REPUBLIQUE ALGERIENNE DÉ MOCRATIQUE ET POPULAIRE

Ministère de l’Enseignement Supérieur et de la Recherche Scientifique

Université Chadli bendjedid el tarf
Faculté des sciences et technologie
Département de physique

Le microscope électronique à
transmission

Préparé par :
Berrebib Samira

Année universitaire : 2019 /2020

Sommaire :

I- Introduction 
II- Bref historique 
III- Généralités 

1- Définition d’un microscope électronique 

2- Définition d’un microscope électronique à transmission 
3- Définition de la microscopie électronique a transmission 

IV-  Les principaux éléments du microscope électronique 

1- Les sources d'électrons 
2- Les lentilles électroniques magnétiques
3- Une lentille privilégiée 
4- Les détecteurs d'électrons 
5- La colonne du microscope électronique à transmission 

V- Utilisations idéaux
VI- Spécifications techniques
VII- Points forts
VIII- Industries desservis
IX- Limites
X- Préparation des échantillons
XI- Images
XII- conclusion

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 I- Introduction :
La résolution d’un microscope est limitée par la diffraction à des
distances de l’ordre de la longueur d’onde -donc de l’ordre de la
centaine de nanomètres pour le rayonnement optique. Dans les années
1920, Ruska eut l’idée d’utiliser les électrons rapides comme source
de rayonnement ,leur longueur d’onde étant bien plus faible (de
l’ordre de quelques picomètres pour des vitesses de l’ordre de la
moitié de la vitesse de la lumière). Bien que la résolution soit limitée
dans un microscope électronique en transmission (MET ou TEM en
anglais) par les aberrations de ses lentilles, la résolution des MET est
passée en 80 ans de la centaine de nanomètres à la centaine de
picomètres. Le MET et les techniques associées ont des applications
principalement en science de matériaux (de la métallurgie aux
.nanotechnologies) et en biologie
II- Bref historique :
L’histoire de la microscopie électronique commence avec les travaux
de Louis de Broglie (1892-1987). Il eut l’intuition que les électrons
(particules massiques et chargées) pouvaient être manipulés comme
une onde, afin de les utiliser comme faisceau lumineux dans un
microscope. C’est à partir de ses travaux qu’Ernst Ruska (1906-1988)
réalisa les premières lentilles électromagnétiques, et plus tard (1933)
le premier microscope électronique (Prix Nobel 1986).

III- Généralités :

1- Définition d’un microscope électronique :

Un microscope électronique (ME) est un type de microscope qui
utilise un faisceau d'électrons pour illuminer un échantillon et en créer
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une image très agrandie. Il est inventé en 1931 par des ingénieurs
allemands1. Les microscopes électroniques ont un pouvoir de
résolution supérieur aux microscopes optiques qui utilisent
des rayonnements électromagnétiques visibles. Ils peuvent obtenir
des grossissements beaucoup plus élevés allant jusqu'à 5 millions de
fois, alors que les meilleurs microscopes optiques sont limités à un
grossissement de 2000 fois. Ces deux types de microscopes ont une
résolution limitée, imposée par la longueur d'onde du rayonnement
qu'ils utilisent. La résolution et le grossissement plus grands du
microscope électronique sont dus au fait que la longueur d'onde de De
Broglie d’un électron est beaucoup plus petite que la longueur
d’onde d'un photon de lumière visible.
Il existe quatre types :
 Microscope électronique en transmission
 Microscope électronique à balayage
 Microscope électronique par réflexion
 Microscope électronique à balayage en transmission

2- Définition d’un microscope électronique à

transmission :

La forme originale de microscope électronique, le microscope

électronique en transmission (MET) utilise
un tungstène comme cathode source d'électrons. Le faisceau
d'électrons est accéléré par une anode en général à 100 keV (40 à 400
keV) par rapport à la cathode, concentré par des lentilles
électrostatiques et électromagnétiques, et transmis sur la cible qui est
en partie transparente pour les électrons et en partie les disperse.
Quand il ressort de l'échantillon, le faisceau d'électrons comporte des
informations sur la structure de l'échantillon qui sont amplifiées par le

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système de lentilles de l'objectif du microscope. La variation spatiale
de cette information (l '«image») est vue par projection de l'image
électronique agrandie sur un scintillateur, tels que le sulfure de zinc ou
le phosphore. L'image peut être enregistrée photographiquement par
l'exposition d'un film ou une plaque photographique directement sur le
faisceau d'électrons ou une plaque phosphorée à haute résolution peut
être couplée au moyen d'un système optique ou d'une fibre optique
vers le capteur d'une caméra CCD (Charge-Coupled Device). L'image
détectée par le CCD peut être affichée sur un moniteur ou dirigée vers
un ordinateur.

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 3- Définition de la microscopie électronique a
transmission :

La microscopie électronique en transmission (MET, ou TEM

pour Transmission Electron Microscopya) est une technique
de microscopie où un faisceau d'électrons est « transmis » à travers un
échantillon très mince. Les effets d'interaction entre les électrons et
l'échantillon donnent naissance à une image, dont la résolution peut
atteindre 0,08 nanomètre (voire 0,04 nm1,2). Les images obtenues ne
sont généralement pas explicites, et doivent être interprétées à l'aide
d'un support théorique. L'intérêt principal de ce microscope est de
pouvoir combiner cette grande résolution avec les informations de
l'espace de Fourier, c'est-à-dire la diffraction. Il est aussi possible
d'identifier la composition chimique de l'échantillon en étudiant
le rayonnement X provoqué par le faisceau électronique.
Contrairement aux microscopes optiques, la résolution n'est pas
limitée par la longueur d'onde des électrons, mais par
les aberrations dues aux lentilles magnétiques.
Le principe du microscope électronique en transmission a été mis au
point en 1931 par Max Knoll et Ernst Ruska. Ce dernier a d'ailleurs
reçu le prix Nobel de physique en 1986 pour cette invention.
Elle consiste à placer un échantillon suffisamment mince sous un
faisceau d'électrons, et à utiliser un système de lentilles
magnétiques pour projeter l'image électronique de l'échantillon sur un
écran phosphorescent qui la transforme en image optique. Pour les
échantillons cristallins, un autre mode d'utilisation consiste à
visualiser le cliché de diffraction de l'échantillon.
Les applications de la microscopie électronique couvrent un très vaste
domaine, de l'observation d'échantillons biologiques, comme le noyau

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des cellules à l'analyse d'échantillons industriels dans la métallurgie ou
l'industrie des semi-conducteurs.

IV-  Les principaux éléments du microscope électronique :

Malgré leur diversité, les microscopes électroniques sont constitués
d'un certain nombre de composantes communes : un ensemble de
pompage destiné à assurer un vide convenable dans l'enceinte du
microscope, une colonne d'optique électronique comprenant une
source d'électrons, des lentilles électroniques, un ou plusieurs
systèmes de détection, un étage porte-échantillon permettant
l'introduction et les déplacements élémentaires du spécimen en cours
d'observation et bien entendu tout l'environnement électrique,
électronique et digital pour assurer le fonctionnement des éléments
constitutifs du microscope, l'enregistrement et le traitement des
résultats. 
1- Les sources d'électrons :

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Le canon à électrons assure la production des électrons, leur
accélération et délivre à l'entrée de la colonne du microscope un
pinceau fin d'électrons plus ou moins divergent. Il s'agit donc d'un
ensemble complexe devant remplir simultanément ces différentes
fonctions. On peut le représenter comme une lentille électrostatique à
plusieurs électrodes (voir figure )

La source d'électrons, à proprement parler, est la cathode. Plusieurs

mécanismes physiques peuvent être utilisés pour assurer l'extraction
d'un flux d'électrons à partir d'une surface métallique constituant un
réservoir (inépuisable) d'électrons .

2- Les lentilles électroniques magnétiques

Une lentille électrostatique agit sur le faisceau d'électrons par

l'intermédiaire des forces de Coulomb exercées par des champs
électriques sur les charges électriques. Une famille d'électrodes
circulaires centrées le long d'un axe commun et portées à des tensions
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différentes constitue le système le plus simple. Mais il n'est guère très
commode de les utiliser sous des tensions élevées (100 kV et plus) à
cause des difficultés d'isolation. Les grandes variations de tension
doivent être réalisées sur des distances interélectrodes aussi courtes
que possible, et il en résulte des risques de claquage le long des
porcelaines isolantes et d'amorçage d'étincelles détruisant
irrémédiablement l'état de surface des lentilles.
Ce type de lentilles n'est donc plus utilisé de nos jours que dans le
canon du microscope. Tout au long de la colonne, les trajectoires
électroniques sont gouvernées par des lentilles magnétiques.

3- Une lentille privilégiée :

La lentille objectif est donc vraiment l'élément central du microscope

électronique. C'est de la réussite de son étude et de la perfection de sa
réalisation que dépend en grande partie la qualité des résultats.
C'est une lentille de courte distance focale, entre 1 et 3 mm qui donne
de l'objet une image agrandie plusieurs dizaines de fois. Dans les
nouvelles configurations, l'échantillon est situé dans la zone de champ
intense entre les pièces polaires, La figure montre quelques géométries
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d'entrefer et de position de l'échantillon rencontrées sur les
microscopes les plus modernes.

4- Les détecteurs d'électrons :

L'interaction du faisceau d'électrons primaires avec l'échantillon
produit une cascade d'évènements. Le signal utile et caractéristique
peut donc se présenter sous des formes très variables. Dans le cas de la
microscopie à transmission, le faisceau se propage après l'échantillon
dans le prolongement de la direction incidente avec une énergie très
peu différente de l'énergie primaire. Par conséquent, il faut alors
détecter et mesurer des électrons de haute énergie (proche de l'énergie
initiale, soit de 100 kV à 1 MV).

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 5- La colonne du microscope électronique à transmission :
Tous les éléments constitutifs d'un microscope électronique ont été
décrits : la source d'électrons, les lentilles magnétiques, dont l'objectif
qui gouverne les performances optiques ultimes de l'appareil et le
système d'observation et d'enregistrement des images. La figure
présente une coupe d'un microscope moderne où tous ces composants
sont associés pour constituer une colonne étanche au vide et
mécaniquement stable. Mais le plus important reste à faire : introduire
et situer l'échantillon au bon endroit dans cet ensemble.

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V- Utilisations idéaux

 Identification de défauts de la taille du nm sur les circuits

intégrés, y comprit les particules incorporées et les résidus en
bas des trous d’interconnexion.
 Détermination de phases cristallographiques comme fonction de
distance à partir d'une interface.
 Caractérisation des nanoparticules : investigations
noyau/enveloppe, agglomération, effets du durcissement…
 Couverture du support du catalyseur
 Cartographies élémentaires de zones ultra-petites
 Caractérisation des super-réseaux III-V
 Caractérisation des défauts du cristal
VI- Spécifications techniques

 Signal détecté : électrons transmis, électrons diffusés, électrons

secondaires, rayons X
 Éléments détectés : B-U (EDS)
 Seuils de détection : 0.1-1à%
 Imagerie/cartographie : Oui (EDS, EELS)
 Résolution latérale ultime : <0,2 nm
VII- Points forts

 La résolution ultime de la cartographie élémentaire d'une

technique analytique
 Résolution des images sous 0.2nm (2Å)
 Informations cristallographiques sur de petites zones
VIII- Limites
 Temps de préparation important des échantillons

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  Il est fréquent de préparer des échantillons qui sont
 Certains matériaux manquent de stabilité sous le faisceau
d'électrons
IX- Industries desservis

 Temps de préparation important des échantillons

 Il est fréquent de préparer des échantillons qui sont
 Certains matériaux manquent de stabilité sous le faisceau
d'électrons
X- Préparation des échantillons

En microscopie électronique, les échantillons sont soumis à plusieurs

contraintes :

 l'impact du faisceau électronique ;

 l'observation dans une chambre à vide ;
 échantillon mince afin que le faisceau puisse être transmis.
Pour que les échantillons ne soient pas dégradés durant l'observation
et puissent être observés en transmission, les échantillons doivent être
dans la plupart des cas préparés. Cette phase est très importante, car
c'est elle qui détermine en partie la qualité des résultats obtenus.
Suivant les échantillons, les modes de préparation diffèrent.
De plus, l'échantillon doit être conducteur, afin qu'il ne se produise pas
de charge électrique locale, dû au faisceau électronique. Pour pallier
ce problème, il faut parfois déposer une fine couche conductrice.

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XI- Images

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 XII- Conclusion

Un dernier mot pour dire que la microscopie électronique ne se réduira

plus seulement à son rôle d'observation, tel que l'origine
éthymologique de son nom l'indique.  Ce sera davantage un
environnement de travail, de mesure, d'analyse dans lequel on pourra
exercer sur l'échantillon des contraintes et sollicitations diverses. En
fait le microscope deviendra un micro (si ce n'est un nano) laboratoire.
Et ceci est une autre histoire dont il faudra bien reparler très
rapidement dans un contexte où l'utilisation des pointes constitue une
alternative en rapide expansion.

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