Center Two Español
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CENTRO DE
DOS TRES
Controlador multicanal
Manual de uso del GA 09,035 / 6,02
Gato. No.
003
1 004
235 003
235 004
Contenido
Contenido
1 Introducción . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.1 Validez. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2 Uso previsto . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.3 versiones del producto. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
..5
1.4 La
seguridad . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2 Datos técnicos . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.1 Informacion
General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.2 Conexión a la red. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2.3 Canales. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.4 Funciones de
conmutación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.5 Salidas. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.6 Volumen de suministro. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. 14
2.7 Accesorios. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
3 Instalación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.1 Desembalaje. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
15
3.2 Instalación mecánica . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3.3 Conexión. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4 Operación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.1 Panel frontal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
4.2 Encendido y apagado. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
4.3 Modos de
funcionamiento. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
4.4 modo de medición. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
4.5 modo de parámetros. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
33
5 Parámetros. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
5.1 Cambio de parámetros de la función (PArA
SP). . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
5.2 parámetros de sensor (PArA SEN). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
39
5.3 Parametros generales (PArA GEN). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
47
5.4 Los parámetros de prueba (tESt para). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . 52
6 interfaz de la
computadora. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
6.1 Conceptos básicos. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . 57
6.2 Comunicación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
6.3 Mnemotécnicos. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
7 Mantenimiento y servicio. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
7.1 Mantenimiento. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
7.2 Modo de transferencia del programa. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
7.3 Calibración. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
8 Solución de problemas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
8.1 Indicación de fallo. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
8.2 Error de mensajes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
8.3 Soporte técnico . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
9 Almacenamiento y eliminación. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
9.1 Embalaje . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
9.2 Almacenamiento. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
9.3 Disposición. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
Apéndice. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Los parámetros por defecto. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 92
Literatura. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
Índice. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
1 Introducción
1 1Validity
Introducción
Introducción
1.4 La seguridad
Nota:
Una nota como ésta indica particularmente importante, pero no la
información relevante para la seguridad.
Red eléctrica.
El controlador de Multi-Channel contiene partes que están conectados a la red eléctrica.
Asegúrese de que no haya objetos entran a través de las rejillas de ventilación de la unidad. Mantenga la
unidad seca. No abra la unidad.
Uso inapropiado.
El uso incorrecto puede dañar el controlador multicanal.
Utilice el controlador multicanal sólo como previsto por el fabricante.
Ver Capítulo 1.2 Uso previsto, ㄷ 5.
Introducción
Peligro
Precaución
Precaución
Introducción
Un dispositivo de desconexión
Datos técnicos
2 Datos técnicos
106.3
91.4 103
3.5
122,5
128,5
110
285
204.5 2.5
Datos técnicos
2.1.2 Ambiente
Frecuencia 50 ... 60 Hz
El consumo de energía CENTRO DE DOS:
Max. 45 W
CENTRO DE TRES:
Max. 65 W
Categoría de sobrevoltaje II
clase de protección 1
Conexión conector de dispositivo europea IEC
320 C14
Datos técnicos
2.3 canales
conexiones de los
2.3.1 sensores
Datos técnicos
Nota:
Las mediciones de la ITR / CTR 100 / CTR 101 se transfieren digitalmente.
Datos técnicos
Número 1
Tiempo de retardo ≤ 20 ms
2.5 salidas
2.5.1 Salida analógica
Resistencia interna 47 Ω
Relación entre la tensión y la transmisor
PRESION dependientes
Por
supuest
o
D-Sub, 9 pines,
Conexión macho.
Ver La Fig. 3-9, ㄷ 22.
Número 1
Exactitud ± 20 mV
Datos técnicos
Defecto RS232C
Designacion Número
Controlador multicanal 1
cable de red 1
Tira de goma 1
Patas de goma 2
tornillos de cuello 4
Fundas de plastico 4
2.7 Accesorios
Instalación
5889 Inspeccione visualmente
el controlador multicanal
para detectar signos de
daños
Precaución
Instalación
Fig. 3-1 El uso del producto como una unidad de sobremesa
105
91.4
122,5
112
M3 (ø3,5)
Nota:
Con el fin de reducir la tensión en el panel frontal se recomienda SUP-
puerto de la parte inferior de la unidad.
Instalación
Nota:
Con el fin de reducir la tensión en el panel frontal se recomienda
equipar el chasis adaptador de rack con un carril de guía.
Nota:
Para una instalación segura y fácil de adaptadores de bastidor de
chasis pesado, es reco--rec dotar a la estructura del bastidor con
raíles de deslizamiento.
Fije el adaptador de chasis de bastidor en el bastidor
Inserte el controlador multicanal en el adaptador de chasis de rack
Fijar el controlador multicanal con los tornillos suministrados cuello y
mangas de plástico para el adaptador de chasis de rack
Instalación
Advertencia
3.3 Conexión
U
N
J
s
e
g
u
n
d
y
o
o
d
o
r
e
H GK F mi
Red eléctrica.
Indebidamente los dispositivos conectados a tierra pueden ser extremadamente peligrosos en caso de fallo.
Utilizar la red de tres hilos o cables de extensión con la tierra de protección solamente. Enchufe el cable de red
en los enchufes de pared con tierra de protección solamente.
Nota:
Si la unidad está instalada en un armario de distribución, la tensión de red puede ser sup-plegados a
través de un distribuidor de poder central conmutable.
3.3.3 Suelo
El tornillo de tierra (Fig. 3-4, ㄷ 18, inciso I) se pueden utilizar para conectar el controlador multicanal con la
tierra de protección de la estación de bombeo.
Si es necesario: Conecte la tierra de protección de la estación de bombeo con el tornillo de tierra. Use un
conductor de protección.
Instalación
Advertencia
Advertencia
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 19
Instalación
3.3.4 SENSOR
La conexión del sensor se utiliza para conectar los transmisores.
Para cada canal, hay dos conexiones disponibles que están conectados en
paralelo: Un zócalo de aparato RJ45 8 pines y una toma de aparato D-Sub
de 15 pines. VerFig. 3-4, ㄷ 18, Un artículo en ... C.
asignación de pines
8 1
Fig.
3-
6SE
NSO
R
sock
et
apar
ato
(RJ4
5)
24
VD
1 C 5 Señal GND
PG
2 ND 6 Estado
Señ
3 al 7 HV_L
Iden
4 t 8 HV_EMI
8 1
15 9
Conexión
Canal 1: conectar el sensor con el CH1-A o conexión CH1-B. Use un
blindado cable 1: 1.
Canal 2: Conexión del sensor con el CH2-A o conexión CH2-B. Use un
blindado cable 1: 1.
Canal 3: Conectar el sensor con el CH3-A o conexión CH3-B. Use un
blindado cable 1: 1.
3.3.5 RELÉ
Las funciones de conmutación y el sistema de supervisión de errores
influyen en el estado de varios relés interior del controlador multi -Canal. La
conexión de relés(Fig. 3-4, ㄷ 18, punto J) permite utilizar los contactos de
relé para la conmutación de PUR-poses. Los contactos del relé están libres
de potencial (flotante).
asignación de pines
13 1
25 14
Nota:
Pin 25 se utiliza para la alimentación de los relés con un poder de
corte superior. El contacto de alimentación está protegida a 200 mA
con un elemento de PTC. El elemento es auto-rearme cuando se
cambia de la unidad o desconectar el conector del relé.
3.3.6 CONTROLAR
La conexión de control (Fig. 3-4, ㄷ 18, punto D) contiene los siguientes
pines sig-nal:
Las salidas analógicas para las señales de los canales individuales
salida de la grabadora. Esta es una salida analógica programable que
puede ser tan-firmado a uno de los tres canales.
HV-EMI. Se utiliza para conmutar el circuito de alto vacío de la 225 transmisor
PTR encendido y apagado. Los niveles de señal son: On = 24 V. Off = 0 V.
VerReferencia [3].
asignación de pines
1 5
6 9
Nota:
Las salidas analógicas (patillas 1, 2, 6) se diferencian de los valores
mostrados por no más de ± 50 mV.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
Instalación
3.3.7 RS232C
La interfaz serial RS232C (Fig. 3- 4, ㄷ 18, ítem F) permite el control remoto
de la unidad a través de un ordenador o un terminal. VerCapítulo 6 Interfaz
del equipo, ㄷ 57.
Además, la interfaz puede ser usada para actualizaciones de firmware.
Vercapítulo 7.2 Modo de transferencia del programa, ㄷ 85.
asignación de pines
5 1
9 6
1 nc / SUP 6 DSR
Car
olina
del
Nort
2 TXD 7 e
3 RXD 8 CTS
4 Carolina del Norte 9 GND
5 GND
Nota:
Utilice un cable de extensión de serie con un conector de 9 pines y un
conector de 9 pines. El ca-ble no debe contener ningún alambres
cruzados.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 23
Operación
4 Operación
UN segundodo
re
mi
GRAMO
CENTRAR TRES
Operación
4.1.1 Monitor
funciones de conmutación
La esquina superior izquierda (punto A) de la pantalla indica los estados de
función de conmutación. Un triángulo iluminado por encima de un número
indica que la presión está por encima del valor umbral inferior. Un triángulo
iluminada por debajo de un número indi-Cates que la presión está por
debajo del valor de umbral superior. VerFig. 5-1, ㄷ 37.
modo de Parámetros
El indicador PARA (punto B) se ilumina cuando la unidad está ajustado en el
modo de paráme-ter.
unidad de presión
La esquina superior derecha (punto C) de la pantalla indica la unidad de presión: mbar,
Torr, Pa, o Micron.
canales
Hay una zona de visualización independiente para cada uno de los canales disponibles (punto D, E,
F). Desde la izquierda a la derecha, esta área muestra la siguiente información:
Monitor Significado
1, 2, 3 Numero de canal
FAIL (parpadeando) Error
DEG (iluminados) Degas se activa la función
HV (iluminados) circuito de alto vacío se activa
CH
El botón CH se utiliza para seleccionar un canal. Esto puede ser necesario
por ejemplo, si desea cambiar un transmisor particular, encendido o
apagado, o si desea modificar los parámetros del sensor. El número del
canal actualmente seleccionado parpadea durante unos segundos.
PARACA
El botón PARA se utiliza para seleccionar el modo de parámetros. El
indicador PARA (punto B) se ilumina y se puede modificar varios
parámetros. VerCapítulo 4.5 Modo de Parámetros, ㄷ 33.
Operación
4.2.1 Encendido
El interruptor de red se encienden. VerFig. 3-4, ㄷ 18, punto H.
Después de la conexión, el controlador multicanal llevará a cabo las
siguientes acciones:
Autotest
Identificar todos los transmisores
Restaurar los parámetros establecidos previamente
Activar el modo de medición
Adaptar los parámetros (si es un tipo de transmisor ha cambiado mientras
tanto)
4.2.2 Apagando
desconecte el interruptor de la red eléctrica. VerFig. 3-4, ㄷ 18, punto H.
Nota:
Si el controlador multicanal se ha instalado en un panel de control o un
estante, sino que también se puede encender y apagar a través del
distribuidor de energía central.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
Operación
modo de medición
El modo de medición es el modo de funcionamiento estándar. Muestra los
pres-Sure lecturas de los transmisores. En caso de un error, un mensaje de
estado es dis-jugó en su lugar. VerCapítulo 4.4 Modo de medición, ㄷ 27.
modo de Parámetros
El modo de parámetros le da acceso a varios parámetros. Puede
comprobar los ajustes de los parámetros o modificarlos utilizando los
botones de flecha. Esto le permite configurar el controlador multicanal.
VerCapítulo 4.5 Parámetro modo, ㄷ 33.
4.4.1 Selección
El controlador de Multi-Channel selecciona automáticamente el modo de
medición después de que se ha encendido.
Cuando la unidad está ajustado en el modo de parámetros, volverá
automáticamente al modo de medición, si no se pulsa ningún botón durante
10 segundos.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 27
Operación
4.4.2 Descripción
El modo de medición es el modo de funcionamiento estándar. Muestra los
pres-Sure lecturas de los transmisores. Un mensaje de estado se muestra si
el pres-seguro excede del rango permitido. VerLengüeta. 4-1,ㄷ 28.
Monitor Presión
Significativamente por encima de lo
Hola er permisible
distancia
El indicador parpadeará FALLO
Los conmutadores de relé de señal
de error
Por encima de los límites permitidos.
Limite superior los
límite superior del rango de medición
es
desplegado.
Los canales que no están conectados a una pantalla del transmisor Nosen.
Este mensaje de estado desaparece después de aproximadamente dos
minutos.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
Operación
Operación
Operación
Operación
4.4.3.7Identifying un transmisor
Mantenga los botones ARRIBA y ABAJO presionado durante
aproximadamente 1 segundo
Monitor Significado
Nota:
En el caso de transmisores de ITR, se muestra también el número de
versión de software del sen-sor (por ejemplo, 1,20).
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
Operación
4.5.1 Selección
Presionando el botón PARA desde el modo de medición para el modo
de parámetros. El indicador se ilumina PARA.
Cuando la unidad está ajustado en el modo de parámetros, volverá
automáticamente al modo de medición, si no se pulsa ningún botón durante
10 segundos. El PARA indica-tor es oscuro.
SP1-L
Paraca SP1-H
SP SP2-L
SP2-H
SP3-L
SP3-H
SP4-L
SP4-H
SP5-L
SP5-H
SP6-L
SP6-H
Paraca FiLt
GAS
SEn
FS
oFS
Degas
Hijo
S-apagado
EMi
FiL
Pre
Paraca unidad
bAud
GEn
dígito
dEF
Ao
Err-r
Operación
Paraca PNR
dt-C
prueba
tr-L
Línea de Control
rata
EP-t
EE-t
di-t
Ad-S
Ad-i
CALib
io-t
rS-t
Operación
parámetros
5 parámetros
funciones de conmutación
El CENTRO DOS está equipado con cuatro relés que conmutan en
dependencia de la presión medida. Los contactos del relé están libres de
potencial y se pueden utilizar para la conmutación a través de la conexión del
relé. VerCapítulo 3.3.5 RELAY,
21. En este contexto se habla de las funciones de conmutación 1 ... 4.
El CENTRO TRES contiene un total de seis relés de función de
conmutación, es decir, las funciones de conmutación 1 ... 6 están
disponibles en esta unidad.
Límite de ventas
El comportamiento de conmutación de los relés individuales está
determinada por dos Parame-tros cada uno: El valor umbral inferior y el
valor umbral superior de la función de conmutación.
Valor de umbral inferior SP-L:
El valor umbral inferior es responsable de activar la función de
interruptor-ción asignada. El relé se conecta tan pronto como la presión
cae por debajo del valor umbral inferior. Esto significa que el contacto
común del relé se conecta al contacto de cierre.
Alto valor umbral SP-H:
El valor umbral superior es responsable de la desactivación de la
función de conmutación asignado. El relé se desconecta tan pronto
como la presión se eleva por encima del valor umbral superior. Esto
significa que el contacto común del relé se conecta al contacto de cierre.
parámetros
Histéresis
En el intervalo de presión entre los dos valores de umbral, se mantiene el
estado del relé anterior. El relé no cambia en este rango, y el estado del relé
depende de la historia curva de presión. VerFig. 5-1, ㄷ 37.
pag
SP-H
SP-L
NO NO NO
COM COM COM
CAR
OLIN
A
DEL
NOR CAROLINA DEL
TE NORTE CAROLINA DEL NORTE
Fig. 5-1 Comportamiento de una función de conmutación cuando los cambios de presión
Presión
TTIME
NO hacer contacto (normalmente abierto)
contactos COMcommon
CAROLINA DEL NORTE contacto de apertura (normalmente cerrado)
La región entre los valores de umbral genera una histéresis (retardo) entre
la activación y desactivación del relé. La histéresis impide que la función de
conmutación de conmutación rápidamente dentro y fuera cuando la presión
está cerca de uno de los valores de umbral.
parámetros
Esto significa que las cantidades de histéresis a 10% del valor umbral
inferior (transmisores logarítmica) o a 1% del intervalo de escala completa
(transmisores lineales) por lo menos. Si otro tipo de transmisor está
conectado a un canal, los valores de umbral respectivos se ajustarán
automáticamente si es necesario.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
parámetros
Transmisor
oFS
Hijo
EMi
FiLt
Pre
FiL
FS
TTR
TTR 100
PTR
PTR 90
CTR
CTR 100
ITR
ITR 200
parámetros
Rápido
Rápido. El controlador multicanal responde rápidamente a las variaciones
de señal. Esto hace que sea más sensible a la señal de ruido.
pag
ni
Normal. Esta es la configuración predeterminada. Se ofrece un buen
compromiso entre el tiempo de respuesta y la sensibilidad al ruido.
pag
SLo
Lento. El controlador multicanal responde lentamente a las variaciones de
señal. Esto hace que sea menos sensible a la señal de ruido. Esta
configuración se recomienda para mediciones de comparación pre-Cise.
pag
t
Fig. 5-4 Medición con el conjunto de filtro para SLo (ejemplo)
parámetros
ctr
Para los transmisores de CTR. La respuesta del controlador de
multiparámetros -Canal para señalar los cambios depende del rango de
medición. La pantalla es especialmente estable en el rango de medida baja.
Monitor Significado
Nitrógeno o aire. no se requiere corrección de cualquier
n2 tipo.
Argón. La lectura de la presión se determina utilizando
Arkansas una
factor de corrección para argón. COR se ilumina.
Hidrógeno. La lectura de la presión se determina la
H2 utilización de
un factor de corrección para el hidrógeno. COR se
ilumina.
Otros gases. La lectura de la presión se determina
cor utiliz-
ing un factor de corrección variable. COR se ilumina.
cor
Si desea realizar mediciones de la presión en un tipo de gas sin un factor de
corrección fija, es posible multiplicar la lectura con un factor de corrección de
presión variable. Con este fin proceder como sigue:
Ajuste el parámetro a GAS Cor
Pulse el botón PARA
0 Se muestra el factor de corrección
Utilice los botones de flecha del modificar el factor de corrección
0 Se cambia el valor del parámetro
1 El indicador se ilumina COR
Se puede ajustar el factor de corrección de un transmisor en el rango 0.10 ... 9.99.
El ajuste de 1.00 devuelve la lectura de la presión sin corregir.
Nota:
Para los transmisores de tipo ITR und PTR 90, la corrección del tipo de
gas es effec-tiva sólo para p <10-2 mbar; en caso de TTR100 y TTR 101
sólo para p <10 mbar.
cabezales de medición DI
200 mbar (DI200)
2 bar (ED2)
2 bar relativo (dir2)
Nota:
Desactive siempre la corrección de la desviación antes de ajustar el
desplazamiento de un transmisor.
Nota:
Primero se regula el transmisor, entonces el controlador multicanal.
Nota:
Después de ajustar el punto cero, se muestra un valor cero. Debido a la
resolución mea-suring del CTR 100 y CTR 101 (ruido, la deriva), un cero
con más / menos se muestran varios dígitos.
Mano
A mano. El transmisor se puede activar pulsando el botón UP. Ver
Capítulo 4.4.3.3 de conmutación de circuito de alto vacío en, ㄷ 30.
Caliente
Arranque en caliente. El transmisor se enciende automáticamente cuando la
unidad está encendida. Después de un fallo de alimentación de la medición se
reanudará automáticamente.
CH 1
Por el canal 1. El parámetro posterior t-on se utiliza para especificar el
umbral de conexión. El transmisor se enciende cuando la presión en el
canal 1 cae por debajo del umbral de conexión.
CH 2
Por el canal 2. El parámetro posterior t-on se utiliza para especificar el
umbral de conexión. El transmisor se enciende cuando la presión en el
canal 2 cae por debajo del umbral de conexión.
CH 3
Por el canal 3. Este ajuste sólo está disponible si la unidad está equipada
con tres canales. El parámetro posterior t-on se utiliza para especificar
umbral el interruptor -on. El transmisor se enciende cuando la presión en el
canal 3 cae por debajo del umbral de conexión.
Mano
A mano. El transmisor puede ser apagada pulsando el botón ABAJO.
Ver Capítulo 4.4.3.5 de conmutación de circuito de alto vacío apagado, ㄷ
31.
YO
Auto control. El parámetro posterior t-off se utiliza para especificar el umbral
de desconexión. El transmisor se apaga cuando la presión en el sensor
excede el umbral de desconexión.
CH 1
Por el canal 1. El parámetro posterior t-off se utiliza para especificar el
umbral de desconexión. El transmisor se apaga cuando la presión en el
canal 1 excede el umbral de desconexión.
GA 09,035 / 6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
parámetros
CH 2
Por el canal 2. El parámetro posterior t-off se utiliza para especificar el
umbral de desconexión. El transmisor se apaga cuando la presión en el
canal 2 supera el umbral de desconexión.
CH 3
Por el canal 3. Este ajuste sólo está disponible si la unidad está equipada
con tres canales. El parámetro posterior t-off se utiliza para especificar el
umbral de desconexión. El transmisor se apaga cuando la presión en el
canal 3 excede el umbral de desconexión.
Monitor Significado
Emisión se enciende y se apaga por el
Auto transmisor
electrónica
Hombre Emisión se enciende y se apaga manualmente
Display Significance
Auto The transmitter alternately selects one of the two
filaments
Fil 1 Filament 1 ist active
Fil 2 Filament 2 ist active
Display Significance
Display Significance
Nota:
La unidad de presión «Torr» se puede bloquear. En este casotorr no
está disponible para la selección. VerCapítulo 5.4.4 bloqueo Torr (tr-L), ㄷ
53.
Monitor Significado
Monitor Significado
2 dos dígitos
Nota:
los parámetro dígitos no tiene ningún efecto en el transmisor CTR.
Nota:
Cuando PrE está activado, la pantalla de transmisores de TTR en el
intervalo de presión p <10-4 mbar se reduce por un dígito.
modificación de parámetros
Seleccionar el parámetro Ao
Utilice el botón CH para asignar la salida de la grabadora a un canal
Utilice los botones de flecha para seleccionar la curva característica de la
salida “ Se cambia el valor del parámetro
curvas características
Fundamentalmente hay que distinguir entre las curvas logarítmicas y
lineales carac-rística. Una curva característica logarítmica es útil si el
intervalo de presión abarca varios órdenes de magnitud en la medición. En
este caso es apropiado para tomar el logaritmo de la presión y luego escalar
el resultado de una manera adecuada.
Una curva característica lineal es útil si el intervalo de presión cubre sólo
unos pocos órdenes de magnitud en la medición. En este caso el volt-edad
salida del registrador es proporcional al valor de presión. Puede especificar
qué valor de presión dará lugar a la tensión de salida máxima.
Las curvas características disponibles se describen en la siguiente. En cada
caso se muestra cómo calcular la presión p (en mbar) de la tensión de
salida del registrador U (en voltios).
Iniciar sesión
representación logarítmica de todo el rango de medición.
TTR p = 10 ^ [U / (10/7) - 4]
TTR 100 p = 10 ^ [U / (10/7) - 4]
PTR p = 10 ^ [U / (10/7) - 9]
PTR 90 p = 10 ^ [U / (10/12) - 9]
CTR p = 10 ^ [U / (10/4) - 4] * FS
ITR p = 10 ^ [U / (10/12) - 9]
log A
representación logarítmica de todo el rango de medición (compatible con el
Una serie).
TTR p = 10 ^ [U / (10/6) - 3]
TTR 100 p = 10 ^ [U / (10/7) - 4]
PTR p = 10 ^ [U / (9/7) - 9 - 7/9]
PTR 90 p = 10 ^ [U / (10/11) - 8]
CTR p = 10 ^ [U / (10/4) - 4] * FS
ITR 90 p = 10 ^ [(U - 7,75) /0.75]
ITR 200 p = 10 ^ [U - 8]
LoG -6
representación logarítmica de un rango de medición parcial (2,5 V / década).
LoG -3
representación logarítmica de un rango de medición parcial (2,5 V / década).
LoG 0
representación logarítmica de un rango de medición parcial (2,5 V / década).
LoG 3
representación logarítmica de un rango de medición parcial (2,5 V / década).
LoGC1
representación logarítmica adaptada a la siguiente combinación de sensor:
TTR en el canal 1
PTR 225 en el canal 2
LoGC2
representación logarítmica adaptada a la siguiente combinación de sensor:
CTR en el canal 1
CTR en el canal 2
Esta curva característica sólo es útil si los transmisores tienen diferentes
rangos de MEA-suring. El rango de medición total de la combinación del
sensor es repre-SENTED logarítmicamente en el rango de 0 ... 10 V.
LoGC3
representación logarítmica adaptada a la siguiente combinación de sensor:
CTR en el canal 1
CTR en el canal 2
CTR en el canal 3
Esta curva característica sólo es útil si los transmisores tienen diferentes
rangos de MEA-suring. El rango de medición total de la combinación del
sensor es repre-SENTED logarítmicamente en el rango de 0 ... 10 V.
Nota:
Los tres transmisores deben ser ordenados de acuerdo con su rango
de medición (FS). El orden de clasificación puede ser creciente o
decreciente.
Lin n
representación lineal. U = 10 V es equivalente a mbar p = 10n. El
exponente n puede ser cualquier valor entero en el rango de -10 ... + 3.
IM 221 p = 10 ^ [U - 10]
LoGC4
representación logarítmica de 12 décadas (0,83 V / década) adaptada a la
siguiente combinación de sensor:
TTR 100 o TTR 101 en el canal 1
ITR 200 en el canal 2
Monitor Significado
parámetros
5.4 Los parámetros de prueba (tESt para)
Este grupo de parámetros está destinado para fines de prueba y de
servicios. Se utiliza para examinar los datos adicionales del sistema, para
establecer los parámetros básicos del sistema, y para controlar las
funciones individuales del sistema.
La prueba de grupo de parámetros no se requiere para el funcionamiento
normal. Por esta razón no se puede acceder normalmente.
5.4.1 Selección
Cuando se enciende
La prueba de grupo de parámetros que se disponga, si se cambia en el
controlador multi-Chan-nel de la siguiente manera:
Pulse el botón para y mantenerlo presionado
El interruptor de red se encienden. VerFig. 3-4, ㄷ 18, punto H.
0 El controlador multicanal está encendido
1 La prueba de grupo de parámetros se selecciona
2 El indicador se ilumina PARA
Nota:
Cuando el grupo de parámetros ensayo se selecciona, el controlador
multicanal no volverá automáticamente al modo de medición. Con el fin de
volver al modo de medición, presione el botón PARA repetidamente hasta
que todos los parámetros de las pruebas se han ejecutado a través.
parámetros
5.4.3 control de Watchdog (dt-C)
Comportamiento del sistema de supervisión del sistema (control watchdog)
en caso de un error.
Monitor Significado
Auto Un mensaje de error del control de vigilancia es
acknowledged automatically after 2 seconds
oFF An error message from the watchdog control
must be acknowledged by the user
Display Significance
Display Significance
Parameters
5.4.6 RAM test (rA-t)
Prueba de la memoria principal. Pulse el botón UP para iniciar la prueba.
Monitor Significado
Monitor Significado
Monitor Significado
Nota:
Cuando la señal de entrada no está conectado, un valor fluctuante rápidamente es dis-jugador, debido a la
alta sensibilidad de medición de la unidad.
Pulse el botón UP para iniciar la prueba.
Relay test.
In this test the relays switch irrespective of the actual pressure. This may cause unintended switching of
devices.
Unplug the RELAY connection before performing a relay test.
Display Significance
Parameters
Caution
Parameters
Display Significance
r4-H Switching function 4 relay on
r4-L Switching function 4 relay off
r5-H Switching function 5 relay on
r5-L Switching function 5 relay off
r6-H Switching function 6 relay on
r6-L Switching function 6 relay off
r7-H Error signal relay on
r7-L Error signal relay off
Computer interface
Computer interface
1Basics
6.1.1 Connection
The Multi-Channel Controller is able to communicate with a computer via a
serial interface (RS232C). The connection socket and the required
connection cable are described in Chapter 3.3.7 RS232C, ᄃ 23.
6.1.2 Nomenclature
The following terms and symbolic styles will be used in the description of the
computer interface:
Term Significance
Sending (S) Data transfer from the Host to the Multi-Channel Con-
troller
Receiving (R) Data transfer from the Multi-Channel Controller to the
Host
ASCII American Standard Code for Information Interchange
Computer interface
6.2 Communication
6.2.1 Protocol
The following protocol is used in the communication:
8 data bits
No parity bit
1 stop bit
The baud rate can be selected. See Chapter 5.3.2 Baud rate (bAud), ᄃ 47.
Hardware handshake is not used.
Messages are transferred as ASCII strings. Blanks (spaces) in the string are
ignored. The information is exchanged bidirectionally, i.e. data and control
commands can be exchanged in both directions.
The input buffer of the Host must have a capacity of at least 75 bytes.
Computer interface
6.2.4 Examples
Computer interface
Output
The above data is always output in the exponential format. A five-digit man-
tissa and a two-digit exponent are used. Both parts of the number may
contain a sign.
Symbolic representation: ±a.aaaaE±aa
Example: 1.2500E-01
In the case of logarithmic transmitters (TTR, PTR, ITR) the last two digits of
the mantissa are always zero. Linear transmitters (CTR) use all digits of the
mantissa.
Input
The above data may be input either in the exponential format or in the fixed
point format. The input data is automatically converted to the exponential for-
mat by the unit.
Example: 1.25E-1 and 0.125 are both valid input data.
Computer interface
6.3 Mnemonics
6.3.1 Overview
Mnemonic Significance
Mnemonic Significance
Computer interface
6.3.2 AOM
Analog output mode. Characteristic curve of the recorder output. See
Chapter 5.3.5 Recorder output (Ao), ᄃ 48.
AOM[,a,b]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b<CR><LF>
Parameters Significance
a Channel number
0 = Channel 1
1 = Channel 2
2 = Channel 3
b Characteristic curve
0 = Logarithmic LoG
1 = Logarithmic LoG A
2 = Logarithmic LoG -6
3 = Logarithmic LoG -3
4 = Logarithmic LoG +0
5 = Logarithmic LoG +3
6 = Logarithmic LoGC1
7 = Logarithmic LoGC2
8 = Logarithmic LoGC3
9 = Linear Lin -10
10 = Linear Lin -9
11 = Linear Lin -8
12 = Linear Lin -7
13 = Linear Lin -6
14 = Linear Lin -5
15 = Linear Lin -4
16 = Linear Lin -3
17 = Linear Lin -2
18 = Linear Lin -1
19 = Linear Lin +0
20 = Linear Lin +1
21 = Linear Lin +2
22 = Linear Lin +3
23 = iM221
24 = Logarithmic LoGC4
25 = PM411
Computer interface
6.3.3 BAU
Baud rate. Transfer rate of the RS232C interface. See Chapter 5.3.2 Baud
rate (bAud), ᄃ 47.
BAU[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>
Parameters Significance
a Transfer rate
0 =9600 baud (default)
1 = 19200 Baud
2 = 38400 Baud
Note:
The acknowledgement of the BAU command will already be sent with
the changed transfer rate.
6.3.4 COM
Continuous mode. Continuous transmission of measurements to the
serial interface.
COM,a<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
The acknowledgement is immediately followed by the continuous measure-
ment transmission. The measurements are always output in the exponential
format.
R: b,±c.ccccE±cc,d,±e.eeeeE±ee,f,±g.ggggE±gg <CR><LF>
Parameters Significance
a Period
0 = 100 milliseconds
1 = 1 second (default)
2 = 1 minute
b Status of channel 1
0 = Measurement data ok
1 = Underrange
2 = Overrange
3 = Transmitter error
4 = Transmitter switched off
5 = No Transmitter
6 = Identification error
7 = ITR error
±c.ccccE±cc Reading of transmitter 1 in current unit of mea-
surement
Parameters Significance
d Status of channel 2
(see above)
±e.eeeeE±ee Reading of transmitter 2 in current unit of mea-
surement
f Status of channel 3
(see above)
±g.ggggE±gg Reading of transmitter 3 in current unit of mea-
surement
6.3.5 COR
Correction factor. See Chapter 5.2.2 Gas type (GAS), ᄃ 41.
COR[,a.aa,b.bb,c.cc]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a.aa,b.bb,c.cc<CR><LF>
Parameters Significance
Note:
The correction factor is only used when the gas type is set to «Other
gas». See Chapter 6.3.14 GAS, ᄃ 70.
6.3.6 DCD
Display control digits. Number of digits shown in the display. See
Chapter 5.3.3 Display format (diGit), ᄃ 48.
DCD[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>
Parameters Significance
a Number of digits
2 = 2 digits (default)
3 = 3 digits
Note:
When PrE is enabled, the display of TTR transmitters in the pressure
range p < 10-4 mbar is reduced by one digit.
6.3.7 DGS
Degas. See Chapter 5.2.5 Degas function (dEGAS), ᄃ 43.
DGS[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
a Transmitter 1
0 = Degassing off (default)
1 = Degassing on
b Transmitter 2
(see above)
Note:
The degas function is switched off automatically after 3 minutes. It
may be also be stopped prematurely.
Computer interface
6.3.8 ERA
Error relay allocation. See Chapter 5.3.6 Error signal relay (Err-r), ᄃ 51.
ERA[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>
Parameters Significance
6.3.9 ERR
Error status.
ERR<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aaaa<CR><LF>
Parameters Significance
Note:
The error status is a binary number. It may be combined by the logical
operator OR. Example: 1001 = Device error and syntax error.
Computer interface
6.3.10 EUM
Switch the emission. See Chapter 5.2.10 Emission (EMi), ᄃ 45.
EUM[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
6.3.11 FIL
Filter. Measurement filter. See Chapter 5.2.1 Measurement filter (FiLt), ᄃ 39.
FIL[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
6.3.12FSR
Full scale range. Full scale range of linear transmitters (CTR, DI). See
Chapter 5.2.3 Measuring range (FS), ᄃ 42.
FSR[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
R: a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
6.3.13FUM
Select the filament. See Chapter 5.2.11 Filament selection (FiL), ᄃ 45.
FUM[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
6.3.14GAS
Gas type correction. See Chapter 5.2.2 Gas type (GAS), ᄃ 41.
GAS[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
Note:
When «Other gas» is selected, the gas type dependence of the
measure-ments will be corrected by a variable correction factor. See
Chapter 6.3.5 COR, ᄃ 65.
Computer interface
6.3.15 HVC
High vacuum circuit on/off. Switch the high vacuum circuit of transmitters
on/off. See Chapter 4.4.3 Control button functions, ᄃ 29.
HVC[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
a Transmitter 1
0 = Off
1 = On
b Transmitter 2
(see above)
b Transmitter 3
(see above)
Note:
In order to switch a transmitter on/off, the transmitter control must be
set to «Hand». See Chapter 6.3.26 SC1, ᄃ 77.
6.3.16 ITR
Read a data string from the ITR/CTR 100/CTR 101 transmitter.
The measurements of the ITR/CTR 100/CTR 101 are transferred digitally. A
data string consists of 8 bytes (hexadecimal numbers) which are separated
from each other by a comma. See Reference [6]. The data strings of the
trans-mitters are separated from each other by double space characters.
ITR<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb cc,cc,cc,cc,cc,
cc,cc<CR><LF>
Parameters Significance
Computer interface
6.3.17 LOC
Parameter setup lock. See Chapter 5.4.5 Parameter setup lock (LoC), ᄃ 53.
LOC[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>
Parameters Significance
6.3.18 OFC
Offset correction. Offset correction function for linear transmitters (CTR). See
Chapter 5.2.4 Offset (oFS), ᄃ 42.
OFC[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
Computer interface
6.3.19 OFD
Offset display. Offset correction values for linear transmitters (CTR). See
Chapter 5.2.4 Offset (oFS), ᄃ 42.
OFD[,±a.aaaaE±aa,±b.bbbbE±bb,±c.ccccE±cc] <CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
±a.aaaaE±aa,±b.bbbbE±bb,±c.ccccE±cc<CR><LF>
Parameters Significance
±a.aaaaE±aa Offset value of transmitter 1 in current unit of
measurement
Default: 0.0000E+00
±b.bbbbE±bb Offset value of transmitter 2 in current unit of
measurement (see above)
±c.ccccE±cc Offset value of transmitter 3 in current unit of
measurement (see above)
6.3.20 PNR
Program number. Firmware version number. See Chapter 5.4.2 Firmware
ver-sion (Pnr), ᄃ 52.
PNR<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>
Parameters Significance
a Firmware version
Example: 302-533-F
Computer interface
6.3.21 PR1
Pressure sensor 1. Pressure reading of transmitter 1.
PR1<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,±b.bbbbE±bb<CR><LF>
Parameters Significance
a Status of channel 1
0 = Measurement data ok
1 = Underrange
2 = Overrange
3 = Transmitter error
4 = Transmitter switched off
5 = No Transmitter
6 = Identification error
7 = ITR error
±b.bbbbE±bb Pressure reading of transmitter 1 in the current
unit of measurement
Note:
The commands PR2 and PR3 concern the transmitters 2 and 3,
respec-tively. The commands are analogous to the PR1 command.
6.3.22PRE
Pirani range extension. See Pirani range extension (PrE).
PRE[,a,b,c]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
Computer interface
6.3.23PRX
Pressure sensors. Pressure readings of all transmitters.
PRX<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,±b.bbbbE±bb,c,±d.ddddE±dd,e,±f.ffffEff<CR><LF>
Parameters Significance
a Status of channel 1
0 = Measurement data ok
1 = Underrange
2 = Overrange
3 = Transmitter error
4 = Transmitter switched off
5 = No Transmitter
6 = Identification error
7 = ITR error
±b.bbbbE±bb Pressure reading of transmitter 1 in the current
unit of measurement
c Status of channel 2
(see above)
±d.ddddE±dd Pressure reading of transmitter 2 in the current
unit of measurement
e Status of channel 3
(see above)
±f.ffffE±ff Pressure reading of transmitter 3 in the current
unit of measurement
6.3.24RES
Reset. Reset the serial interface.
Deletes the input buffer. All queued error messages are sent to the Host.
The unit returns to the measurement mode.
RES[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
b,c,d,...<CR><LF>
Parameters Significance
a 1 = Perform reset
Computer interface
Parameters Significance
b,c,d... Queued error messages
0 = No error
1 = Watchdog has triggered
2 = Task(s) not executed
3 = EPROM error
4 = RAM error
5 = EEPROM error
6 = Display error
7 = A/D converter error
8 = UART error
9 = Transmitter 1 general error Error
10 = Transmitter 1 ID error
11 = Transmitter 2 general error Error
12 = Transmitter 2 ID error
13 = Transmitter 3 general error Error
14 = Transmitter 3 ID error
6.3.25SAV
Save parameters to EEPROM.
The command SAV,0 resets all parameters to their default values (factory
set-tings). See Chapter 5.3.4 Default parameters (dEF), ᄃ 48.
The command SAV,1 saves parameter values which have been changed via
the serial interface in the EEPROM. These values will be preserved even
when the unit is switched off.
SAV,a<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
Parameters Significance
a Save parameters
0 = Save default parameters
1 = Save user parameters
Note:
Parameters which have been changed manually (control buttons) are
saved in the EEPROM automatically. The SAV command is not
required in this case.
Computer interface
6.3.26 SC1
Sensor 1 control. Transmitter 1 control. See Chapter 5.2.6 Transmitter activa-tion
(S-on), ᄃ 44 and Chapter 5.2.8 Transmitter deactivation (S-oFF), ᄃ 44.
SC1[,a,b,c.ccE±cc,d.ddE±dd]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c.ccE±cc,d.ddE±dd<CR><LF>
Parameters Significance
a Transmitter activation
0 = Manual (default)
1 = Hot start
2 = By channel 1
3 = By channel 2
4 = By channel 3
b Transmitter deactivation
0 = Manual (default)
1 = Self control
2 = By channel 1
3 = By channel 2
4 = By channel 3
c.ccE±cc Activation value in current unit of measurement
d.ddE±dd Deactivation value in current unit of measure-
ment
Note:
The commands SC2 and SC3 concern the transmitters 2 and 3, respec-
tively. The commands are analogous to the SC1 command.
6.3.27SP1
Setpoint 1. Switching function 1. See Chapter 5.1 Switching function parame-
ters (PArA SP), ᄃ 36.
SP1[,a,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc<CR><LF>
Parameters Significance
Computer interface
Parameters Significance
b.bbbbE±bb Lower threshold value in the current unit of mea-
surement
c.ccccE±cc Upper threshold value in the current unit of mea-
surement
Note:
The commands SP2…SP6 concern the switching functions 2…6, re-
spectively. The commands are analogous to the SP1 command.
6.3.28 SPS
Setpoint status. Switching function status. See Chapter 5.1 Switching
function parameters (PArA SP), ᄃ 36.
SPS<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c,d,e,f<CR><LF>
Parameters Significance
Computer interface
6.3.29TAD
Test A/D converter. Test the A/D converter. See Chapter 5.4.10 A/D
converter signal (Ad-S), ᄃ 55 and Chapter 5.4.11 A/D converter ID (Ad-i), ᄃ
55.
TAD<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
±a.aaaa,±b.bbbb,±c.cccc,±d.dddd,±e.eeee,±f.ffff <CR><LF>
Parameters Significance
6.3.30 TDI
Test display. Test the display. See Chapter 5.4.9 Display test (di-t), ᄃ 55.
TDI[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>
Parameters Significance
a Test status
0 = Off
1 = On
Computer interface
6.3.31TEE
Test EEPROM. Test the EEPROM. See Chapter 5.4.8 EEPROM test (EE-t),
54.
Parameters Significance
6.3.32TEP
Test EPROM. Test the EPROM. See Chapter 5.4.7 EPROM test (EP-t), ᄃ 54.
TEP<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aaaa,bbbb<CR><LF>
The control character <ENQ> starts the test. It takes approximately 5
seconds to complete the test.
Parameters Significance
Computer interface
6.3.33 TID
Transmitter identification. See Chapter 4.4.3.7 Identifying a transmitter, ᄃ 32.
TID<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a,b,c<CR><LF>
Parameters Significance
a Identification of transmitter 1
TTR
TTR100
PTR
PTR 90
CTR
ITR
ITR200
noSen
noid
b Identification of transmitter 2
(see above)
c Identification of transmitter 3
(see above)
6.3.34TIO
Test I/O. Test the relays. This command allows to switch a single relay or
sev-eral relays at a time.
Computer interface
Parameters Significance
a Test status
0 = Off
1 = On
bb Relay status
00 = All relays off
01 = Switching function 1 relay on
02 = Switching function 2 relay on
04 = Switching function 3 relay on
08 = Switching function 4 relay on
10 = Switching function 5 relay on
20 = Switching function 6 relay on
40 = Error signal relay on
7F = All relays on
Note:
The relay status is a hexadecimal number. It may be combined by the
logical operator OR. Example: 24 = Switching functions relays 3 and 6
on.
6.3.35TKB
Test keyboard. Test the keyboard.
TKB<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aaaa<CR><LF>
The control character <ENQ> starts the test. The Multi-Channel
Controller polls the keyboard and sends a message to the computer.
Parameters Significance
Note:
The keyboard status is a binary number. It may be combined by the
log-ical operator OR. Example: 0011 = DOWN and UP pressed at the
same time.
Computer interface
6.3.36 TLC
Torr lock. See Chapter 5.4.4 Torr lock (tr-L), ᄃ 53.
TLC[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>
Parameters Significance
a Torr lock
0 = Off (default)
1 = On
6.3.37TRA
Test RAM. Test the RAM. See Chapter 5.4.6 RAM test (rA-t), ᄃ 54.
TRA<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
aaaa<CR><LF>
The control character <ENQ> starts the test. It takes approximately one sec-
ond to complete the test.
Parameters Significance
6.3.38TRS
Test RS232C interface. Test the RS232C interface. See Chapter 5.4.13
RS232C test (rS-t), ᄃ 56.
TRS<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
The control character <ENQ> starts the test. The test can be stopped by
pressing Ctrl-C.
Computer interface
6.3.39 UNI
Unit of measurement. See Chapter 5.3.1 Unit of measurement (unit), ᄃ 47.
UNI[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>
Parameters Significance
a Unit of measurement
0 = mbar/bar (default)
1 = Torr
2 = Pascal
3 = Micron
6.3.40WDT
Watchdog control. See Chapter 5.4.3 Watchdog control (dt-C), ᄃ 53.
WDT[,a]<CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
a<CR><LF>
Parameters Significance
a Error acknowledgement
0 = Manually
1 = Automatic (default)
7.1 Maintenance
The Multi-Channel Controller does not require any special maintenance work.
7.1.1 Cleaning
For cleaning the outside of the unit, a slightly moistened cloth will usually do.
Do not use any aggressive or scouring cleaning agents.
Note:
The display remains dark. The Multi-Channel Controller is set to the
pro-gram transfer mode.
7.2.3 Restarting
Proceed as follows after the firmware has been transferred completely:
Switch the Multi-Channel Controller off
Wait at least 10 seconds to make sure that the Multi-Channel Controller can
initialize
Switch the Multi-Channel Controller on again
Check if the current parameter settings still agree with the previous ones.
See Section «Default parameters», ᄃ 92.
The Multi-Channel Controller is ready for operation again.
7.3.1 Basics
The Multi- Channel Controller can only measure with high accuracy when it
is calibrated precisely. The Multi-Channel Controller is calibrated by Oerlikon
Leybold Vacuum before it is shipped. Normally there is no need to change
the calibration data.
Calibration. Caution
If you input incorrect calibration data, the Multi-Channel Controller
cannot perform accurate measurements anymore.
The interface commands for calibrating the unit are intended for
service technicians of Oerlikon Leybold Vacuum only.
The calibration affects the A/D converters of the individual channels. The
mea-suring curve of an ideal A/D converter is a straight line which has a
slope of one and runs through the origin, i.e.:
Factor = 1 (slope of the line)
Offset = 0 (intersection with the y axis)
The curves of real A/D converters differ slightly from these ideal values. Cali-
brating the unit means to determine the gain factors and the offset voltages of
the individual A/D converters and to store these calibration values.
The interface commands CAF and CAO are used to access the calibration
data of the unit.
7.3.2 CAO
Calibration offset. Calibration offset of the A/D converter. The command is
intended for service technicians of Oerlikon Leybold Vacuum only.
CAO[,±a.aaaaE±aa,±b.bbbbE±bb,±c.ccccE±cc] <CR>[<LF>]
<ACK><CR><LF>
<ENQ>
±a.aaaaE±aa,±b.bbbbE±bb,±c.ccccE±cc<CR><LF>
Parameters Significance
Note:
The CAO command can also be used with other parameters. See
Chapter 7.3.4 Calibrating the unit, ᄃ 88.
Parameters Significance
Note:
The CAF command can also be used with other parameters.
See Chapter 7.3.4 Calibrating the unit, ᄃ 88.
Calibration offset
Unplug the transmitter of the respective channel
Connect pin 2 (Signal) and Pin 12 (Signal-GND) of a 15-pin D-Sub plug with
a wire strap. See Chapter 3.3.4 SENSOR, ᄃ 20.
Put the D-Sub plug with the wire strap onto the sensor connection of the
respective channel
0 The input of the A/D converter is short-circuited
Use the serial interface to send the command CAO,a to the unit. For the
parameter a, use:
0 0 = Channel 1
1 1 = Channel 2
2 2 = Channel 3
The calibration offset of the respective channel is determined and stored in
the EEPROM.
Calibration factor
Remove the D-Sub plug with the wire strap from the sensor connection of
the respective channel
Troubleshooting
8 Troubleshooting
9.1 Packaging
Please keep the original packaging. The packaging is required for storing
the Multi-Channel Controller and for shipping it to an Oerlikon Leybold
Vacuum service center.
9.2 Storage
The Multi-Channel Controller may only be stored in a dry room. The
following requirements must be met:
9.3 Disposal
The product must be disposed of in accordance with the relevant local
regula-tions for the environmentally safe disposal of systems and electronic
compo-nents.
Appendix
Default parameters
SP -L 1 × 10-11 mbar
SP -H 9 × 10-11 mbar
FiLt nor
GAS n2
Cor 1.00
FS 1000 mbar
oFS oFF
0.0000E+00 mbar
S-on HAnd
1.00E-03 mbar
S-oFF HAnd
1.00E-03 mbar
unit bAr
bAud 9600
PrE oFF
diGit 2
Ao LoG
Err-r ALL
dt-C Auto
tr-L oFF
LoC oFF
EMi Auto
FiL Auto
Literature
Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 90
GA 09.220
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 211 S
GA 09.216
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
PENNING Transmitter PTR 225
GA 09.308
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
CERAVAC Transmitter CTR 90
GA 09.040
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
CERAVAC Transmitter CTR 91
GA 09.040
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
IONIVAC Transmitter ITR 90
GA 09.420
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 100, TTR 100 S2
GA 09.221
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 101, TTR 101 S2
300344581_002_A0
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 91, TTR 91 S
GA 09.222
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
THERMOVAC Transmitter TTR 96 S
GA 09.223
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
PENNINGVAC Transmitter PTR 90
GA 09.313
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
Gauge Heads DI 200, DI 201, DI 2000, DI 2001, DI 2001
rel GA09611_002_A1
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
CERAVAC Transmitter CTR 100
17200257_002_00
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
CERAVAC Transmitter CTR 101
130002066_002_A0
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Operating Manual
IONIVAC ITR 200 S, ITR 200 SP, ITR 200 SD
17200137_002_00
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln
Appendix
Index
A
A/D converter calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
A/D converter test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55 , 79
Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
B
Back side . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Baud rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47 , 64
C
Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Calibration factor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
Calibration offset . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
Catalog number . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Characteristic curve of recorder output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
Cleaning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
Communication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Continuous transmission of measurements . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60 , 64
Number formats . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Receiving . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Sending . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
Computer interface. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .23 , 57
Resetting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
Testing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56 , 83
Connections
CONTROL. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Ground . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Mains connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
RELAY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
RS232C. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
SENSOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Continuous transmission of measurements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60 , 64
Control buttons. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
CONTROL connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
Control panel mounted. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Correction factor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41 , 65
D
Default parameters
Loading . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
48, 76 Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . 92 Degas
function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43 , 66
Switching
off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Switching
on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Degassing
see degas function
Disconnecting device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . 8 Display
Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .48 , 66
Testing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 79
Display elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
25
Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
91
GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold
Vacuum
95
Appendix
E
EEPROM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
54, 80
EPROM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
54, 80
Error
messages. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
90
Error signal relay. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
51, 67
Error
status . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
67
F
Factory settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48 ,
76, 92
Fault
indication . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
90
Filament selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 45
Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
39, 68
Firmware
Update . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 85
Version. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 ,
52, 73
Front
panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
G
General
parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Baud
rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
47
Default parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . 48
Display
format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
Error signal
relay . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
Recorder output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 48
Unit of
measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Ground
connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
H
Hysteresis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 37
I
I/O test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
55, 81
Identifying transmitters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
32, 81
Intended use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
....5
L
Literature. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 93
Lower threshold
value. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Adjustment
range. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
M
Mains
connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 85
Measurement filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
39, 68
Measurement
mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Identifying a
transmitter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Selecting a
channel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Status report . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . 28
Switching a transmitter
off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Switching a transmitter
on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Switching the degas function
off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Switching the degas function
on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Measuring range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
42, 68
Mnemonics
Definition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . 58
Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
O
Offset . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42 , 72
Operating modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Measurement mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Parameter mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Program transfer mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
P
Parameter groups . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Parameter mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Basic operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Parameter setup lock . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .53 , 72
Parameters
General parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47
Sensor parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Switching function parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Test parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
Pin assignment
CONTROL. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
RELAY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
RS232C. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
SENSOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Pirani range extension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Product versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
R
RAM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54 , 83
Range extension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Recorder output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .48 , 63
RELAY connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
Residual dangers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
RS232C connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
RS232C test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .56 , 83
S
Safety notes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
SENSOR connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Sensor parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
Degas function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43 , 66
Filament selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Gas type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41 , 70
Measurement filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .39 , 68
Measuring range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42 , 68
Offset . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42 , 72
Pirani range extension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Switching the emission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .68 , 70
Switching the emission on. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
Transmitter activation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44 , 77
Transmitter deactivation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44 , 77
Storage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
Switching function parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Switching functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36 , 78
Configuring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
Switching off
Degas function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Transmitter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 , 71
Switching on
Degas function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Transmitter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 , 71
Switching the emission on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
T
Technical data. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Test parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
A/D converter ID . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 79
A/D converter signal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 79
Display test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 79
EEPROM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 , 80
EPROM test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 , 80
Firmware version . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52 , 73
I/O test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 , 81
Keyboard test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
Parameter setup lock. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 72
RAM test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54 , 83
RS232C test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56 , 83
Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
Torr lock. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 83
Watchdog control. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 84
Threshold values. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 , 77
Adjustment range. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
Torr lock . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 83
Transmitter
Degassing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
Identifying . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
Selecting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Switching off . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31 , 71
Switching on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30 , 71
Transmitter control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44 , 77
Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
Type label . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
U
Unit of measurement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 , 84
Update . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
Upper threshold value. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Adjustment range. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
W
Waiting time . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Warranty . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
Watchdog . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53 , 84
Appendix
GA 09.035/6.02 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum 99
Original: German GA 09.035/6.01 (07/2011)
ga09. 035/ 6. 02
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5700 Mellon Road Bonner Strasse 498 (Bayenthal)
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