈｅを用いて３Ｈｅを迅速に冷却できる構成とした。 - 特許庁

To deliver liquid precursors to a vaporizer, to efficiently vaporize the precursors, to deliver the vaporized precursors to the surface of a substrate, to exhaust an apparatus while maintaining elevated temperatures in a chamber, to prevent unwanted condensation or decomposition of the precursors along a pathway and to avoid temperature gradients in the apparatus.例文帳に追加

流体前駆物質をバーポライサに送出し、前駆物質を効率的に気化し、気化前駆物質を基板の表面に送出し、チャンバ内の上昇温度を維持しながら装置を排気し、パスウエイ（通路）に沿って前駆物質の不要な凝固または分解を阻止し、装置中の温度傾斜を回避する。 - 特許庁