smallnessesとは 意味・読み方・使い方

The method for constituting the optical imprinting includes steps of: computing sizes of printed side lobes which should be produced as a result of the optical imprinting of the mask pattern on the substrate; and determining plural parameters for imprinting optically the mask pattern on the substrate, and thereby providing the optimal height of a latitude of the mask pattern and the optimal smallnesses of the sizes of the printed side lobes.例文帳に追加

本発明の一実施例では、この方法は、基板上にマスク・パターンを光学的に転写した結果生じるはずのプリンテッド・サイドローブのサイズを計算する段階と、基板上にマスク・パターンを光学的に転写するための複数のリソグラフィ・パラメータを決め、それにより最適なマスク・パターンのラチチュードの高さ、及び最適な小ささのプリンテッド・サイドローブのサイズをもたらす段階とを含む。 - 特許庁