微動計の英語

この場合、エンコーダシステムのヘッドを微動ステージ（グレーティング）に近接して配置することができ、これにより、エンコーダシステムによる微動ステージの位置情報の高精度な計測が可能になる。例文帳に追加

In this case, the head of the encoder system is placed in proximity to the fine movement stage (the grating), which allows a highly precise measurement of the positional information of the fine movement stage by the encoder system. - 特許庁

これにより、地震の初期微動を検知した場合、保持した初期微動の検知後１秒乃至１秒以内の一定時間の最大振幅と算出された統計量の関係から、震源距離あるいは震央距離を推定する。例文帳に追加

Thereby when detecting a preliminary tremor of an earthquake, a hypocentral distance or an epicentral distance is estimated from a relationship between the retained maximum amplitude, which was obtained within one second or not more than one second after the detection of the preliminary tremor, and the calculated amount of statistics. - 特許庁

また、計測ステーション３００で、粗動ステージＷＣＳ２に支持された微動ステージＷＦＳ２上のウエハＷに対するアライメントが行われる際に、計測系７０Ｂにより微動ステージＷＦＳ２のＸＹ平面内の位置を精度良く計測する。例文帳に追加

Further, when an alignment to the wafer W on the fine movement stage WFS2 supported by a coarse movement stage WCS2 is performed at the measurement station 300, the position of the fine movement stage WFS2 within an XY plane is measured with good precision by a measurement system 70B. - 特許庁

露光ステーション２００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ１の位置情報は、計測アーム７１Ａを含む第１の微動ステージ位置計測系により計測され、計測ステーション３００では、ウエハを保持するステージＷＦＳ２の位置情報は、計測アーム７１Ｂを含む第２の微動ステージ位置計測系により計測される。例文帳に追加

In an exposure station 200, positional information of a stage WFS1 for holding a wafer is measured by a first fine movement stage position measurement system including a measurement arm 71A, and in a measurement station 300, positional information of a stage WFS2 for holding a wafer is measured by a second fine movement stage position measurement system including a measurement arm 71B. - 特許庁

すでに光軸調整されたレンズＦ_2 〜Ｆ_4 に対してレンズＦ_1 の偏心量を計測してＸＹ微動ステージ１２を駆動する。例文帳に追加

An XY fine moving stage 12 is driven by measuring the eccentric quantity of a lens F1 to the lenses F2-F4 whose optical axis are previously adjusted. - 特許庁

すでに光軸調整されたレンズＦ_2 〜Ｆ_4 に対してレンズＦ_1 の偏心量と偏心方向を計測してＸＹ微動ステージ１２を駆動する。例文帳に追加

An XY fine moving stage 12 is driven by measuring the eccentric quantity and the eccentric direction of a lens F1 to the lenses F2-F4 whose optical axes are already adjusted. - 特許庁

固視微動の成分の大きさを精度良く算出することができる眼球運動計測装置を提供する。例文帳に追加

To provide an eyeball movement measuring device accurately measuring the size of a component of miniature eye movement. - 特許庁

微動ステージＷＦＳ１と微動ステージＷＦＳ１を支持する粗動ステージＷＣＳ１とにより囲まれる空間内に位置決めされる計測アーム７１Ａがエンコーダヘッドを有し、該ヘッドにより微動ステージＷＦＳ１に設けられたグレーティングＲＧに計測ビームを照射し、グレーティングＲＧからの戻りビームを受光する。例文帳に追加

A measurement arm 71A positioned within a space surrounded by a slight movement stage WFS1 and a rough movement stage WCS1 for supporting the slight movement stage WFS1 includes an encoder head, applies measurement beams to a grating RG provided in the slight movement stage WFS1 by the head, and receives return beams from the grating RG. - 特許庁