piezoelectric filmsとは 意味・読み方・使い方

The piezoelectric element has a piezoelectric film and a pair of electrodes which make contact with the piezoelectric film on a substrate, where the piezoelectric film has a structure in which lead-based piezoelectric films and non-lead piezoelectric films are laminated, and the furthest layer of the piezoelectric film from the substrate and the nearest layer of the piezoelectric film to the substrate are the non-lead piezoelectric films.例文帳に追加

圧電膜と該圧電膜に接する一対の電極とを基板上に有する圧電素子であって、前記圧電膜は、鉛系圧電膜と非鉛系圧電膜とが積層した構造を有し、前記圧電膜の、前記基板から最も遠い層と前記基板に最も近い層とは、非鉛系圧電膜であることを特徴とする圧電素子。 - 特許庁

A plurality of actuators 60 have a plurality of lower electrode films formed on an elastic film correspondingly to a plurality of pressure chambers, a plurality of piezoelectric films formed on the plurality of the lower electrode films and a plurality of upper electrode films formed on the plurality of the piezoelectric films.例文帳に追加

複数のアクチュエータ６０は、複数の圧力室に対応して弾性膜上に形成された複数の下部電極膜と、複数の下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有する。 - 特許庁

A manufacturing method for the piezoelectric MEMS includes laminating a plurality of piezoelectric films and a plurality of conductive films on a substrate to interpose each piezoelectric film between conductive films and etching the piezoelectric films and conductive films in order from their surface layer to form a pattern spreading toward a lower layer.例文帳に追加

本発明による圧電型ＭＥＭＳの製造方法は、それぞれの圧電膜が導電膜の間に挟まれるように複数の圧電膜と複数の導電膜とを基板上に積層し、積層された複数の導電膜と複数の圧電膜とを下層に向かって広がるパターンに表層から順にエッチングする、ことを含む。 - 特許庁

The plurality of actuators 60 includes a lower electrode film formed on the elastic film, a plurality of piezoelectric films formed on the lower electrode film, and a plurality of upper electrode films formed on the plurality of piezoelectric films.例文帳に追加

複数のアクチュエータ６０は、弾性膜上に形成された下部電極膜と、下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有する。 - 特許庁

The actuators 60 include a lower electrode film formed on the elastic film, a plurality of piezoelectric films formed on the lower electrode film, and a plurality of upper electrode films formed on the plurality of the piezoelectric films.例文帳に追加

複数のアクチュエータ６０は、弾性膜上に形成された下部電極膜と、下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有する。 - 特許庁

The areas of the insulating films 26 and 27 for temperature compensation are set larger than the area of the piezoelectric thin film 23.例文帳に追加

温度補償用絶縁膜２６，２７の面積は、圧電薄膜２３の面積よりも大きくされている。 - 特許庁

To provide a thin-film piezoelectric element which has a small leak current between electrode metal films and its manufacturing method.例文帳に追加

電極金属膜間のリーク電流が少ない薄膜圧電体素子とその製造方法を提供する。 - 特許庁

The multiple spacers 3 are disposed so as to be planarly dispersed between the multiple piezoelectric films 2.例文帳に追加

複数のスペーサ３は、複数の圧電フィルム２の間で平面的に分散して配置されている。 - 特許庁