EDS - エネルギー分散型X線分析装置 - Nanoanalysis - オックスフォード・インストゥルメンツ

エネルギー分散型X線分析（EDS/EDX）は、SEM、TEM、FIB 内の試料の元素分析および化学組成分析を行う手法です。オックスフォード・インストゥルメンツは、マイクロスケールやナノスケールで高精度なデータを収集する新しい革新的な材料特性評価システム、AZtec を提供しています。

AZtecLive - SEM を用いた試料の分析方法を根本的に変える、EDS 分析の革新的な新しいアプローチ。
AZtecTEM - 先端的な TEM アプリケーション向けに特別に最適化された、革新的な EDS ソフトウェア。
AZtecOne - EDS のような複雑なタスクを可能な限り、迅速かつ簡単に実行するための最適なソリューション。
当社は粒子解析、発砲残留物 (GSR) 分析、薄膜評価および鉱物リベレーション分析など特定用途向けのソリューションも用意しています。

弊社分析装置ユーザーのお客様向けに講習会を開催しております。ご興味・ご関心のある方は装置講習会のページをご覧ください。

SEMおよび FIB 向け EDS

TEM 向け EDS

ラーニング

EDS/EDX（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) とは、電子線やX線の照射により発生したX線のエネルギーと信号量から元素分析を行なう手法です。日本語では「エネルギー分散型X線分光法」と言います。

EDS/EDXとは