半导体用石英材料
适用于半导体、光伏等各个行业应用。
长飞石英公司应用多种合成及熔融工艺，采用SiCl４,有机硅烷和高品质天然石英砂，基于自主工艺制造的各类合成和电熔石英锭，可满足半导体、光伏、工业等泛半导体行业,对石英材料理化特性与光学性能的严苛要求，为客户提供材料性能优异、稳定、可定制化的大尺寸石英材料及产品。
- 半导体用合成石英-典型的微量杂质含量（ppb）
-
杂质含量ppb Li Na K Mg Ca Cu AI Cr Fe Ti YS-1220
≤0.001 ≤0.003 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.003 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.005 YS-2230
≤0.001 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.005 ≤0.001 ≤0.005 ≤0.001 ≤0.001 ≤0.008 注：采用ICP-MS法测定，表中数据为典型值
产品 型号 典型尺寸 (mm) 产品特点：合成石英材料 石英部件用 光学部件用 低OH合成石英锭 YS-1220 YS-1320 φ350xH50/φ450xH45 - ppb级杂质含量·
- 低OH含量
- 无气泡
- 低应力
合成石英锭 YS-2230 YS-2330 330x330x40/500x500xH50/
1200x850x50
- 长飞电熔石英-典型的微量杂质含量
杂质含量
ppmAl B Ca Co Cr Cu Fe K Li Mg Mn Na Ni Ti OH YE-3234
≤13 ≤0.1 ≤1.0 ≤0.06 ≤0.03 ≤0.5 ≤1.0 ≤0.9 ≤0.5 ≤0.62 ≤0.06 ≤1.0 ≤0.27 ≤2.2 ≤20
- 基于天然砂的高纯石英产品特性
产品 型号 典型尺寸 (mm) 应用领域 产品特点 电熔石英锭 YE-3234 φ1900xH500 半导体、光伏、工业等 纯度高，OH含量及气泡率低，耐高温性能好 可根据客户需求，定制加工各种规格石英部件
- 光学透过性能
- 机械性能
参数 单位 合成石英类 电熔石英类 密度 g/cm3 2.20
2.20 莫氏硬度 - 7
6~7 杨氏模量 GPa 72.80 70 剪切模量 GPa 31.22
30 泊松比 - 0.17
0.17 抗压强度 GPa 1.13
1.13 抗拉强度 MPa 49
49
弯曲强度 MPa 94.3 94
- 热学性能
参数 单位 电熔石英YE系列 合成石英YS-1220 合成石英YS-2230 应变点（η=1014.5dPa·s） °C 1100 1070 1000 退火点（η=1013dPa·s） °C 1210 1200 1160 软化点（η=107.6dPa·s） °C 1720 1680 1620 热膨胀系数 20~100°C ×10-6/°C 0.49 0.49 0.49 20~300°C ×10-6/°C 0.55 0.55 0.55 20~600°C ×10-6/°C 0.54 0.54 0.54
建议与反馈
鄂公网安备 42018502002645号