microbridgeとは 意味・読み方・使い方

A pair of resistors 6 and 7 is arranged and formed on a microbridge 3 of a microbridge sensor 1 so that the side thereof higher or lower in the resistance value thereof is at the upstream point of a fluid and the other side thereof at a downstream point thereof.例文帳に追加

マイクロブリッジセンサ１のマイクロブリッジ３上には一対の抵抗体６，７を抵抗値の高い方または低い方が流体の上流側に他方が流体の下流側になるように配置して形成されている。 - 特許庁

To improve yields of a microbridge sensor by expanding an allowable range in the scattering of a difference between resistance values between a pair of resistors.例文帳に追加

一対の抵抗体の間で、抵抗値の差のばらつきが許容される範囲を拡大して、マイクロブリッジセンサの歩留まりを改善する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method, by which a microbridge sensor having such heat sensitive sections that do not cause any large resistance value fluctuation and can obtain designed resistance values, can be manufactured.例文帳に追加

感熱部となる抵抗値のバラツキが小さく、設計値どおりの抵抗値がえられるマイクロブリッジセンサの製造方法を提供する。 - 特許庁

The HSG(hemi-spherical grain) film 113 is grown on the inside wall of the storage electrode, so that the microbridge between storage electrodes caused by abnormal growth and excessive growth of the HSG film 113 is prevented.例文帳に追加

このような半導体メモリ装置のキャパシタ製造方法は、ＨＳＧ膜１１３をストレージ電極の内壁に成長させることによってＨＳＧ膜１１３の異常成長や過多成長によるストレージ電極間のマイクロブリッジを防止できる。 - 特許庁

In a vacuum measurement device for measuring the pressure of gas by heating a filament touching the gas to be measured and measuring the quantity of heat taken out of the filament, the filament is formed in microbridge-shape on a substrate.例文帳に追加

被測定気体に接触するフィラメントを加熱し、このフィラメントから奪われる熱量を測定することにより前記気体の圧力を測定する真空度測定装置において、前記フィラメントは、基板にマイクロブリッジ状に形成されたことを特徴とする真空度測定装置。 - 特許庁

To solve a trouble in manufacture of microbridge structure, and to simplify a process up to mounting onto a vacuum package to reduce a manufacturing cost.例文帳に追加

マイクロブリッジ構造の作製における不具合を解消し、真空パッケージに実装するまでの工程を簡略化し製造コストの低減を図ることができるマイクロブリッジ構造の作製方法及び該構造を備える素子の製造方法の提供。 - 特許庁

The flow sensor 11 is formed in such a way that two heating elements 16 which are perpendicular to a flow are formed of a metal thin film on a microbridge 15 composed of an insulator thin film on a recess formed by an anisotropic etching technique on an Si single-crystal substrate.例文帳に追加

フローセンサ１１は、Ｓｉ単結晶基板上に異方性エッチング技術で形成した凹部上の絶縁体薄膜のマイクロブリッジ１５の上に、流れに対して垂直な２本の発熱体１６を金属薄膜で形成してなる。 - 特許庁