Informe: Esfuerzos Residuales

INDICE
1.1 Introduccin.
1.2 Definicin Mecnica del Esfuerzo y la Deformacin
1.3 Medida de los Esfuerzos con Difraccin de rayos X
1.4 Mtodo del 2
1.5 Esfuerzo Residual en Pelculas Delgadas
1.5.1 Esfuerzos Trmicos
1.5.2 Esfuerzos Intrnsecos
1.5.2.1 Esfuerzos Residuales Tensiles
1.5.2.1 Esfuerzos Residuales Compresivos
1.6 Esfuerzos Residuales en Multicapas
1.6.1 Esfuerzos en la Intercara
1.7 Evolucin del Esfuerzo Residual en la Microestructura
1.8 Difraccin de rayos X en Pelculas Delgadas
1.9 Geometra de Incidencia Rasante
1.10 Perfil de Profundidad
1.11 Perfil de Curve (Barrido )
1.12 Modelos de Interaccin de Grano
1.13 Modelamiento de los Esfuerzos Residuales por Difusin
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1. Esfuerzos Residuales
1.1 Introduccin
La evaluacin de los Esfuerzos Residuales es una etapa importante en el
mejoramiento del desempeo de los materiales, el control de la deformacin de los
componentes y la comprensin en los procesos industriales. En general los
esfuerzos residuales tienen varios orgenes: mecnico, trmico, termo-mecnico o
termo-qumico.
En general estos Esfuerzos Residuales son causados por una inhomogeneidad en
la deformacin la cual es generada desde uno o ms de tres orgenes fsicos
fundamentales: flujo plstico, cambio de volumen y dilatacin trmica. Una
incompleta relajacin lleva de la deformacin elstica asociado con estos
fenmenos a un esfuerzo residual.
En el slido hay, adems, incompatibilidades locales causados por defectos del
cristal, dislocaciones, fronteras del grano, partculas de segunda fase, etc. El origen
exacto del esfuerzo va a depender de la escala de observacin.
Se pueden distinguir tres clases de esfuerzos residuales en un material de acuerdo
a la longitud de la escala:

= I + II + III (1.1)
Donde I es el macro-esfuerzo que representa el promedio de los esfuerzos
residuales sobre muchos granos, que surge del crecimiento de la pelcula y de la
diferencia de la expansin trmica correspondiente al cambio del parmetro de red
y puede ser obtenido del desplazamiento del pico de difraccin. II micro-esfuerzo
se define como la diferencia entre el promedio de los esfuerzos residuales de un
grano particular y el macro-esfuerzo, es inducido por la anisotropa plstica y
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elstica entre granos dando lugar al corrimiento de un pico y su ensanchamiento.

III micro-esfuerzo es la variacin del esfuerzo dentro de un grano especfico, que
surge de los defectos por dislocacin a causa de fluctuaciones locales de los
parmetros de red (micro-deformaciones) y afecta el ensanchamiento del pico y su
intensidad [1].

1.2 Definicin Mecnica del Esfuerzo y la Deformacin

Consideremos un cubo slido en el que todas sus caras son sometidas por una
fuerza externa (Fig. 2.1), dichas fuerzas generan esfuerzos. Puesto que el cuerpo
est en equilibrio esttico, las fuerzas sobre las caras mutuamente paralelas sern
iguales en magnitud, pero de signo opuesto. Tanto la fuerza como el esfuerzo en
cualquier cara del solido se puede descomponer en tres componentes: dos en el
plano que actan y el tercero normal a este plano. Entonces el esfuerzo para el
slido es representado por un tensor de segundo orden ij :
F
ij = Si (1.2)
j

Donde Fi el componente de fuerza en la direccin xi que acta en el elemento de

volumen caracterizado por la superficie dSj, cuya normal est en la direccin xi.

Fig. 1.1 Componentes del esfuerzo en un cubo sometido a una fuerza externa en
todas las caras. La notacin completa ij puede ser escrita en el sistema de
referencia:
11 12 13
ij = (21 22 23 ) (1.3)
31 32 33
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Los elementos de la diagonal representan el esfuerzo normal en planos normal a la

direccin de los ejes elegidos, y los otros elementos son los esfuerzos cortantes.
El tensor del esfuerzo es simtrico (ij = ji ) y puede ser diagonalizado, lo cual
significa que para cualquier punto se puede seleccionar un sistema de ejes
particular llamado ejes principal del tensor por lo que solo los elementos de la
diagonal son diferentes de cero, es decir, un sistema de ejes donde solo hay
esfuerzos a lo largo de los ejes, y no hay esfuerzos cortantes entre ellos. Estos
componentes son los componentes principales del tensor de esfuerzo.
En la prctica, no es el esfuerzo que se obtiene por medidas de difraccin. Es
necesario transformar la deformacin en esfuerzos. En un slido, la fuerza externa
aplicada deforma la estructura. Es entonces necesario definir un campo de
deformacin caracterstico de los desplazamientos resultantes. El estado de
deformacin de un pequeo elemento de volumen es definido por un tensor de
segundo orden ij . Para una pequea deformacin la expresin se escribe as:
1 u u
ij = 2 [ xi + x j ] (1.4)
j i

En el cual u es el vector de desplazamiento.

En su notacin completa y para el sistema de referencia estndar, se puede escribir
como:
11 12 13
ij = ( 21 22 23 ) (1.5)

31 32 33
Los elementos de la diagonal representan la deformacin a lo largo de la direccin
de los ejes elegidos y los otros elementos son las deformaciones cortantes entre los
ejes. Al igual que para el tensor de esfuerzo, el tensor de deformacin es simtrica
es decir ij = ji

Cuando el material es sometido a una carga aplicada, se desarrolla un campo de

micro-esfuerzo y micro-deformacin. Por definicin, el macro-esfuerzo
es igual
al valor promedio del campo de micro-esfuerzo en el volumen V:
1
= V V dV (1.6)

En el mismo sentido, la macro-deformacin se escribe como:

1
= V V dV (1.7)
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Si la muestra es homognea y elstica, hay una correlacin lineal, en la escala

macroscpica entre dos trminos Si la muestra es homognea y elstica, hay una
correlacin lineal, en la escala macroscpica entre dos trminos y
y:

= C
(1.8)

Donde C representa la constante elstica macroscpica de la matriz.

En el mismo camino, en la escala microscpica:

= C (1.9)

Donde C es el coeficiente elstico microscpico de la matriz.

La relacin microscpica entre el tensor de deformacin y el tensor de esfuerzo es
Dado por la generalizacin de la ley de Hooke:

ij = Sijkl kl (1.10)

O el esfuerzo en funcin de la deformacin:

ij = Cijkl kl (1.11)

Donde Cijkl y Sijkl son los coeficientes de la rigidez y el inverso de la rigidez,

respectivamente, y son tensores de cuarto orden.

1.3 Medidas de los Esfuerzos con Difraccin de rayos X

El macro-esfuerzo es lo que clsicamente se ha considerado en esfuerzos

residuales. Es bien conocido que los esfuerzos residuales afectan las propiedades
de los materiales, los cuales pueden beneficiar o perjudicar en el desempeo del
material. La resistencia a la fatiga, por ejemplo, se puede mejorar o reducir por
esfuerzos tensiles o compresivos, respectivamente cerca a la superficie. El esfuerzo
residual tambin inhibe la capacidad de mantener un control dimensional de
componentes durante la manufactura debido a que material con presencia de
esfuerzos es removido.
Por esta razn la caracterizacin de los esfuerzos residuales es una consideracin
importante en la ingeniera. Los mtodos de difraccin son atractivos para la medida
de los esfuerzos residuales debido a que son no destructivos, precisos y capaces
de medir esfuerzos cerca a la superficie como en el interior de los materiales.
La difraccin puede ser usado para medir con exactitud la distancia interplanar
utilizando la ley de Bragg:

= 2d sin (1.12)

Donde es la longitud de onda de la radiacin usada, es la mitad del ngulo de

difraccin y d es el espaciamiento interplanar promedio para una reflexin dada en
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un material cristalino. En un material con presencia de esfuerzos, el espaciamiento

de la red puede ser usado como medida de deformacin, dando una medida de
deformacin lineal en la direccin del vector de difraccin. Si do y o son el
espaciamiento de la red y el correspondiente ngulo de Bragg para el material libre
de esfuerzo, la deformacin se puede calcular como:

ddo
= (1.13)
do

El estado de deformacin en algn lugar del material es un tensor de segundo orden

representado por un componente axial y normal referenciado a un sistema de
coordenadas dado. El estado de deformacin de un material puede ser determinado
usando difraccin por medida de la deformacin lineal o normal en un nmero de
direcciones y utilizando las reglas que especifiquen como los componentes de un
tensor de segundo orden se transforma con la direccin. Despus de haber
determinado los componentes de deformacin, los componentes de esfuerzo son
calculados usando la ley de Hooke.

Fig. 1.1 Componentes del esfuerzo en un cubo sometido a una fuerza externa en
todas las caras.

En primer lugar, la creacin de dos sistemas de coordenadas es ilustrada en la

Fig. 1.2. El sistema de coordenadas Xi es el sistema de coordenadas de la muestra.
Aunque es libre de ajustar este sistema de coordenadas del material en todo lo que
se quiere, la geometra del componente frecuentemente sugiere el conjunto de
coordenadas de la muestra. Para la medida del esfuerzo cerca de la superficie
usando rayos X se acostumbra a colocar el eje X3 normal a la superficie. El eje de
coordenadas X3 corresponde al sistema del laboratorio, el cual es el marco de
referencia para hacer las medidas de difraccin. El eje de coordenadas X3 est
orientado con respecto al eje de coordenadas de la muestra por los ngulos y
como se muestra en la Fig. 1.2. Por orientacin de la muestra con respecto al haz
incidente y difractado tal que el vector difractado a lo largo del eje X3 , se puede
medir la deformacin a lo largo de esta direccin, denotado como . Un pico de
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difraccin es registrado y el ngulo de Bragg es determinado con precisin. La

deformacin entonces se determina por la ecuacin (1.13).
Se relaciona la deformacin medida en el sistema de coordenadas de referencia
con los componentes desconocidos de la deformacin en el sistema de
coordenadas de la muestra por medio de la expresin [2]:

IJ = ik jl kl (1.14)

Donde ij son los cosenos directores entre el sistema de coordenadas de referencia

y de la muestra que es definido como ij = cos(Xi , Xj ) . Entonces los cosenos
directores son:

31 = cos sin
31 = sin cos (1.15)
33 = cos

Sustituyendo estas en la ecuacin (1.14) se obtiene:

d do
= = 11 cos 2 sen2 + 22 sen2 sen2 + 33 cos 2 + 12 sen2sen2 +
do
13 cossen2 + 23 sensen2 (1.16)

Una vez obtenido el tensor de deformacin con la ecuacin (1.16), el tensor de

esfuerzo en trminos de la ley de Hooke es:

1 S1
ij = 1 [ij ij 1 ii ] (1.17)
( )S2 ( )S2 +3S1
2 2

Donde S1 y (1/2)S2 son las constantes elsticas de difraccin.

1.4 El mtodo de

El mtodo de sen2 es el mtodo tradicional para la medida del esfuerzo cerca a la

superficie con rayos X, utiliza el hecho de que el espaciamiento d entre dos
direcciones principales ser lineal con el cuadrado del seno del ngulo entre ellos.

En primer lugar, se sustituye la ecuacin (1.17) en la ecuacin (1.16):

d do 1 1
= = (2) s2 (11 cos 2 + 12 sen2 + 22 sen2 33 )sen2 + (2) S2 33 +
do
S1 (11 + 22 + 33 ) + (1/2)S2 (13 cos + 23 sen)sen2
(1.18)
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En la regin cerca a la superficie, el esfuerzo i3

i3 no existe como macro-esfuerzo [3,4]. En muchos casos, el micro-esfuerzo ser
cero y entonces estos trminos desaparecern.
Entonces el esfuerzo a lo largo de la direccin en la superficie de la muestra se
define:

= 11 cos 2 + 12 sen2 + 22 sen2 (1.19)

Entonces la ecuacin (1.18) se transforma en:

d do 1
= = ( ) s2 sen2 + S1 (11 + 22 ) (1.20)
do 2

Esta ecuacin muestra que o d es lineal con sen2 para una constante de .
La pendiente de la medida del espaciamiento de d es proporcional al esfuerzo .

1.5 Esfuerzo Residual en Pelculas Delgadas

En ausencia de cargas externas, el esfuerzo presente en un material es denominado

Esfuerzo Residual. En pelculas delgadas, el esfuerzo residual puede tener tres
contribuciones de acuerdo al instante de su origen [5, 6]:

= i + th + e (1.21)

La contribucin i es vinculada con procesos de crecimiento (llamados esfuerzos

intrnsecos o de crecimiento), th (esfuerzos trmicos) es la consecuencia de
procesos de enfriamiento despus de la deposicin del recubrimiento y e
(esfuerzos externos) es consecuencia de la diferencia estructural entre el sustrato y
la pelcula. Se asume que estos ltimos son despreciables o se relajan por
dislocaciones desiguales en la red.

1.5.1 Esfuerzos Trmicos

Comnmente los esfuerzos trmicos son atribuidos a la diferencia en el coeficiente

de expansin trmica de la capa L y del sustrato s . Esto se presenta, si se supone
isotropa elstica en la pelcula y un sustrato de espesor infinito comparado con la
pelcula, un estado de esfuerzo biaxial en la pelcula y sin deformacin plstica en
el sistema sustrato-pelcula (totalmente comportamiento elstico), entonces el
esfuerzo trmico puede ser calculado por la ecuacin:
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th (T) = (L s )(Td T) (1.22)

Donde Td es la temperatura de deposicin, EL es el Mdulo de Young de la pelcula,

VL es la relacin de Poisson de la capa. El signo del esfuerzo depende de la relacin
entre los coeficientes de expansin de los dos materiales.

1.5.2 Esfuerzos Intrnsecos

Los esfuerzos intrnsecos es el nombre que se le da a los esfuerzos debido a

defectos, a la microestructura o a la diferencia de la red entre la pelcula y el sustrato.
Estos esfuerzos intrnsecos se pueden dividir en Esfuerzos Residuales
Compresivos y
Esfuerzos Residuales Tensiles.

1.5.2.1 Esfuerzos Residuales Tensiles

Los esfuerzos tensiles son ms frecuentemente explicados por mecanismos de

coalescencia del grano, donde se presume que los granos vecinos de la pelcula se
unen espontneamente bajo la accin de fuerzas interatmicas, eliminando dos
superficies libres a favor de una frontera de grano deformada elsticamente. Esta
contraccin neta en el plano produce esfuerzos tensiles durante el crecimiento de
la pelcula. Dentro de los modelos que se han propuesto para explicar la formacin
de los esfuerzos tensiles est el modelo propuesto por Doljack y Hoffman [7, 8], en
el que el esfuerzo es determinado como un resultado de la contraccin elstica del
grano (contraccin de la frontera del grano) en una distancia:
E
= 1 d (1.23)

Donde E, y d, son el mdulo de Young, la relacin de Poisson y el dimetro del

grano respectivamente.

Otro modelo es el propuesto en el trabajo de Nix y Clemens [9], usa bsicamente la

misma idea del modelo anterior, a travs de la eliminacin de exceso de volumen,
considerando pelculas formadas por islas de forma elptica. En su aproximacin, el
equilibrio entre la energa elstica almacenada y la energa de la frontera del grano
formada a partir de superficies libres es analizado por medio de la expresin:

1/2
1+ (2s gb )
= [ E ] (1.24)
1 r

Donde s y gb son la energa de superficie y la energa de frontera de grano

respectivamente, r es el radio del eje menor de la elipse el cual est en contacto con
el sustrato.
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El modelo propuesto por Freund y Chason utiliza la teora de contacto Hertziano con
atraccin cohesiva para modelar la contraccin de islas en un arreglo de dos
dimensiones de islas hemisfricas [10], tal que, su esfuerzo promedio debido a la
coalescencia de islas est dado por:

2(2s gb )
= (1.25)
r

En el trabajo de Seel y colaboradores [11], modelan el proceso de coalescencia de

islas empleando mtodos de elementos finitos, en el que se presenta un modelo de
generacin y relajacin de esfuerzos tensiles involucrando la cintica de la evolucin
del esfuerzo tensil durante la deposicin de pelculas delgadas que crecen por el
mecanismo de Volmer-Weber.

1.5.2.2 Esfuerzos Residuales Compresivos

Los esfuerzos residuales compresivos, dependiendo del mecanismo en el que se

explica su formacin, se pueden dividir en dos lneas: golpeteo atmico y difusin
de atomos [12].

Golpeteo Atmico: Se tiene una aproximacin terica expuesta en el modelo

propuesto por Windischmann [13], el cual es basado en tres principales
suposiciones: (i) el bombardeo energtico de la superficie de la pelcula causa
desplazamientos de tomos de la pelcula desde su posicin de equilibrio a travs
de una serie de colisiones, produciendo una distorsin volumtrica, (ii) para
pelculas depositadas a bajas temperaturas del sustrato, el transporte de masa y la
movilidad de defectos son suficientemente bajos para detener la distorsin
volumtrica en el lugar y (iii) la distorsin volumtrica, d, la cual corresponde a la
deformacin es proporcional a la fraccin de nmero de tomos, n/N, desplazados
desde la posicin de equilibrio, es decir, d = (Kn/N) donde K es el factor de
proporcionalidad. El clculo desarrollado por Windischmann lleva a la siguiente
expresin de esfuerzo intrnseco compresivo:

= [(1 ] 4.79 ( ) (1.26)
)

Donde y Ep son el flujo y la energa cintica de las partculas, respectivamente,

NAV es el nmero de Avogadro, Df es la densidad de la pelcula y Mt masa de los
tomos de la pelcula (tomos del blanco). El factor depende de la energa
cohesiva, Uo, de los tomos de la pelcula, masas (Mp y Mt) y nmeros atmicos
(Zp y Zt) de las partculas incidentes y tomos de la pelcula, respectivamente.

Otro modelo basado en el golpeteo atmico es el propuesto por Davis [14] que se
basa en dos suposiciones: (i) el esfuerzo intrnseco compresivo es causado por la
implantacin atmica bajo la superficie de la pelcula bajo procesos de golpeteo de
acuerdo al modelo propuesto por Windischmann, (ii) una alta movilidad trmica
(termal spike) es asumida para reducir los esfuerzos causados por el
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desplazamiento de la implantacin atmica. La implantacin atmica en posiciones

metaestables la cual adquiere alguna energa de excitacin, Ed, escapara de su
posicin metastable a la superficie de las pelcula. El esfuerzo intrnseco compresivo
en la pelcula puede ser expresado as:

1/2
13.36 ( )
= (1 ) ( ) = [( ) (1 )] [ 5/3 ] (1.27)
+ ( )

Donde Uo es la energa de sublimacin o energa cohesiva del material

depositado, es el flujo de tomos condensados en la superficie de la pelcula e
incorporados en el crecimiento de la pelcula; y Ep son el flujo y la energa
cintica de las especies energticas incidentes, respectivamente.

Difusin de Adatomos: Es basada en modelos que asumen que el exceso de

adatomos son incorporados dentro de las fronteras del grano durante la deposicin.
El trabajo ms representativo es el desarrollado por Chason y sus colaboradores
[15], en el que proponen un modelo para la evolucin del esfuerzo basado en la
difusin de adatomos en y fuera de las fronteras del grano durante el crecimiento y
la interrupcin, respectivamente. En este modelo, la direccin de la difusin de los
adatomos es determinada por la diferencia en el potencial qumico entre la superficie
de la pelcula y la frontera del grano. Durante el crecimiento, un flujo atmico hace
que el potencial qumico de la superficie sea mayor que el de la frontera del grano
(alta densidad de adatomos o defectos), el cual es la fuerza impulsora para que los
adatomos de la superficie se difundan dentro de la frontera del grano, generando
una compresin de los granos a ambos lados de la frontera produciendo un esfuerzo
compresivo en la pelcula. Durante la interrupcin del crecimiento, el potencial
qumico en la superficie es menor que el de la frontera del grano, relajando el
esfuerzo compresivo de la pelcula. Este modelo tambin puede explicar el esfuerzo
tensil de las pelculas durante la ltima etapa de crecimiento Volmer-Weber (VW)
con baja movilidad de materiales considerando la competicin entre la generacin
del esfuerzo tensil (formacin de la frontera de grano) y la generacin del esfuerzo
compresivo (difusin entre la frontera de grano y la superficie) [16].

1.6 Esfuerzos Residuales en Multicapas

Los esfuerzos en las multicapas pueden ser el resultado de (i) interaccin con el
sustrato, (ii) interaccin entre los elementos constituyentes de cada bicapa y/o (iii)
presencia de intercaras.

Los esfuerzos con la interaccin con el sustrato estn relacionados a los procesos
de crecimiento y a la diferencia en los coeficientes de expansin trmica entre el
sustrato y cada uno de los componentes de la multicapa. La interaccin entre los
constituyentes de cada bicapa puede llevar a un esfuerzo de coherencia el cual
resulta de una minimizacin de la diferencia de los dos parmetros de red. La
presencia de las intercaras en la multicapa resulta en esfuerzos interfaciales que
 Informe: Esfuerzos Residuales

corresponde al trabajo reversible por unidad de rea necesaria para deformar la

intercara.

El esfuerzo de la multicapa calculado a partir de la curvatura del sustrato utilizando

la ecuacin de Stoney, de acuerdo a Ruud [17] puede ser escrito como:
2
= + (1.28)

Donde es el esfuerzo residual promedio de los esfuerzos del componente A y del

( + )
componente B determinados por difraccin ( = ), f esfuerzo de la
2
intercara y espesor de la bicapa.

1.6.1 Esfuerzos de la Intercara

Cuando un slido con una microestructura de escala fina es elsticamente

deformado, el trabajo se realiza con fuerzas de volumen y las fuerzas de la intercara.
Aun si no hay una carga aplicada externa, el equilibrio mecnico seala que los
esfuerzos en el bloque son requeridos para compensar los esfuerzos en la intercara.
En un material policristalino, los esfuerzos del bloque que surgen de los esfuerzos
de la intercara son despreciables; sin embargo para un slido con una
microestructura a escala nanomtrica, los esfuerzos de la intercara no se pueden
despreciar, debido a que ellos inducen en el Esfuerzos Residuales 40 esfuerzo del
bloque en el orden de f/L, donde f es un escalar y corresponde al esfuerzo de la
intercara y L denota la longitud caracterstica de la microestructura tal como la
longitud de la bicapa que se repite o el tamao del cristalito promedio. Cahn [18] ha
sealado que el esfuerzo de la intercara se define como el trabajo reversible
necesario para deformar elsticamente un rea A de una intercara preexistente. Si
la intercara A es medida en coordenadas de un slido indeformable, entonces el
esfuerzo de la intercara fij, un tensor 2x2 con las que pueden tener cualquier signo,
es definida como

= (1.29)

Donde es la energa libre interfacial por unidad de rea de referencia A0 de la

intercara sin deformar y eij representa la deformacin tangencial media a lo largo de
la intercara.
Usando puntos del material en una configuracin sin deformar como estado de
referencia, esto implica que el rea de la intercara A0 se toma constante,
independiente de los valores finitos de eij. Como una consecuencia, el rea real
Areal de la intercara deformada en funcin de A0 est dada por Areal = A0(1+eii).

El esfuerzo de la intercara tambin puede ser expresado como

= + (1.30)

 Informe: Esfuerzos Residuales

Donde es la energa libre interfacial por unidad de rea de la intercara deformada

Areal.

1.7 Evolucin del Esfuerzo Residual en la Microestructura

Se ha encontrado que la magnitud del esfuerzo intrnseco en pelculas crecidas por

deposicin fsica en fase vapor (PVD) est relacionado con la microestructura de la
pelcula, es decir, morfologa, textura y tamao de grano [19, 20]. Propiedades de
la pelcula tales como el esfuerzo residual y la microestructura son sensibles a los
parmetros asociados con la deposicin tales como la presin del gas de trabajo, la
temperatura del sustrato, voltaje bias del sustrato entre otros. A una baja
temperatura del sustrato y a una alta presin de trabajo se tiene una estructura
columnar de baja densidad que correspondera a la zona I (Fig. 1.1). Cuando la
temperatura se incrementa o se disminuye la presin, la microestructura es ms
densa y correspondera a la zona II del diagrama SZM (Fig. 1.1).

Fig. 1.3 Evolucin del Esfuerzo residual y la microestructura como funcin de la

temperatura y la presin de Ar en una pelcula delgada de Tungsteno.

Para el caso de la tcnica de sputtering, la zona I de baja densidad tiene

huecos entre las columnas generando un esfuerzo tensil en el recubrimiento. Zonas
de alta densidad tienen pocos poros, un bombardeo extra resulta en la captura de
tomos de argn y en un golpeteo atmico que origina un esfuerzo compresivo en
el recubrimiento.
 Informe: Esfuerzos Residuales

Los esfuerzos tensiles surgen de la interaccin de las fronteras columnares abiertas

con la estructura de la zona I. En este caso, el esfuerzo en las columnas individuales
puede estar relajado por la expansin de las columnas dentro de los lmites de los
huecos lo cual lleva a una reduccin de cualquier componente del esfuerzo de
crecimiento (o intrnseco) de manera que estas interacciones de frontera pueden
ser significativas. En el caso donde los recubrimientos pueden ser bombardeados
por partculas energticas tales como iones durante el proceso de sputtering o
usando bias, el esfuerzo compresivo usualmente es generado por mecanismos de
golpeteo inico. La superficie es forzada a expandirse con el fin de acomodar los
defectos producidos por procesos de bombardeo lo cual conlleva a un estado de
esfuerzo compresivo. Se ha encontrado que el componente del esfuerzo
compresivo del recubrimiento es proporcional a la raz cuadrada de la energa de
las partculas bombardeadas, de manera que se dice que el fenmeno involucra
transferencia de momento. Sin embargo, un alto bombardeo lleva a la relajacin del
esfuerzo, inducido por la movilidad trmica y esto reduce el esfuerzo compresivo
observado en pelculas depositadas a bajas presiones de argn [21].
En la Fig. 1.3 se observa que el esfuerzo y la microestructura depende fuertemente
de la temperatura de deposicin y la presin parcial de argn en la pelcula de
tungsteno del trabajo de Haghiri Gosnet et al. [22]. Se observa como de un estado
de esfuerzo tensil asociado a una estructura porosa, pasa a un estado de esfuerzo
compresivo para una microestructura densa. Esta transicin de microestructura y el
esfuerzo residual se da a causa de las variaciones de las condiciones de
crecimiento.

1.8 Difraccin de Rayos X en Pelculas Delgadas

Los mtodos de difraccin bsicamente miden los ngulos a los cuales toma lugar
la mxima intensidad difractada cuando la muestra cristalina es sometida a rayos X.
A partir de estos ngulos, y usando la ley de Bragg, es posible obtener el
espaciamiento interplanar de los planos cristalinos que difractan los rayos X. Si en
la muestra existen esfuerzos residuales, entonces el espaciamiento d ser diferente
al correspondiente a un material libre de esfuerzos. Esta diferencia es proporcional
a la magnitud de los esfuerzos residuales.

El concepto bsico del anlisis de los esfuerzos por medio de la difraccin se

muestra en la Fig. 1.4, donde se asume que muestras policristalinas estn
sometidas a un esfuerzo compresivo paralelo a la superficie. Con anlisis de
difraccin de rayos X, empleando la ley de Bragg, es posible medir la dependencia
de la direccin con ladeformacin elstica de la red.

= 2 (1.31)

Relacionando el espaciamiento de la red con los ndices Laue, el ngulo de

difraccin 2 y la longitud de onda . El espaciamiento de la red es medido en la
 Informe: Esfuerzos Residuales

direccin del vector de difraccin. Usualmente el ngulo de difraccin 2 es

obtenido de la posicin mxima o centroide de la lnea de difraccin hkl. Entonces
es posible calcular la deformacin elstica de los planos {hkl} a partir de

= ( )/ (1.32)

Donde es el espaciamiento de la red libre de esfuerzos de los planos {hkl}. La

direccin de la medida de la deformacin, es decir la direccin del vector de
difraccin es usualmente identificada por los ngulos y que se identifican como
el ngulo de rotacin de la muestra alrededor de la normal de la superficie de la
muestra y el ngulo de inclinacin de la normal de la superficie de la muestra con
respecto al vector de difraccin respectivamente.

Fig. 1.4 Concepto grfico de la difraccin en el anlisis de los esfuerzos

Una lnea de difraccin contiene informacin acerca de la deformacin elstica

nicamente de aquellos cristalitos que tienen sus planos {hkl} orientados
perpendicularmente al vector de difraccin, es decir, nicamente la deformacin
elstica de un subgrupo de cristalitos que componen una muestra policristalina es
analizada en una medida de la deformacin de la red. En general, la medida de la
deformacin por difraccin de rayos X no es igual a la deformacin mecnica en la
misma direccin, la deformacin mecnica es el promedio de todos los cristalitos en
la muestra, mientras que la deformacin por difraccin representa nicamente un
subgrupo de cristalitos que componen la muestra [23].

El esfuerzo residual en una pelcula delgada se puede asumir como biaxial y

simtricamente rotacional, es decir,11 = 22 = , 12 = 13 = 23 = 33 = 0, la
ecuacin fundamental del anlisis de esfuerzos residuales por rayos X es [24]:
 Informe: Esfuerzos Residuales

1
= (2 2 2 + 21 ) (1.33)

1.9 Geometra de Incidencia Rasante

Usando pequeos ngulos de incidencia el volumen efectivo de muestreo es

confinado en un volumen relativamente pequeo adyacente a la superficie de la
muestra lo cual generar mayores intensidades de difraccin provenientes de este
volumen que con mtodos de difraccin convencional.
El mtodo de difraccin de rayos X con geometra de incidencia rasante (GIXRD :
grazing-incidence X-ray diffraction) para el anlisis de esfuerzos residuales es til
en dos casos: (i) para restringir la profundidad de penetracin efectiva en un
pequeo valor cuando el estado de esfuerzo cerca de la superficie de un cuerpo
tiene que ser determinado, o cuando los anlisis de los esfuerzos tienen que ser
realizados en capas muy finas, para lo cual los problemas de solapamiento con
picos de sustrato se pueden presentar; (ii) para determinar gradientes del esfuerzo
de medidas de difraccin a diferentes valores de profundidad variando el ngulo de
incidencia .

La geometra de incidencia rasante aplicada para la medida de los esfuerzos en un

volumen cerca de la superficie es limitada por la absorcin de la radiacin. Para
definir este volumen, puede ser considerado el camino del haz de rayos X a travs
de la muestra
(Fig 1.5). La medida del espaciamiento interplanar promedio (, )() es igual
a [25]:

(,,) [()]
(, )() = (1.34)
[()]

Donde

() = + (2 (1.35)
)

Donde el promedio es calculado sobre el volumen de todas las reflexiones de los

granos en la trayectoria del haz desde la superficie hasta el infinito, es el
coeficiente de absorcin lineal, l(x) es la funcin de la longitud de la trayectoria vs
profundidad x, y 2 2() son los ngulos de incidencia y dispersin
respectivamente.
 Informe: Esfuerzos Residuales

Fig. 1.5 Trayectoria del haz de rayos X en el mtodo de geometra de incidencia

rasante
[23].

El mtodo de 2 basado en la geometra de dispersin de ngulo rasante fue

propuesto por Van Acker [26], Quaeyhaegen, Knuyt [27] y desarrollada por Skrzypek
[28].
La geometra de incidencia rasante (nombrado tambin g- 2 ) es caracterizada
por un ngulo de incidencia pequeo y constante y por diferentes longitudes y
orientaciones del vector de dispersin. En contraste con el mtodo estndar de
2 , las medidas son realizadas con una serie de planos diferentes {hkl} usando
valores apropiados de ngulos de difraccin 2 (Fig. 1.6).

Fig. 1.6 Geometra del mtodo de g- 2 [23].

El esfuerzo presente en el volumen cerca a la superficie puede ser determinado

usando el mtodo estndar 2 . Sin embargo, este mtodo no es recomendado
para anlisis de estados de esfuerzos heterogneos debido a que el perfil de
penetracin de la radiacin de los rayos X vara significativamente durante la medida
con cambios en el ngulo . Como resultado, el volumen para el cual la medida fue
realizada no es bien definido y la interpretacin de los resultados no es nica.
Usando el mtodo estndar 2 el gradiente de esfuerzos puede ser estimado
 Informe: Esfuerzos Residuales

nicamente si se asume la caracterstica de la evolucin del esfuerzo. Sin embargo,

esta estimacin es basada en la curvatura del grfico 2 el cual puede tambin
estar influenciado por otros efectos como la presencia de esfuerzos cortantes o la
anisotropa de la muestra. Los anlisis de los gradientes de esfuerzos tambin
pueden ser realizados si el mtodo estndar 2 es repetido para varias
longitudes de onda ya que los rayos X penetran a diferentes profundidades. Este
mtodo puede ser usado para pequeos gradientes si la variacin del esfuerzo en
el volumen irradiado durante las medidas de la deformacin de la red es
despreciable, en comparacin con la variacin del esfuerzo promedio medido con
diferentes longitudes de onda.

Recientemente, la geometra basada en difraccin de rayos X por incidencia rasante

(llamado tambin g -2 ) fue aplicada para medir el espaciamiento interplanar.
Usando este mtodo es posible realizar anlisis no destructivo de esfuerzos
heterogneos para diferentes volmenes bajo la superficie de la muestra y los
esfuerzos pueden ser medidos a profundidades muy superficiales (de pocas
micras). El mtodo de multireflexin es aplicado para estudiar el gradiente de
esfuerzos usando la geometra de incidencia rasante [29]. La ventaja de este
mtodo es que varios planos de difraccin hkl son utilizados simultneamente para
el procedimiento de ajuste y el mtodo puede ser fcilmente adaptable a varias
geometras de medida.
En la geometra g- 2 nicamente el ngulo puede ser seleccionado
arbitrariamente, sin embargo, el ngulo depende de las reflexiones hkl y del
ngulo de incidencia constante, es decir:

{} = {} (1.36)

Los posibles valores de {} est limitado por el nmero de reflexiones hkl usados
en el experimento. La profundidad de penetracin (), definida como la distancia
desde la superficie de la muestra para la cual 1 -1/e del total de la intensidad del
haz incidente es absorbido, puede ser calculado por la siguiente frmula:

sin(2{} )
= (+sin(2 (1.37)
{} ))

1.10 Perfil de Profundidad

La geometra de incidencia rasante puede ser empleada para la determinacin del

perfil de esfuerzo en la direccin z perpendicular a la superficie de la muestra. Los
componentes relevantes del tensor de esfuerzo () tendrn que determinarse en
funcin del perfil de penetracin de los rayos X, esto requiere la determinacin de
a diferentes ngulos como una funcin del perfil de penetracin (). El perfil
ll( ), obtenido a partir de la medida y el correspondiente perfil (z) estn
relacionados por [30]:
 Informe: Esfuerzos Residuales

() /
() = (1.38)
/

Donde t es el espesor de la muestra. Hay diferentes procedimientos para calcular

(z) a partir de ll(), tales como la transformada inversa de Laplace [31] o por
ajuste por mnimos cuadrados usando modelos de funciones para el perfil ll(z) [32].
Por lo tanto la
Ecu. (1.38) permite la evaluacin del esfuerzo residual en funcin de la profundidad
de la pelcula ((z)) para un sistema de monocapa.

En un sistema de multicapas, formadas por capas difractadas Di de espesor que

contribuyen a la seal de difraccin y capas Ai de espesor que no renen la
condicin de difraccin para el mismo ngulo Bragg de la capa Di, pero atena el
haz de rayos X por absorcin (Figura 1.7).

Fig. 1.7 Representacin esquemtica de la difraccin de rayos-X en un sistema de

Multicapas [33].

En este caso la contribucin de capa difractada Di, tiene que ser ponderada por la
contribucin de la capa de encima Ai, por lo tanto, la relacin entre el esfuerzo
residual del perfil de profundidad ll() obtenido experimentalmente por la ecuacin
(1.33) y la distribucin del esfuerzo residual real ll(z) dentro de la capa individual
Di est dada por
[34]:

Donde 1 , el espesor actual de la capa Ai fue reemplazado por elespesor

equivalente
 Informe: Esfuerzos Residuales

1 , Que se define por la condicin de que la subcapa respectiva tiene la misma

atenuacin de la subcapa Ai de espesor 1 , pero con un coeficiente de absorcin
lineal siendo vlido para la subcapa Di:

, = (1.40)

Aplicando modelos apropiados para la distribucin de los esfuerzos residuales

(ll(z)), la ecuacin (1.39) puede ser usada para evaluar la contribucin de cada
capa del total del esfuerzo residual (ll()) calculado de la ecuacin (1.33).

2.11 Rocking Curve (Barrido )

La gran utilidad de las medidas de las curvas Rocking, es que estn basadas en
dos propiedades fundamentales: i) Los detalles de las curvas Rocking son
extremadamente sensibles a las deformaciones y los gradientes de las
deformaciones en la muestra, ii) Para un modelo estructural dado, las curvas
Rocking pueden ser calculadas con gran precisin usando teora fundamental de
rayos X [35]. La presencia de las dislocaciones tiende a ensanchar las curvas
Rocking por dos razones diferentes: i) Las dislocaciones producen rotacin en la
red cristalina, ii) Un campo de deformacin en el cual el ngulo de Bragg no es
uniforme alrededor de las dislocaciones.

Considere la posibilidad de una pelcula hetero-epitaxial sobre un sustrato

monocristalino. Para una familia de planos dados (hkl), especficos de la fase
cristalina que comprende la pelcula, cuando la pelcula es irradiada a un ngulo de
incidencia que permite que estos planos (hkl) sean difractados, cada cristal dentro
la pelcula difracta y contribuye en la intensidad de un pico localizado a un ngulo
2 dado por la relacin de Bragg. Sin embargo, la selectividad angular de este efecto
de difraccin es muy alta. Si asumimos que el haz que irradia el cristal es
estrictamente paralelo y estrictamente monocromtico, entonces los granos que
estn estrictamente en la posicin de Bragg difractarn en un valor de ngulo de
incidencia. Cuando este ngulo de incidencia es modificado, sobre cierto rango
angular, otros cristales, ligeramente desorientados en comparacin con los
anteriores, difractan. El ancho de este rango angular, para el cual la intensidad
difractada es observada en un ngulo 2 es una expresin directa de la
desorientacin de los cristales que componen la pelcula. Si se considera que una
pelcula est compuesta de cristales libres de cualquier defecto, con un tamao
promedio tal que no hay un ancho en la seal de difraccin, entonces la seal solo
puede propagarse por hecho de que se presente una ligera desorientacin de los
cristales con respecto a otros. Por lo tanto, el ancho de las curvas Rocking dan una
evaluacin directa de la desorientacin de los cristales alrededor de la normal de la
orientacin [36].
 Informe: Esfuerzos Residuales

Fig.1.8 Medida de la Curva Rocking con referencia a la muestra [37].

La medicin de Rocking Curve se realiza de forma tal que el detector en el crculo

2 es fijado en la posicin centroide 20 del pico de Bragg bajo investigacin,
mientras que la muestra es inclinada en un crculo en la vecindad del ngulo de
Bragg 0. El crculo y el crculo 2 son desacoplados y el ngulo es nombrado
en el caso de la variacin independiente. Hay dos nomenclaturas de que se
usan. En la primera notacin, es medida con respecto a la superficie de la
muestra. La segunda convencin relaciona con la normal a la superficie s3 y se
define como la desviacin de la mitad del ngulo de dispersin = - 20/2 de la
posicin de simetra. En nuestro caso se usar la segunda convencin. Un esquema
de la configuracin de medida se muestra en la Fig. 2.8. Se muestra que para 20
fijo, el ngulo de barrido est entre - 0 y 0. El resultado de la medida de la curva
Rocking es un conjunto de intensidades Irc(20, ) a un ngulo constante de
dispersin 20 y variando .

2.12 Modelos de Interaccin de Grano

Las constantes elsticas de difraccin y constantes elsticas mecnicas son

calculadas empleando modelos extremos de interaccin de grano que
generalmente no son compatibles con el comportamiento elstico real de los
policristales. Sin embargo, a menudo se encuentra que el promedio de las
constantes elsticas de los modelos extremos de interaccin de grano resultan en
datos elsticos que son compatibles con los valores determinados
experimentalmente por otras tcnicas. El conocimiento de cualquier modelo de
interaccin de grano promedio para representar la realidad fsica podra ser descrito
de la siguiente forma: Una muestra real est concebida para ser constituida por
fracciones de volumen separadas de cristalitos, cada cual obedece a cierto tipo de
interaccin de grano. Los modelos de Voigt y de Reuss representan dos tipos
extremos de interaccin de grano. En el marco de referencia de la muestra el
modelo de Voigt asume que todos los cristalitos de la muestra policristalina estn
sujetos a un estado de deformacin igual, mientras que el modelo de Reuss se basa
en el postulado de que todos los cristalitos estn en un mismo estado de esfuerzo.
Ambos modelos llevan a incompatibilidades en las fronteras del grano, en el modelo
 Informe: Esfuerzos Residuales

de Voigt se presenta una desigualdad en el esfuerzo, mientras que en el modelo de

Reuss se da una diferencia en la deformacin. Por lo tanto, ni el modelo de Voigt ni
el modelo de Reuss cumplen con el comportamiento elstico real de un policristal.
Entonces modelos de interaccin de granos efectivos han sido propuestos para
superar estas discrepancias [38, 39]. Un modelo de interaccin de grano efectivo es
construido como la suma ponderada de un nmero de modelos extremos de
interaccin de grano. En este caso en el que se involucra los dos modelos
previamente definidos, las constantes elsticas de difraccin estn dadas por la
siguiente expresin:

1,2 () = 1,2
()
+ (1 )1,2 (1.41)

Donde 1,2 () es la constante elstica de difraccin efectiva, 1,2

()
y 1,2 son las
constantes elsticas de difraccin de acuerdo al modelo de Voigt y al modelo de
Reuss, respectivamente, y w es un factor ponderado el cual puede ser utilizado
como un parmetro adicional de ajuste en un anlisis general de mnimos cuadrados
[40, 41]. Note que las constantes elstica de difraccin a la manera de Voigt son
isotrpicas, es decir ellas no dependen de hkl, mientras que las que son
determinadas por el modelo de Reuss son anisotrpicas, es decir que dependen de
hkl.

2.13 Modelamiento de los Esfuerzos Residuales por Difusin

Inicialmente cuanto la pelcula policristalina est en equilibrio termodinmico, los

potenciales qumicos de la superficie y de la frontera del grano son necesariamente
iguales. Sin embargo, durante la deposicin la superficie se encuentra en un estado
de no equilibrio con una poblacin supersaturada de adatomos. Al tratar un estado
como un estado de cuasi-equilibrio, un potencial qumico se le puede asignar a la
poblacin de adatomos. Los adatomos pueden ser tratados como un gas
bidimensional y el potencial qumico de la superficie ser funcin de la
concentracin de adatomos. Contribuciones adicionales del potencial qumico
pueden venir de la energa de interaccin entre los adatomos, y entre los adatomos
y otras caractersticas superficiales tales como escalones e islas. Tales
contribuciones podrn ser funcin de la concentracin de adatomos en la superficie.
Independientemente de sus origines, es importante reconocer que en presencia de
un flujo creciente, la superficie posee un exceso de potencial qumico, > 0. Al
tomar el potencial qumico de la superficie en equilibrio como cero, el exceso de
potencial qumico puede ser considerado como el potencial qumico de la superficie
s. El potencial qumico de los tomos de las fronteras del grano es proporcional a
los esfuerzos normales que actan ah. Cuando las islas se agrupan por completo,
las fronteras del grano estn bajo un esfuerzo tensil y por lo tanto el potencial
qumico es negativo. El alto potencial qumico en la superficie impulsa los adatomos
a la frontera del grano. La insercin de tomos extra dentro de la frontera del grano
genera una relajacin del esfuerzo tensil y posiblemente un esfuerzo compresivo.
Este mecanismo es reversible, es decir, cuando la deposicin se interrumpe, el
 Informe: Esfuerzos Residuales

potencial qumico de la superficie retorna a su menor valor de equilibrio. Esto

produce una situacin inversa donde el potencial qumico en la frontera del grano
es mayor que el de la superficie. Esta diferencia causa que los tomos se difundan
a fuera de la frontera del grano hacia la superficie, relajando la frontera del grano
del esfuerzo compresivo.

Con base en lo expuesto previamente, Chason [15] presenta un modelo simple que
tiene en cuenta el intercambio de tomos entre la superficie y la frontera de grano
despreciando la difusin en la superficie y en la frontera de grano. Dedujo una
ecuacin cintica unidimensional para calcular el flujo de tomos desde la superficie
a la frontera del grano resultando en una pelcula esforzada. Un esquema del
crecimiento de la pelcula policristalina se muestra en la Fig. 2.9. Se asume que los
granos individuales de longitud L se unen en una pelcula continua hasta que la
altura de la pelcula sea uniforme con un valor de h. Las fronteras del grano se
muestran como la regin sombreada en la figura y las flechas representan el hecho
de que los tomos se pueden mover reversiblemente entre la superficie y la frontera
del grano. R es igual a la tasa de crecimiento dh/dt el cual es proporcional al flujo
de crecimiento, J. El volumen atmico es y el espaciamiento atmico a es igual a
1/3.

Fig. 2.9 Modelo esquemtico para el flujo de tomos dentro de la frontera del
grano durante el crecimiento de la pelcula

Se define el potencial qumico en la superficie como

= + (1.42)

Donde es el potencial qumico de los adatomos de la superficie en equilibrio con

el slido y es el incremento en el potencial qumico debido al flujo de deposicin
que incide. La desviacin del equilibrio, , puede resultar en una supersaturacin
de adatomos en la superficie, nucleacin de nuevos grupos de tomos o incremento
de la densidad de la superficie. La caracterstica esencial es que la superficie tiene
un potencial qumico elevado durante el crecimiento comparado con el que sera en
el equilibrio. Es importante notar que corresponde a la diferencia en el potencial
qumico bajo dos diferentes condiciones (condiciones de equilibrio y condiciones de
crecimiento).
No es la diferencia entre el potencial qumico entre la superficie y el vapor.
 Informe: Esfuerzos Residuales

El potencial qumico en la frontera del grano es.

= + (1.43)

Donde es el potencial qumico de la frontera del grano sin deformacin en

equilibrio y es el esfuerzo normal actuando a travs de la frontera del grano [42]
(usando la convencin que el esfuerzo tensil es positivo). La diferencia del potencial
qumico entre la superficie y la frontera del grano es

= = + + (1.44)

Donde = corresponde a la diferencia entre los potenciales qumicos de

la superficie y la frontera del grano en ausencia de crecimiento y puede incorporarse
efectos tales como formas del grano fuera del equilibrio. La magnitud se espera
que sea pequea. Note que depende de las condiciones de crecimiento (a travs
de ) y del esfuerzo de la pelcula. Si es positivo, el flujo de tomos ser hacia
la frontera del grano desde la superficie. Definiendo Ngb como el nmero de tomos
extra que se adjuntan a la frontera del grano debido a este flujo, una ecuacin de
velocidad cintica relaciona la tasa de tomos que fluyen dentro de la frontera del

grano por la fuerza impulsora :

= 2 [1 / ] 2 (1.45)

La aproximacin lineal se asume que . El factor de 2 es debido a que hay

superficies al lado y lado de la frontera del grano que contribuyen tomos a sta. Se
define Cs como la concentracin de tomos mviles en la superficie, igual a Ns(a
/L), donde Ns es el nmero de tomos mviles en la superficie de cada grano. es
un parmetro cintico correspondiente a la tasa de transicin entre la superficie y la
frontera del grano. Se asume que hay un rpido transporte a travs de la superficie
y la frontera del grano por lo que no hay un gradiente en la superficie o en la frontera
del grano.
La incorporacin de Ngb tomos dentro de la frontera del grano resulta en un
esfuerzo compresivo en la pelcula. En adicin, hay un esfuerzo tensil, , que se
desarrolla como planos adyacentes de islas que crecen juntas para formar una
frontera de grano. Se aproxima este componente tensil como una constante debido
a la atraccin cohesiva entre los tomos de la frontera del grano [43]. El total del
esfuerzo en la pelcula es igual a:

= () (1.46)

Donde = /. corresponde al esfuerzo compresivo que podra resultar si

un tomo adicional fuera adjuntado a cada plano atmico en la frontera del grano
sin cambiar el tamao del grano. E es el mdulo elstico y es el factor de forma
geomtrico.
 Informe: Esfuerzos Residuales

Diferenciando la Ecu. (2.46) permite que se relacione la tasa de cambio de del

nmero de tomos que van a la frontera del grano y la tasa del incremento en la
altura (R) del grano durante el crecimiento. Usando la Ecu. (2.45) para determinar

y sustituyendo = () la tasa del cambio del esfuerzo est dado

por:

0 + +
= ( ) 2 ( ) + ( ) (1.47)

El esfuerzo siempre cae a un estado de equilibrio definido por = 0 con el
incremento del tiempo. El estado de equilibrio del esfuerzo residual compresivo est
dado por:

0 [( + )/]

= +(0 /)
(1.48)

Donde se define = /(2 ) como una tasa de crecimiento normalizada.

La dependencia del esfuerzo en equilibrio con los parmetros de crecimiento puede
estar determinada directamente por la Ecu. (2.48). De acuerdo al modelo, el
incremento del exceso del potencial qumico en la superficie, incrementa el
esfuerzo compresivo por el impulso de ms tomos en la frontera de grano.
Inversamente, un incremento en la tasa de crecimiento decrece el esfuerzo
compresivo por la disminucin de fracciones de tomos que pueden ser
incorporados en la frontera de grano durante el crecimiento (asumiendo que no
cambia).
En esta siguiente seccin se describe el modelo propuesto en el trabajo de Guduru
[44] basado en el de Chason [15], con la diferencia que se tiene en cuenta la difusin
en la frontera del grano. La difusin de la superficie es despreciable debido a que la
difusividad en la superficie usualmente mayor que la difusividad en la frontera del
grano, y por lo tanto, la difusin en la frontera del grano se espera que sea el lmite
del proceso en la determinacin de la evolucin del esfuerzo.

Una geometra de una pelcula idealizada bidimensional es considerada

donde todos los granos tienen una seccin transversal rectangular de ancho w y
altura inicial l0.

Se supone adems que en un principio, la pelcula y las fronteras de grano estn

bajo un esfuerzo tensil uniforme . Esta geometra inicial supone que representa el
estado de la pelcula inmediatamente despus de que se complete la coalescencia.
En esencia, la configuracin inicial bajo consideracin es una idealizacin del estado
de la pelcula cuando el esfuerzo tensil alcanza su mximo valor. Tal idealizacin
ignora el hecho que islas individuales se agrupan con sus vecinos a diferentes
tiempos, y diferentes islas podran experimentar diferentes niveles de esfuerzos
tensiles cuando el 100 % del rea es cubierta. Para modelos propuestos por Nix y
Clements [9] y Freund y Chason [10], discutidos previamente, es claro que en la
pos-coalescencia, la distribucin del esfuerzo a lo largo del espesor de la pelcula
 Informe: Esfuerzos Residuales

no es uniforme. Al asumir una geometra rectangular de los granos se ignora

cualquier ranura en la frontera de los granos y curvatura de la superficie. Cuando
las islas individuales se agrupan, la superficie de los granos naturalmente adquiere
una curvatura a lo largo con ranuras en los lmites de grano.

Fig. 1.10 Pelcula policristalina en equilibrio

En la Fig. 1.10 se muestra la geometra inicial de la pelcula policristalina, donde l0

es el espesor inicial de la pelcula y w el ancho del grano. En equilibrio, el potencial
qumico de la superficie s es igual al potencial qumico de la frontera de grano gb
y no hay intercambio neto de tomos entre stos. Las fronteras del grano estn
inicialmente bajo un esfuerzo tensil unforme . En la Fig. 1.11, el rea sombreada
en la intercara entre dos granos representa la masa que ha sido insertada en la
frontera de grano, el cual es impulsado por la diferencia en el potencial qumico. El
ancho del material insertado es denotado u(y). Se espera que los tomos entran en
la frontera del grano hagan parte de la red a ambos lados de la frontera del grano.

Fig. 1.11 Insercin de Adatomos hacia la frontera del grano porque el potencial
qumico del sustrato es mayor que el de la frontera del grano [42].

El potencial qumico de los tomos en la frontera del grano puede ser descrito como:
 Informe: Esfuerzos Residuales

() = () (2.49)

Donde (y) es el potencial qumico por tomo, es el volumen atmico y (y) es el

esfuerzo local normal a la frontera del grano en y. Una variacin del potencial
qumico a lo largo del espesor del grano establecera un flujo atmico J(y), el cual
puede ser descrito como

()
() = (1.50)

Donde D es la difusividad en la frontera del grano, es el espesor de la capa en la

cual la difusin en la intercara toma lugar. Es una prctica comn tomar el valor de
5 para [45], en metales. K es la constante de Boltzman y T es la temperatura
absoluta.
Combinando la ecuacin (1.49) y la ecuacin (1.50), se tiene

()
() = (1.51)

Aplicando conservacin de masa a lo largo del eje y (espesor de la pelcula) se

obtiene una ecuacin que muestra la evolucin de la separacin de la frontera del
grano, u(y) como

() 2 ()
= = (1.52)
2

Si se tiene una relacin independiente entre u(y) y (y), combinndolo con la Ecu.
(1.52), una ecuacin de evolucin del esfuerzo en la frontera del grano puede ser
obtenida, el cual puede ser resuelta usando condiciones de frontera apropiadas.

La relacin que propone Guduru [42] que relaciona el esfuerzo normal con la
separacin de la frontera del grano es.

() ()
= (1.53)

Donde w es el ancho del grano y es el mdulo biaxial, es decir, = donde
1
E es el mdulo de Young y es la relacin de Poisson. Derivando la Ecu. (1.53) y
reemplazndola en la Ecu. (1.52) se tiene una ecuacin de evolucin para el
esfuerzo en la frontera del grano

(,) 2 (,)
= (1.54)
2

Para resolver esta ecuacin de difusin se plantean las siguientes condiciones

inicial y de frontera. Como condicin inicial se asume un esfuerzo tensil uniforme
 Informe: Esfuerzos Residuales

(, 0) = 0 01 (1.55)

Donde l es el espesor actual de la pelcula. Una de las condiciones de frontera es

obtenida al asumir que no hay flujo de masa en la intercara pelcula-sustrato a lo
largo de la frontera del grano y la expresin es.

(0,)
=0 (1.56)

La segunda condicin de frontera es obtenida por el flujo neto de tomos en la

frontera de grano. El flujo de tomos desde la superficie a la frontera del grano es
impulsada por la diferencia de potencial qumico entre los adatomos y la frontera
del grano a y = l. El proceso de insercin de adatomos dentro de la frontera del
grano se asume que involucra una barrera de activacin como se muestra en la Fig.
1.12, en el cual se muestra el panorama energtico cerca de la unin de la superficie
y la frontera del grano. La barrera de activacin se muestra como .La relacin
cintica para el flujo atmico dentro de la frontera del grano puede ser escrita como.
2 2

= 1/3 [1 / ] 1/3

(1.57)

Se asume que el grano tiene una unidad como espesor en la direccin fuera del
plano.
En la linealizacin del trmino exponencial (Ecu. (1.57)), se asume que es
pequeo comparado con kT. Cs es la concentracin de adtomos en la superficie y
salto de adtomos dentro de la frontera del grano y es igual a exp( /),
el cual es el producto de la frecuencia de intentos y probabilidad del evento. La
tasa de transferencia es controlada por el producto de Cs . La diferencia del
potencial qumico puede ser expresado como.

= (, ) = (, ) (1.58)

Donde = , la nueva constante puede ser interpretado como el esfuerzo

de la frontera del grano en condiciones de equilibrio que alcanzara si la frontera del
grano y la superficie (en presencia de flujo de deposicin) estuvieran en completo
equilibrio con los dems. La condicin de frontera requerida ahora es obtenida al
afirmar que Jsg = J(l,t).
Entonces esta condicin puede ser escrita en trminos de esfuerzo como.

(,) 2 2/3
= [ (, )] (1.59)

 Informe: Esfuerzos Residuales

Fig. 1.12 Panorama energtico prximo a la unin de la superficie y la frontera del

grano para procesos de insercin en una frontera de grano, donde es el
potencial qumico entre la superficie y la frontera de grano y es la barrera de
activacin de difusin y la frontera del grano.

Para completar la formulacin, se considera la condicin de crecimiento.

() = 0 + (1.60)

Donde es la tasa de crecimiento. Las Ecu. (1.54) (1.56), (1.59) y (1.60) definen
el problema del movimiento de frontera para la evolucin del esfuerzo a lo largo de
la frontera del grano.

El problema anterior puede ser resuelto numricamente por el mtodo del espacio
de grilla variable usando un esquema de diferencias finitas [46]. En esta tcnica, el
nmero de intervalos de espacio a lo largo de la frontera del grano se mantiene
constante, como lo ilustra la Fig. 1.13. Como el espesor de la pelcula se incrementa,
el tamao de cada intervalo de espacio tambin se incrementa. La Ecu. (1.54) da la
tasa de cambio de esfuerzo del material cuando se fija en y. Sin embargo, en el
mtodo del movimiento de la rejilla de espacio, se trata con la tasa de cambio a un
nodo fijo, el cual puede ser expresado por el i-esimo nodo como.

( ) = () ( ) + ( ) (1.61)

Es tomado como.

()
( ) = () = () (1.62)

 Informe: Esfuerzos Residuales

Fig. 1.13 Movimiento de la rejilla para resolver las ecuaciones de esfuerzos [42].

Usando las ecuaciones (1.54) y (1.62) en la ecuacin (1.61) y reemplazando por la

relacin de aspecto inicial del grano = w/l0, la ecuacin que gobierna al i-simo
nodo puede ser escrito como

2
( ) = () () + ( 2 ) (1.63)
0

Bibliografa

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 Informe: Esfuerzos Residuales

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