HEPAフィルタ:[High Efficiency Particulate Air] 定格流量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.97%以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能をもつエアフィルタです。
ULPAフィルタ:[Ultra Low Penetration Air] 定格流量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995%以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能をもつエアフィルタです。
特に粒子捕集効率が99.9999%以上のものを超ULPAフィルタと呼ぶこともあります。