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O Microscópio Eletrônico de Varredura (MEV) é um instrumento usado para analisar

microestruturas de materiais sólidos. Apesar de ser um mecanismo digamos assim,


um pouco complexo para a obter imagens, o seu resultado é uma imagem de
interpretação muito fácil. É uma ferramenta importante e muito usada na análise dos
materiais porque ele eleva profundidade de foco (imagem com aparência
tridimensional). Porque existe a possibilidade de combinar a análise microestrutural
com a microanálise química (correlação entre a estrutura e a composição química, o
que é um fator essencial para entender as propriedades e o comportamento dos
materiais). É um equipamento que ele é usado para a caracterização de materiais
em escalas micro e manométrica. Com a informação gerada desse processo,
podemos obter informações morfológicas, cristalográficas, químicas e eletrônicas
dependendo do detector associado ao MEV.

O equipamento funciona dessa forma:

feixe de elétrons é gerado na fonte de elétrons lá em cima, passa pelas lentes


eletromagnéticas que no caso estão representadas por esses tubos de cores
diferentes, elas são um conjunto de lentes que funcionam como um imã, os elétrons
saem desorientados da fonte e esse conjunto de lentes vai ajustar os feixes, alinhar
em cima da amostra, e é ele que vai fazer essa varredura, vai fazer essa ampliação.
esse é a função das lentes, fazer com quer a os elétrons cheguem na amostra,
quando isso acontece, eles penetram na amostra há uma determinada
profundidade, que chamamos de volume de interação, que vai definir os dois
detectores que são responsáveis de fazer imagem no MEV: os elétrons secundários
e os retroespalhados

No MEV a gente observa somente a superfície, é como se fosse uma fotografia,


uma micrografia, você vê a pele ali a superfície. Geralmente o equipamento e
armazenado em vácuo, o tipo básico, mas existe alguns que conseguem trabalhar
numa certa pressão, mas geralmente o MEV é no vacuum.

a gente desliga o vácuo, colocamos o corpo de provas que no caso é a amostra


dentro do porta amostra, fechamos a câmara de vácuo e nós definimos alguns
parâmetros como:

distância da amostra (quanto menor a distância, melhor teremos a imagem, uma


imagem mais fina de magnificação maior).

definimos o spotsize que no caso é o diâmetro do feixe de elétron, é a abertura


desse feixe, se pegamos um spotsize pequeno ele penetra profundamente
fornecendo informações de profundidade na amostra (Elétrons retroespalhados) e
um spotsize na amostra maior teremos uma informação mais superficial (elétrons
secundários)

Ajustamos o brilho, contraste, o foco, etc. Até obtemos o slow scan que no caso é a
micrografia

Após definirmos esses parâmetros, precisamos ligar a voltagem e acelerar pra gerar
o feixe de elétrons, porem a gente precisa ter atenção, porque dependendo da
amostra, se ficar muito baixo não a gente não vai ter uma imagem de qualidade e se
ficar muito alto a gente pode danificar a amostra (por isso existe uma escala de
voltagens, para materiais delicados usamos de 1 a 5 volts, para amostras biológicas
recobertas de 5 a 10 volts e para amostras de ciências ficas (exemplo o metal) de
10 a 30 volts). Ele deve estar perfeitamente sincronizado porque quando esse feixe
atinge a amostra produz diferentes sinais devido a interação do elétron com a
matéria (O sinal recolhido pelo detector é utilizado para modular o brilho do monitor,
permitindo a observação) produzindo elétrons e fótons que podem ser coletadas por
detectores adequados.

A profundidade máxima de detecção depende da energia com que estas partículas


ou raios atingem o detecto. A imagem formada a partir do sinal captado pode
apresentar diferentes características, uma vez que a imagem resulta da
amplificação de um sinal obtido de uma interação entre o feixe eletrônico e o
material da amostra. Dentre os sinais emitidos, os mais utilizados para obtenção da
imagem são originários dos elétrons secundários e/ou dos elétrons retroespalhados.

Os elétrons secundários no MEV resultam da interação do feixe eletrônico com o


material da amostra. Estes elétrons resultantes são de baixa energia, e formarão
imagens com alta resolução. somente aqueles gerados junto à superfície podem ser
reemitidos e, mesmo estes, são muito vulneráveis à absorção pela topografia da
superfície.

Os elétrons retroespalhados, alguns possuem energia próxima à dos elétrons


primários, e geralmente são aqueles que sofreram espalhamento elástico, e são
estes que formam a maior parte do sinal. A imagem gerada por esses elétrons
fornece diferentes informações em relação ao contraste que apresentam: além de
uma imagem topográfica (contraste em função do relevo) também se obtém uma
imagem de composição (contraste em função do número atômico dos elementos
presentes na amostra).

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