Act 7

UNIDEG CAMPUS IRAPUATO
Nombre: Diana Elizabeth Villanueva Hernández.
Matricula: U1903062Z0984
Materia: Ciencia de los Materiales.
Profesor: Juan Francisco Hernández Cuellar.
Actividad: #7
Fecha: 02 de Agosto del 2021.

Introducción
Las siglas MEMS son en conjunto, un acrónimo para denotar a lo que actualmente se
conoce como Sistemas Micro-Electro-Mecánicos (Microelectromechanical systems). Son
definidos típicamente como dispositivos de pequeñas dimensiones compuestos por
elementos activos y pasivos microfabricados y que realizan diferentes funciones como
percepción, procesado de datos, comunicación y actuación sobre el entorno. Los tipos de
dispositivos MEMS pueden variar desde estructuras relativamente simples que no tienen
ninguna parte móvil, hasta sistemas electromecánicos muy complejos en la que múltiples
elementos se mueven bajo el control de la electrónica integrada.
Gracias a los avances en el campo de los semiconductores, los MEMS son una tecnología
que puede aplicarse utilizando una gran diversidad de materiales y técnicas de fabricación;
la elección dependerá del tipo de dispositivo que se pretenda fabricar y el sector comercial
en el que desee operar.
Los MEMS en general varían en tamaño desde un micrómetro (una millonésima parte de
un metro) a un milímetro (una milésima parte de un metro). En este nivel de escala de
tamaño, las construcciones de la física clásica no son siempre ciertas. Debido a la gran
superficie en relación con el volumen de los MEMS, los efectos de superficie como
electroestática y viscosidad dominan a los efectos de volumen tales como la inercia o la
masa térmica. Por ello, la etapa de diseño y caracterización de los microsistemas será
básica de cara al análisis y desarrollo de nuevas aplicaciones.
Los microsistemas se pueden clasificar en seis distintos tipos:

‐ Sensores: son dispositivos MEMS diseñados para medir cambios en el ambiente. Estos
microsistemas incluyen sensores químicos, de movimiento, inerciales, térmicos y ópticos.
‐ Actuadores: son un grupo de dispositivos diseñados para proporcionar un estímulo a otros
componentes o dispositivos MEMS. En los microsistemas los actuadores son operados
electrostática o térmicamente.
‐ MEMS RF: son una clase de dispositivos usados para transmitir señales de radio
frecuencia. Los dispositivos típicos incluyen: interruptores, capacitores, antenas, etc.
‐ MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems) son dispositivos diseñados para dirigir,
reflejar, filtrar, y/o amplificar la luz. Estos componentes incluyen interruptores ópticos y
reflectores.
‐ Dispositivos MEMS para microfluidos: son diseñados para interactuar y trabajar con
fluidos. Dispositivos como microbombas y microválvulas son creados para manipular
pequeños volúmenes de fluido.
‐ Bio MEMS son dispositivos que, como muchos MEMS para microfluidos, son diseñados
para interactuar específicamente con muestras biológicas. Dispositivos como éstos
fabricados para interactuar con proteínas, células biológicas, reactivos médicos, etc. y
pueden usarse para suministrar medicamentos u otro análisis médico in situ.
Usos para los sensores MEMS de presión
Las aplicaciones para estos sensores incluyen automoción, entornos industriales, control y
automatización de procesos, dispositivos médicos, estaciones meteorológicas, wearables y
terminales portátiles, como teléfonos móviles y navegadores.
Los sensores MEMS de presión con tecnología piezorresistiva para automoción, IoT y
wearables en formato die de las series C33 y C39 consiguen un elevado rendimiento en un
formato diminuto. Ambas series con tecnología MEMS piezorresistiva entregan una señal
analógica, vía un puente de Wheatstone, que es proporcional a la presión y a la tensión
aplicadas.
Características los nuevos sensores MEMS de presión
Con un formato de 1 x 1 x 0,4 mm, las versiones C33 para el sector del automóvil son unas
de las más diminutas de su clase. Se han pensado para medir tensiones absolutas de 1,2
a 10 bares y tienen la calificación AEC-Q101 (automoción).
Estos sensores en formato die poseen una tensión operativa típica de 3 V, una tensión de
alimentación de 5 V y ofrecen unas sensibilidades de 15 a 80 mV/bar, dependiendo del
modelo.
Además, pueden trabajar en entornos adversos al soportar un rango de temperatura entre
-40 y +135 °C (incluso +140 °C durante periodos cortos) y garantizar estabilidad a largo
plazo (±0.35 por ciento FS – full scale).
Por otro lado, los sensores en formato die C39, con unas dimensiones de 0,65 x 0,65 mm,
resultan ideales en proyectos de Internet de las Cosas (IoT) y aplicaciones de consumo.
Estos modelos se distinguen por una baja altura de inserción (solo 24 mm) que, a su vez,
fomenta la integración de sensores de presión MEMS en, por ejemplo, Smartphones
y wearables, donde el espacio es un aspecto esencial.
Las unidades de la serie C39 se diseñaron para una presión absoluta de 1,2 bares y, al
igual que los sensores en formato C33, aseguran estabilidad a largo plazo (±0.35 por ciento
FS).
Sensores Acelerómetros Tipo MEMS.
Un acelerómetro es un dispositivo que mide la vibración o la aceleración del movimiento de

una estructura. La fuerza generada por la vibración o el cambio en el movimiento
(aceleración) hace que la masa "comprima" el material piezoeléctrico, generando una carga
eléctrica que es proporcional a la fuerza ejercida sobre él.
Tipos de acelerómetros
Existen dos tipos de acelerómetros piezoeléctricos (sensores de vibración).
El primero de ellos es el acelerómetro de salida de carga de "alta impedancia". En este tipo

de acelerómetro, el cristal piezoeléctrico genera una carga eléctrica que está conectada
directamente a los instrumentos de medición. La salida de carga requiere instalaciones e
instrumentación especiales, que habitualmente encontramos en los centros de
investigación. Este tipo de acelerómetro también se emplea en aplicaciones de altas
temperaturas (>120 ºC) en las que no se pueden utilizar modelos de baja impedancia.
El segundo tipo de acelerómetro es el acelerómetro de salida de baja impedancia. Un

acelerómetro de baja impedancia incluye un acelerómetro de carga en su extremo
delantero, así como un minúsculo microcircuito integrado y un transistor FET (de efecto de
campo) que convierte la carga en una tensión de baja impedancia que puede interaccionar
fácilmente con la instrumentación estándar. Este tipo de acelerómetro es el que se emplea
habitualmente en la industria. Una fuente de alimentación para acelerómetro como la ACC-
PS1 proporciona al microcircuito un suministro eléctrico adecuado de 18 a 24 V a una
corriente constante de 2 mA y elimina la corriente de polarización CC. Este tipo de fuente
de alimentación suele generar una señal de salida a partir de cero de hasta +/- 5 V
dependiendo del índice mV/g del acelerómetro. Todos los acelerómetros OMEGA son
acelerómetros de baja impedancia.
Historia de los acelerómetros

Aceleración temprana y sensores de vibración son complejos artilugios mecánicos (como
se muestra a continuación) y eran más adecuados para el laboratorio de la planta.
Acelerómetros modernos, sin embargo, se han beneficiado del avance de la tecnología, su
coste, precisión y facilidad de uso han mejorado con los años.
Los primeros acelerómetros eran dispositivos analógicos electrónicos que más tarde se
convirtieron en diseños electrónicos y digitales basados ??en un microprocesador. Los
controles de la bolsa de aire de la industria del automóvil híbrido utilizan sistemas
microelectromecánicos (MEMS). Estos dispositivos se basan en lo que alguna vez fue
considerado un defecto en el diseño de semiconductores, una "capa liberados" o un trozo
suelto de material de circuito en el microespacio sobre la superficie del chip. En un circuito
digital, esta capa suelta interfiere con el flujo normal de electrones, ya que reacciona con el
medio ambiente circundante analógico.
En un acelerómetro MEMS, esta capa suelta se utiliza como un sensor para medir la
aceleración. En autos de hoy en día, los sensores MEMS se utiliza en bolsas de aire y
control de chasis, en la detección de impactos laterales y en sistemas de frenado
antibloqueo. Auto sensores de aceleración de la industria están disponibles para las
frecuencias de 0,1 a 1.500 Hz, con rangos dinámicos de 1,5 a alrededor de 250 G 1 ó 2
ejes, y con sensibilidad de 7,62 a 1333 mV / G.
Sensor térmico MEMS con un ángulo de detección muy amplio
Omron Electronic Components Business Europe ha presentado una versión de 32 x 32

elementos y un ángulo de detección muy amplio de sus sensores térmicos MEMS D6T.
El nuevo D6T-32L-01A tiene un campo de visión de 90,0° por 90,0°, capaz de abarcar un amplio
espacio como una sala entera desde un único punto. Este sensor de altas prestaciones ofrece
la medida sin contacto de temperaturas de 0-200ºC con una temperatura ambiente de -10-70ºC.
El D6T-32L es una de las tres nuevas versiones del D6T anunciadas por Omron. Las
aplicaciones que necesitan un campo de visión más limitado se pueden cubrir con el D6T-8L-
09H de 1x8 y el D6T-44L-06H de 4x4, que ofrecen 54,5° x 5,5° y 44,2° por 45,7°,
respectivamente. Estos dos dispositivos permiten medir temperatura sin contacto entre 5-200ºC
a una temperatura ambiente de 5-45ºC.
Los sensores térmicos MEMS D6T se basan en un sensor de IR que mide la temperatura
de la superficie de los objetos sin tocarlos mediante una termopila que absorbe la energía
radiada desde el objeto. Se estima que el D6T, que incorpora una termopila MEMS de última
generación, un sensor ASIC diseñado a medida, un microprocesador para procesamiento
de señal y un algoritmo en un encapsulado de muy pequeño tamaño, ofrece la mayor
relación señal/ruido del mercado. El dispositivo convierte la señal del sensor en una salida
digital de temperatura que proporciona una conexión directa a un microcontrolador. El
diseño del D6T ahorra mucho espacio pues solo mide 14 x 8 x 8,93 mm en su versión más
grande de 32 x 32 elementos, por lo que resulta ideal para la detección de temperatura en
Internet de las Cosas y otras muchas aplicaciones.
Sensores Químicos MEMS
Durante este apartado se explicarán con más detalle los sensores químicos, atendiendo a
la bibliografía estudiada, haciendo especial énfasis a los sensores sobre los que se basa el
diseño de este trabajo.
La detección de las moléculas o componentes químicos es una tarea de interés general

para conocer aspectos cualitativos o cuantitativos de un componente químico especifico.
Las ´áreas de aplicación más típicas en cuanto a los sensores químicos MEMS son el
censado de la humedad mediante películas de poliimida, ya que el agua tiene una constante
dieléctrica relativamente alta a temperatura ambiente, produciendo (para los sensores
químicos capacitivos) grandes cambios en la capacidad. En aplicaciones más recientes se
ha utilizado para la detección de diferentes tipos de compuestos orgánicos volátiles en fase
gaseosa (hidrocarburos, alcoholes, etc.) usando películas de polímeros o cristales líquidos,
y la detección de NO, NO2, SO2 y CO2.
Dependiendo de las necesidades químicas de censado, existe una gran variedad de

transductores basados en los principios físicos. De esta forma, los sensores químicos se
pueden clasificar en cuatro categorías principales de acuerdo con sus principios de
transducción:
1. Sensores quımico-mecanicos (por ejemplo, cambios en la masa debido a la absorción).

2. Sensores térmicos (cambios en la temperatura a través de interacciones químicas).
3. Sensores ´ópticos (cambios en la intensidad de la luz debido a la absorción).
4. Sensores electroquímicos (cambios en el potencial o en la resistencia a través de la
transferencia de carga).
Como se ha presentado, existen multitud de tipos de sensores químicos, en nuestro caso

nos vamos a centrar sobre los sensores de tipo electroquímico. Este tipo constituye el grupo
más grande y antiguo dentro de los sensores de tipo químico. Estos hacen uso de
reacciones electroquímicas o de transferencia de carga del tipo: A+ + e − ↔ A. La electro-
química incluye la transferencia de carga desde un electrodo a una muestra en fase solida
o líquida y viceversa. Los cambios químicos tienen lugar en los electrodos en una probeta
con un volumen de la muestra, de tal forma que se mide la carga o la corriente resultante.
Un requerimiento clave para los sensores electro-químicos es estar cerca de un circuito

electrónico, aunque puede ser que no haya flujo de corriente. Una celda electro-química
está siempre compuesta de al menos dos electrodos con dos conexiones eléctricas: una
para la muestra, y otra para el transductor y equipo de medida. El transporte de carga en la
muestra puede ser iónico, electrónico, o una mezcla; por lo que el transductor siempre
requerirá de electrónica.
Los sensores electro-químicos siempre se clasifican de acuerdo con sus principios electro-
analíticos: Voltámetria, Potenciometría, Conductimetría.
Sensores de Flujo basados en MEMS
Los sensores de caudal basados en MEMS IDT FS1012 y FS2012 se pueden usar en
sanidad, entornos industriales y el sector de la alimentación.
Estos nuevos elementos de censado en estado sólido eliminan las cavidades y los
diafragmas normalmente encontrados en dispositivos similares y cuentan con una cubierta
protectora de carburo de silicio (SiC), aportando un elemento robusto y fiable compatible
con aplicaciones alimentarias.
Los módulos IDT FS1012 y FS2012 están especialmente indicados para medir el caudal de
líquidos y gases. Utilizan diversos termopares MEMS que ofrecen una excelente relación
de señal a ruido.
El aislamiento térmico del elemento de censado MEMS activo, junto a la película de carburo
de silicio, logra resistencia a materiales abrasivos y fiabilidad a largo plazo.
El FS1012 es un módulo independiente no calibrado con una tensión de alimentación de 3

a 5 V y una salida analógica (milivoltios), mientras que el FS2012 ofrece una
versión calibrada, con salida I2C digital y salida analógica de 0 a 5 V y circuitería
de compensación de temperatura para uso plug-and-play en sistemas digitales complejos.
El FS2012 también proporciona una precisión del 2 por ciento de la lectura, dotando de alta
fidelidad en situaciones de alto y bajo flujo usando el mismo módulo.
Detalles en los sensores de caudal basados en MEMS
Sin elementos en movimiento ni diafragma frágil sobre una cavidad, los nuevos sensores
eliminan la necesidad de componentes adicionales, aumentan la resistencia al choque y
evitan que agentes químicos deterioren el sensor.
Por lo tanto, los módulos IDT FS1012 y FS2012 se pueden emplear en sanidad, entornos
industriales y el sector de la alimentación, donde se demanda fiabilidad, robustez y
protección ante la contaminación.
Bibliografía
http://bibing.us.es/proyectos/abreproy/4966/fichero/e.+Tecnologia+MEMS.pdf
https://www.interempresas.net/Robotica/Articulos/254762-sensor-termico-D6T-32-x-32-
Omron-permite-medir-temperatura-sin-contacto-hasta-200-C.html
https://www.diarioelectronicohoy.com/sensores-mems-de-presion/

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