octupolesとは 意味・読み方・使い方

By adding the octupoles having a relatively week excitation to a part of the quadrupoles, correction of the anisotropic coma aberration of the objective lens can be achieved.例文帳に追加

比較的弱い励起を備える八極子を四極子の一部分に加えることによって、対物レンズの異方性コマ収差の補正も達成される。 - 特許庁

The heretofore known correcting device to correct the tertiary aberration and quintic aberration of an objective lens is achieved by eight quadrupoles and three octupoles.例文帳に追加

対物レンズの３次収差及び５次収差を補正する公知の補正器は、８つの四極子及び３つの八極子によって実施される。 - 特許庁

A correcting device of the present invention has the same aberration correcting capability, but can be achieved by six quadrupoles and three octupoles.例文帳に追加

本発明による補正器は、少なくとも同じ収差補正力を有するが、本発明によれば、６つの四極子及び３つの八極子によって実施される。 - 特許庁

The charged particle beam exposure device in a division exposure transfer system has functions for correcting the three-dimensional distortion generated by the space charge lens by the distortion of at least a set of octupoles 14; and correcting low-order distortion generated from the octupoles 14 by a set of six poles 15, two stigmeters 9, 10, three focus lenses 11-13, and at least one deflector.例文帳に追加

分割露光転写方式の荷電粒子線露光装置であって、空間電荷レンズによって生じた３次幾何歪を１セット以上の８極子１４の歪により補正し、且つ、前記８極子１４から生じる低次の歪を１セットの６極子１５、２個のスティグメータ９，１０、３個のフォーカスレンズ１１〜１３、１個以上の偏向器により補正する機能を有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。 - 特許庁