Zusammenfassung
In der Prozess- und Qualitätskontrolle spielen die Erkennung und Einstufung von Oberflächenstrukturen und Defekten eine immer wichtigere Rolle. Mit der Methode des Makyoh-Imaging (“Ma-Kyoh”, jap. für magischer Spiegel) steht ein leistungsstarkes, hochempfindliches Verfahren zur Verfügung, bei dem lokale konvexe und konkave Strukturen unter kollimierter Beleuchtung die Intensitätsverteilung im Reflex beeinflussen. Anhand einer am Fraunhofer IOF realisierten Messanordnung wird gezeigt, dass über den Reflex sowohl zuverlässig als auch schnell qualitative und quantitative Rückschlüsse auf Oberflächenstrukturen und Defekte möglich sind. Ergebnisse untersuchter Feinstrukturen auf Wafern und polierten Glasoberflächen werden vorgestellt.
Abstract
In process and quality control is a strong demand for the recognition and classification of surface structures and defects. Makyoh imaging (“Ma-Kyoh”, Japanese for magic mirror) is a highly sensitive optical characterization tool for large-area analysis. Under collimated illumination, local convex and concave structures affect the intensity of the reflected beam. Based on a realized Makyoh set-up at the Fraunhofer IOF it is shown that it is possible to obtain fast qualitative and quantitative conclusions on surface structure and defects from the reflected beam. Results of analyzed structures on wafers and polished glass surfaces are presented.
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