ＳＣＲＥＥＮホールディングス（ＨＤ）は２０２７年３月期までに半導体製造装置の生産能力を２４年同期比２０％増やし、売上高換算の生産能力を年６０００億円とする。半導体洗浄装置のマザー工場である彦根事業所（滋賀県彦根市）で、工場のレイアウト見直しによるモノの流れの最適化、組み立て工程の自動化、調達部材のユニット化などの生産改善を進めて能力を増強し、半導体需要の拡大に備える。

彦根事業所は相次ぐ新棟の稼働で工場棟の新設余地が限られるため、既存工場内の生産の導線を見直して部品や部材の流れを最適化し、生産タクトタイムを短縮する。部材組み立ての自動化を増やすなどして、効率化する。サプライヤーで装置部材をユニット化した上で調達する割合も増やす。

ＳＣＲＥＥＮＨＤの彦根事業所には半導体製造装置の生産棟「Ｓキューブ」が５棟ある。Ｓキューブ４は２３年１月、Ｓキューブ５は２４年１月に相次ぎ稼働した。これにより半導体製造装置事業子会社であるＳＣＲＥＥＮセミコンダクターソリューションズ（京都市上京区）グループの生産能力は売上高換算で２４年３月期に年５０００億円に達した。

ＳＣＲＥＥＮＨＤは半導体洗浄装置の世界シェア首位。３０年３月期までに半導体製造装置事業の売上高が年６０００億円を超えるとみており、国内で新工場の稼働を計画する。３３年３月期には同事業の売上高が約８０００億円に到達する見通しで、生産能力の確保を急ぐ。