disilaneとは 意味・読み方・使い方

After supplying the disilane gas, chlorine-based gas is supplied into the treatment chamber (step 104).例文帳に追加

ジシランガス供給後、処理室内に塩素系ガスを供給する（ステップ１０４）。 - 特許庁

METHOD OF FORMING HIGH QUALITY SILICON OXIDE FILM BY REMOTE PLASMA CVD FROM DISILANE PRECURSOR例文帳に追加

遠隔プラズマＣＶＤによりジシラン前駆体から高品質シリコン酸化膜を形成する方法 - 特許庁

To provide a novel amino-disilane suitable, for example, for forming a silicon carbonitride film by a heat CVD method.例文帳に追加

、例えば熱ＣＶＤ法での炭窒化珪素膜の形成に好適な新規なアミノジシランを提供する - 特許庁

To provide a method for easily and safely producing a disilane in high yield at a low cost.例文帳に追加

ジシランを安全、簡便かつ安価に、高収率で製造できる方法を提供することにある。 - 特許庁

The coating composition is composed mainly of specific composite oxide particles, a silane compound, a disilane compound and an epoxy compound.例文帳に追加

特定の複合酸化物微粒子、シラン化合物、ジシラン化合物、およびエポキシ化合物を主成分とするコーティング用組成物。 - 特許庁

The intermediate layer, which contains an epoxy compound, a polyfunctional silane compound and a disilane compound is formed on the base material.例文帳に追加

基材に、エポキシ化合物、多官能シラン化合物、ジシラン化合物を含有する中間層を形成する。 - 特許庁

To provide a method for producing an allylsilane from a simple alkene and a disilane.例文帳に追加

本願発明は、単純アルケンとジシランからアリルシラン類を製造することができる方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

The method for producing an allylsilane in high regioselectivity includes reacting a 1-alkene being a simple alkene with a disilane in the presence of palladium trifluoroacetate catalyst in an oxygen atmosphere.例文帳に追加

本願発明は、単純アルケンである１−アルケンおよびジシランをトリフルオロ酢酸パラジウム触媒存在下、酸素雰囲気下で反応させることにより、高い位置選択性でアリルシラン類を製造する方法に関する。 - 特許庁