Sistemas Micro Nano ElectroMec PDF

SIP-30
INSTITUTO POLITÉCNICO NACIONAL

SECRETARIA DE INVESTIGACIÓN Y POSGRADO
DIRECCIÓN DE POSGRADO
FORMATO GUÍA PARA REGISTRO DE ASIGNATURAS
Hoja 1 de 3
I. DATOS DEL PROGRAMA Y LA ASIGNATURA
1.1 NOMBRE DEL PROGRAMA: Programa en Red de Doctorado en Nanociencias y

Micro-Nanotecnología
1.2 COORDINADOR DEL PROGRAMA:
1.3 NOMBRE DE LA ASIGNATURA: Sistemas Micro y Nano Electro-Mecánicos (MEMS y NEMS)
1.4 CLAVE: (Para ser llenado por la SIP)
1.5 TIPO DE ASIGNATURA: OBLIGATORIA OPTATIVA X
SEMINARIO ESTANCIA
1.6 NÚMERO DE HORAS: TEORÍA 4 PRACTICA T-P
1.7 UNIDADES DE CRÉDITO: 8
1.8 FECHA DE LA ELABORACIÓN DEL PROGRAMA DE LA ASIGNATURA:

D m a
1.9 SESIÓN DEL COLEGIO DE PROFESORES
EN QUE SE ACORDÓ LA IMPLANTACIÓN SESIÓN No. FECHA:
DE LA ASIGNATURA:
D m a
1.10 FECHA DE REGISTRO EN SIP: (Para ser llenado por la SIP)

d M a
II. DATOS DEL PERSONAL ACADÉMICO
2.1 COORD. ASIGNATURA: Dr. Luis Villa Vargas CLAVE:
2.2 PROFR. PARTICIPANTE: Dr. Jorge Isaac Chairez Oria CLAVE:
Dr. Adrián Martínez Rivas CLAVE:
Dr. José Jorge Chanona Pérez

Hoja 2 de 3
III. DESCRIPCIÓN DEL CONTENIDO DEL PROGRAMA DE LA ASIGNATURA
III.1 OBJETIVO GENERAL:

Introducir al alumno en las técnicas y procedimientos básicos para el diseño y fabricación de
sistemas micro y nano electro-mecánicos (MEMS y NEMS) con aplicación en las ciencias
químicas, médicas, computacionales, alimentos y medioambientales.
III.2 DESCRIPCIÓN DEL CONTENIDO
TEMAS Y SUBTEMAS TIEMPO
1. Introducción 12
1.1.Fundamentos de MEMS-NEMS y bioMEMS-bioNEMS
1.1.1. Clasificación de MEMS y NEMS
1.1.2. Tipos y diseño básico de MEMS y BioMEMS
1.1.3. Tipos y diseño básico de NEMS y bioNEMS
1.2. Clasificación y tipos de materiales micro y nanoestructurados utilizados en dispositivos
MEMS y NEMS
1.2.1 Silicio monocristalino, silicio policristalino, SOI, metales, películas y recubrimientos
poliméricos y biopoliméricos
1.2.2. Tipos de Micro y Nanopartículas
1.2.2.1 Origen orgánico
1.2.2.2 Origen inorgánico
1.2.2. Funcionamiento y tipos de microcantilevers
1.2.3. Tipos de Nanotubos de Carbono y de proteínas
1.3. Propiedades eléctricas, estructurales, magnéticas, térmicas y mecánicas de micro y
Nanomateriales.
2. Estrategias de funcionalización de materiales micro y nanoestructurados.
12
2.1. Fundamentos de enlaces y descripción de fuerzas inter y biomoleculares
2.1.1.Enlaces de hidrogeno
2.1.2. Enlaces covalentes
2.1.3. Enlaces metálicos
2.1.4. Enlaces de coordinación
2.1.5. Interacción dipolo-dipolo e iónica
2.1.6.Fuerzas de Van der Waals
2.2. Funcionalización química y biológica de materiales micro y nanoestructurados (obleas de
silicioy dióxido de silicio, elastómeros, nanopartículas, nanotubos) como base para la
fabricación de bioMEMS y bioNEMS.
2.3. Técnicas de inmovilización de moléculas: adsorción física, atrapamiento o co-polimerización
dentro de una matriz, entrecruzamiento,enlace covalente, interacciones electrostáticas,
interacciones de afinidad.
2.4. Funcionalización y reacciones químicas en nanotubos de carbono y nanoalambres.
2.4.1 Funcionalización covalente (carboxilación, por defectos, halogenación, hidrogenación,
adición, etc.) y no covalente.
3. Técnicas de verificación de los procesos de funcionalización.
3.1. Técnicas espectroscópicas (XPS, Ramán, IR, elipsometria) 12
3.2. Técnicas de microscopía (Microscopia Confocal, Microscopia de electrónica de barrido y de
transmisión, Microscopia de fuerza atómica, perfilometro).
3.3. Técnicas Misceláneas (Electroquímica, microbalanza de cristal de cuarzo, estación de
pruebas eléctricas).
4. Fundamentos de operación de MEMS y NEMS
4.1. Principios de Micro y Nanoelectrónica. 12
4.2. Principios de electroquímica.
4.3. Principios de acústica.
4.4. Principios de microfluídica
5. Biosensores. 12
5.1. Fundamentos de Microbiología, biodetección y biosensores
5.1.1 Principios básicos de microbiología
5.1.2 Tipos de microorganismos (bacterias, hongos, levaduras, protozoarios, micoplasmas y virus).
5.1.3. Métodos básicos de identificación, aislamiento, crecimiento y conservación de
microorganismos patógenos de importancia en salud publica
5.1.4 Métodos de detección y evaluación del crecimiento de microorganismos patógenos de
importancia en salud pública.
5.2. Biodetección y biosensores
5.2.1 Introducción y conceptos básicos de biodetección
5.2.2. Métodos de biodetección tradicionales
5.2.2.1 Recuento de microorganismos viables totales: cuenta en placa, cámara de Neubauer.
5.2.2.2 Métodos químicos: Reacción en Cadena de la Polimerasa (PCR)
5.2.2.3 Métodos inmunológicos: Ensayo por inmunoabsorción ligado a enzimas (ELISA).
5.2.3 Estructura y funcionamiento de biosensores
5.2.4 Sensores y biosensores basados en MEMS y NEMS
5.2.4.1 Métodos de detección óptica: Resonancia del PlasmónSupericial (SPR), dispersión de
luz y difusión Raman (también difusión de Raman estimulada por efecto de superficie, SERS).
5.2.4.2 Métodos de detección basados en cambio de masa: AFM, Microbalanza de Cristal de
Cuarzo (QCM).
5.2.4.3 Métodos de detección electroquímicos: amperomético, potenciométrico, impedimétrico,
conductimétrico.
5.2.4.4 Sensores basados en ácidos nucleícos.
5.2.4.5 Sensores basados en interacciones antígeno-anticuerpo o con fragmentos de
anticuerpos (scFv).
5.2.4.6 Sensores basados en interacciones enzimáticas y con fragmentos proteínicos.
5.2.4.7. Sensorestipo CNT-FET (Field Emission Transistor).
6. Métodos de diseño y fabricación de sistemas microy nano electro-mecánicos (Incluidosbiológicos) 12

6.1 Métodos de diseño y fabricación de microcantilevers y MEMS
6.2. Métodos de diseño y fabricación de NEMS
6.2.1. Arquitectura de sensores y simulación en programas informáticos (COMSOL Multiphysics y
Ansys)
6.2.2. Materiales, grabado, fotolitografía y máscaras para la fabricación de BioMEMS.
6.3. Tópicos selectos y aplicaciones de los MEMS y NEMS.
6.3.1. Aplicaciones en la ingeniería mecánica, eléctrica, computacional, robótica,
telecomunicaciones.
6.3.2 Aplicaciones en el área químico, ambiental
6.3.3. Aplicaciones en medico-biológicas (salud, farmacéutica, alimentaria)
Total 72 h
Hoja 3 de 3
III.3 BIBLIOGRAFIA UTILIZADA EN LA ASIGNATURA

 Ajayan, P., Schadler, l. S., Braun, P. V. Nanocomposite Science and Technology. 2003
 Belin T., Epron F. Characterization methods of carbon nanotubes: a review. Materials Science and Engineering B.
2005, 119:105–118
 BioMEMS and Biomedical Nanotechnology. Editor-in-chief: Ferrari, Mauro. 2007, LXXX, 1856 p. 431 illus. 4-
volume-set. ISBN 978-0-387-25561-3
 BioMEMS. Edited by Gerald A. Urban. Springer. ISBN: 9780387287317
 GRADWELL, S. E., RENNECKAR, S., ESKER, A. R., HEINZE, T., GATENHOLM, P., VACA-GARCIA, C. Surface
modification of cellulose fibers: towards wood composites by biomimetics. ComptesRendusBiologies. 2004. 327,
9–10, 945–953.
 Liu S., Shen Q., Cao Y., Gan L., Wang Z., Steigerwald M., Guo X. Chemical functionalization of single-walled
carbon nanotube field-effect transistors as switches and sensors.. Coordination Chemistry Reviews. 2010
254:1101–1116
 Liu S., Shen Q., Cao Y., Gan L., Wang Z., Steigerwald M., Guo X. Chemical functionalization of single-walled
carbon nanotube field-effect transistors as switches and sensors.. Coordination Chemistry Reviews. 2010
254:1101–1116
 Marc J. Madou. Fundamentals of Microfabrication: The science of Miniaturization. Taylor & Francis, Inc. 2nd
Edition. ISBN: 9780849308260.
 Marx, K. A. (2003). Quartz Crystal Microbalance: A Useful Tool for Studying Thin Polymer Films and Complex
Biomolecular Systems at the Solution-Surface Interface. Biomacromolecules 4, 1099-1120.
 Raiteri, R., Grattarola, M., Butt, H. J., Skládal, P. (2001). Micromechanical cantilever-based biosensor. Sensors
and Actuators. 79: 115-126.Su, L., Jia, W., Hou, C., Lei, Y. (2011). Microbial biosensors: A review. Biosensors
and Bioelectronics 26, 1788-1799.
 Saya, D., Belaubre, P., Mathieu, F., Lagrange, D., Pourciel, J. B., Bergaud, C. (2005). Si-
piezoresistivemicrocantilevers for highly integrated parallel force detection applications. Sensors and Actuators.
A123–124: 23–29.
 Sungkanak, U., Sappat, A., Wisitsoraat, A., Promptmas, C., Tuantranon, A. (2010). Ultrasensitive detection of
Vibrio cholerae O1 using microcantilever-based biosensor with dynamic force microscopy. Biosensors and
Bioelectronics 26, 784–789.
 Steven S. S. Saliterman. Fundamentals of BioMEMS& Medical Microdevices. Wiley Interscience. ISBN:
9780819459770
 Tasis D., Tagmatarchis N., Bianco A., Prato M. Chemistry of Carbon Nanotubes Chem. Rev. 2006, 106:1105-
1136
 Van Dorst, B., Mehta, J., Bekaert, K., Rouah-Martin, E. De Coen, W., Dubruel, P., Blust, R., Robbens, J. (2010).
Recent advances in recognition elements of food and environmental biosensors: A review. Biosensors and
Bioelectronics. doi:10.1016/j.bios.2010.07.033
 Velusamy, V., Arshak, K., Korostynska, O., Oliwa, K., Adley, C. (2010). An overview of foodborne pathogen
detection: In the perspective of biosensors. BiotechnologyAdvances. 28: 232-254.
 Vo-Dinh, T., Cullum, B. M., Stokes, D. L. (2001). Nanosensors and biochips: frontiers in biomolecular diagnostics.
Sensors and Actuators. 74: 2-11
 Weiss, J., Takhistov, P., McClements, J. (2006). Functional Materials in Food Nanotechnology. Journal of
FoodScience. 71: R107-R116.
 Willemsen, O. H., Snel, M. M., Cambi, A., Greve, J., DeGrooth, B. G., Figdor, C. G. (2000). Biomolecular
interactions measured by atomic force microscopy. Biophysical Journal. 79: 3267-3281.
 Zhang, J., Elder, T., Pu, Y., Ragasukas, A. Facile synthesis of spherical cellulose nanoparticles. En:
CarbohydratePolymers. 2007. 69:607-611.
III.4 PROCEDIMIENTOS O INSTRUMENTOS DE EVALUACIÓN A UTILIZAR
1. Tres exámenes parciales 50%.
2. Trabajo extraclase 20%
3. Simulación de una propuesta de sensor en equipo de cómputo 20%.
4. Diseño de un método de fabricación de un biosensor 10%.

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I. DATOS DEL PROGRAMA Y LA ASIGNATURA

1.1 NOMBRE DEL PROGRAMA: Programa en Red de Doctorado en Nanociencias y

1.2 COORDINADOR DEL PROGRAMA:

1.3 NOMBRE DE LA ASIGNATURA: Sistemas Micro y Nano Electro-Mecánicos (MEMS y NEMS)

1.4 CLAVE: (Para ser llenado por la SIP)

1.5 TIPO DE ASIGNATURA: OBLIGATORIA OPTATIVA X

1.6 NÚMERO DE HORAS: TEORÍA 4 PRACTICA T-P

1.7 UNIDADES DE CRÉDITO: 8

1.8 FECHA DE LA ELABORACIÓN DEL PROGRAMA DE LA ASIGNATURA:

1.10 FECHA DE REGISTRO EN SIP: (Para ser llenado por la SIP)

II. DATOS DEL PERSONAL ACADÉMICO

2.1 COORD. ASIGNATURA: Dr. Luis Villa Vargas CLAVE:

2.2 PROFR. PARTICIPANTE: Dr. Jorge Isaac Chairez Oria CLAVE:

Dr. Adrián Martínez Rivas CLAVE:

Dr. José Jorge Chanona Pérez

III. DESCRIPCIÓN DEL CONTENIDO DEL PROGRAMA DE LA ASIGNATURA

III.1 OBJETIVO GENERAL:

III.2 DESCRIPCIÓN DEL CONTENIDO

TEMAS Y SUBTEMAS TIEMPO

6. Métodos de diseño y fabricación de sistemas microy nano electro-mecánicos (Incluidosbiológicos) 12

III.3 BIBLIOGRAFIA UTILIZADA EN LA ASIGNATURA

III.4 PROCEDIMIENTOS O INSTRUMENTOS DE EVALUACIÓN A UTILIZAR

1. Tres exámenes parciales 50%.

2. Trabajo extraclase 20%

3. Simulación de una propuesta de sensor en equipo de cómputo 20%.

4. Diseño de un método de fabricación de un biosensor 10%.

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