face chuckとは 意味・読み方・使い方

The electrostatic chuck 10 is provided with a plurality of chuck regions 16 on the upper face of a chuck stand 13.例文帳に追加

本発明の静電チャック１０は、そのチャック台１３の上面に、複数のチャック領域１６を備えている。 - 特許庁

The chuck 1 is closed by pressurizing a binder 2 on the tapered face IC of the chuck 1, retaining an optical fiber 5 with the holding part ID of this chuck 1.例文帳に追加

チャック１のテーパー面１Ｃに締具２が押圧されてチャック１が閉じられ、チャック１の保持部１Ｄにより光ファイバー５を保持する。 - 特許庁

Of the cross section of the chuck face 12 of the chuck table 11 of the cleaning member 31 cut along a flat plane perpendicular to a radial direction J at least a portion comprises a curved line in contact with the chuck face 12 of the chuck table 11.例文帳に追加

洗浄部材３１のチャックテーブル１１のチャック面１２の半径方向Ｊに垂直な平面で切った断面のうち、少なくともチャックテーブル１１のチャック面１２に接触する部位は曲線で構成されている。 - 特許庁

The wafer guide plate (7) is moved and it is stopped at a fixed position where the chuck abutting face (11) abuts on the chuck reference face (10).例文帳に追加

上記ウエーハガイド板（７）を移動し上記チャック当接面（１１）がチャック基準面（１０）に当接した定位置で停止させる。 - 特許庁

A part 6b of the support 6 is buried in the chuck face S1 and the remaining part 6a is projected from the chuck face S1.例文帳に追加

被吸着物支持体６の一部分６ｂはチャック面Ｓ１に埋まっていて、残りの部分６ａがチャック面Ｓ１から突出している。 - 特許庁

CHUCK, PROCESSING UNIT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING CHUCKING FACE例文帳に追加

チャック、処理ユニット、基板処理装置およびチャック面洗浄方法 - 特許庁

The chuck plate 4 is connected to the front face of the front mass 19 by bolts.例文帳に追加

チャック板４をフロントマス１９の前面にボルトにより接合する。 - 特許庁

According to the method, the dimples 6 are transferred onto the chuck face S1.例文帳に追加

その結果、チャック面Ｓ１にディンプル６が転写形成される。 - 特許庁