tetramethylammonium fluorideとは 意味・読み方・使い方

The cleaning liquid for removing cerium oxide remaining on the surface of an object to be cleaned contains (1) hydrogen fluoride, and (2) at least one kind of ammonium salt selected from a group consisting of ammonium chloride, ammonium nitrate, ammonium sulfate, tetramethylammonium chloride, tetramethylammonium nitrate, and tetramethylammonium sulfate.例文帳に追加

被洗浄物表面に残存する酸化セリウムを除去する洗浄液において、（１）フッ化水素と、（２）塩化アンモニウム、硝酸アンモニウム、硫酸アンモニウム、塩化テトラメチルアンモニウム、硝酸テトラメチルアンモニウム、及び硫酸テトラメチルアンモニウムからなる群より選択される少なくとも1種のアンモニウム塩と、を含むことを特徴とする洗浄液。 - 特許庁

This etching agent composition for a thin film having high permittivity is HfO_2 and/or HfSiON being an aqueous solution comprising one or more kinds of organic acid selected from oxalic acid, citric acid, malonic acid and succinic acid, or an inorganic acid being sulfuric acid and/or hydrochloric acid, and a fluorine compound being one or more kinds selected from ammonium fluoride, ammonium hydrogen fluoride and tetramethylammonium fluoride.例文帳に追加

シュウ酸、クエン酸、マロン酸およびコハク酸から選ばれる１種以上の有機酸または硫酸および/または塩酸である無機酸とフッ化アンモニウム、フッ化水素アンモニウムおよびフッ化テトラメチルアンモニウムから選択される１種以上であるフッ素化合物からなる水溶液であるＨｆＯ_２および/またはＨｆＳｉＯＮである高誘電率薄膜のエッチング剤組成物。 - 特許庁

When ammonium fluoride is used as the component (a), (e) the salt of hydrofluoric acid and a specified quaternary ammonium hydroxide (such as tetramethylammonium hydroxide or tetrapropylammonium hydroxide) and/or an alkanolamine may further be added.例文帳に追加

（ａ）成分としてフッ化アンモニウムを用いた場合、さらに（ｅ）フッ化水素酸と、特定の第４級アンモニウム水酸化物（例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、等）および／またはアルカノールアミンとの塩を配合してもよい。 - 特許庁

The composition for removing polymeric materials from a base body contains ≥1 polyol compounds, ≥1 glycol ethers, water, a fluoride salt selected from ammonium fluoride, ammonium hydrogen fluoride, ammonium- tetramethylammonium hydrogen fluoride and their mixture, and optionally ≥1 additives, and the content of water is at least 5 wt.% based on the whole weight of the composition.例文帳に追加

１またはそれ以上のポリオール化合物、１またはそれ以上のグリコールエーテル、水、フッ化アンモニウム、フッ化水素アンモニウム、アンモニウム−フッ化水素テトラメチルアンモニウムまたはそれらの混合物から選択されるフッ化物塩、および任意に１またはそれ以上の添加剤を含み、水が組成物の全重量に基づいて少なくとも５重量％の量において存在する、基体からポリマー物質を除去するための組成物。 - 特許庁