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etch profileとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 エッチプロファイル
「etch profile」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 11件
ETCHING METHOD AND ETCH PROFILE SHAPED PRODUCT MADE BY THE METHOD例文帳に追加
エッチング方法及びその方法によって成形されたエッチング成形品 - 特許庁
This allows the system to realize high resolution and etch the etched membranous portion into an excellent profile, and allows the system to etch the etched membranous portion into the excellent profile regardless of the thickness of an initial thin photoresist.例文帳に追加
これにより、高解像度と良好なプロファイルの被エッチング膜質のエッチングが可能であり、初期の薄いフォトレジストマスクの厚さに関係なく被エッチング膜質を良好なプロファイルにエッチングすることができる。 - 特許庁
METHOD OF PREVENTING ETCH PROFILE BENDING AND BOWING IN HIGH ASPECT RATIO OPENINGS BY TREATING POLYMER FORMED ON OPENING SIDEWALLS例文帳に追加
開口部側壁に形成した高分子の処理により高アスペクト比の開口部におけるエッチプロファイルの屈曲と湾曲を防止する方法 - 特許庁
Using the ex-situ measuring information combining with the in-situ monitoring, for example, an end point of the etch process, an etch depth profile of a feature formed on a substrate, and fault detection in a manufacturing process of the integrated circuit may be monitored.例文帳に追加
インサイチューモニタリングと組合せてエクスサイチュー測定情報を使って、例えば、エッチング処理の終点、基板上に形成された外観のエッチング深度プロフィール、集積回路製造プロセスの欠陥検出などをモニタリングしても良い。 - 特許庁
In an example of etching, a specific non-uniform parameter of a structure obtained from a non-uniform etch profile during the etching of a mask consisting of the same structures can be evaded by changing the mask to be used for specifying an etching area in order to compensate for the etch profile.例文帳に追加
本発明の一態様をエッチングを例に説明すると、全ての構造体が同一であったようなマスクをエッチングする間、非均一のエッチプロファイルから得られた構造体の特定の均一でないパラメータは、エッチプロファイルを補償するために、エッチ領域を指定する際に用いられるマスクを変更することにより回避できる。 - 特許庁
Alternatively, the PZT ferroelectric layer is etched using a low-temperature fluorine component etch chemistry such as CHF_3 to provide a non-vertical PZT sidewall profile.例文帳に追加
あるいは、ＰＺＴ強誘電体層はＣＨ_3等の低温フッ素成分エッチング化学を使用してエッチングされ非垂直ＰＺＴサイドウォールプロファイルを与える。 - 特許庁
Concretely the mask is changed from a specific structure characteristic for determining a specific parameter by a method of being in inverse proportion to the etch profile.例文帳に追加
具体的に説明すると、マスクは、均一が望ましいような特定のパラメータを決定する特定の構造体特性に対し、エッチプロファイルに反比例する方法でマスクを変化させる。 - 特許庁
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「etch profile」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 11件
To provide a dry etching method providing a good profile with less side etch without receiving restriction by a micro loading effect.例文帳に追加
マイクロローディング効果の制限を受けることなく、さらにサイドエッチの少ない良好な形状を得ることのできるドライエッチング方法を提供する。 - 特許庁
High aspect ratio contact openings are etched while preventing bowing or bending of etch profile by forming a highly conductive thin film on the side wall of each contact opening.例文帳に追加
各コンタクト開口部の側壁上に導電性の高い薄膜を形成することでエッチプロファイルの湾曲又は屈曲を防止しながら高アスペクト比のコンタクト開口部をエッチングする。 - 特許庁
The semiconductor device is manufactured by means of steps of patterning the conductor layer 3, depositing a coating material 4 gently along the pattern change of the conductor layer 3, and transferring the profile of the coating material 4 by an etch-back step to make the corner parts of the conductor layer 3 into a round shape or an approximately straight-line shape.例文帳に追加
また、導電体層３をパターニングする工程と、導電体層３の形状変化に緩やかに追従しながら形状変化する被覆材４を被覆形成する工程と、被覆材４の形状をエッチバックにより導電体層３に転写して、導電体層３のコーナー部をラウンド形状又は略直線形状とする工程とを有して、上記半導体装置を製造する。 - 特許庁
It is made possible to gradually etch the feature of the high aspect ratio such that it is adapted to a depth desired for both high and low feature density regions on a substrate and the limit size of a vertical profile without generating a defect and/or the overetching of a lower layer using the flat and uniform passivation layer.例文帳に追加
平坦で均一なパッシベーション層により、欠陥及び／又は下層のオーバーエッチングを起こすことなく、高アスペクト比のフィーチャを、基板上の高及び低フィーチャ密度領域の双方に所望の深さ及び垂直プロファイルの限界寸法に適した形で徐々にエッチングすることが可能となる。 - 特許庁
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エッチプロファイル
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