dry etching systemとは 意味・読み方・使い方

METHOD AND DEVICE OF DETECTING END POINT OF ETCHING AND DRY ETCHING SYSTEM例文帳に追加

エッチング終点検出方法及び装置並びにドライエッチング装置 - 特許庁

To provide a dry etching method which enables dry etching at lower temperatures, and to provide a dry etching system.例文帳に追加

より低い基板温度においてドライエッチングを可能にするドライエッチング方法およびドライエッチング装置を提供する。 - 特許庁

DRY ETCHING SYSTEM AND ITS MAINTAINING METHOD例文帳に追加

ドライエッチング装置及びそのメンテナンス方法 - 特許庁

METHOD AND SYSTEM FOR DRY-ETCHING METAL NITRIDE例文帳に追加

金属窒化物を乾式エッチングする方法及びシステム - 特許庁

MANUFACTURING METHOD USING DRY ETCHING SYSTEM例文帳に追加

ドライエッチング装置を用いる製造方法 - 特許庁

SYSTEM FOR PROCESSING EXHAUST GAS OF DRY ETCHING例文帳に追加

ドライエッチング排ガス処理装置 - 特許庁

DRY ETCHING METHOD AND SYSTEM例文帳に追加

ドライエッチング方法およびその装置 - 特許庁

METHOD AND SYSTEM FOR DRY ETCHING例文帳に追加

ドライエッチング方法及びドライエッチング装置 - 特許庁