MEMS

MEMS
capitulo 1:Sistema electromecanico MEMS

MEMS mecánicos
MEMS termales
MEMS magneticos
RF MEMS
Embalaje MEMS y consideraciones de diseño
Capitulo 2 :micromaquinado.
Fotolitografia
otros métodos de litografía
capitulo 3 :Sistema de modelado y propiedades del material.
Modelado de sistemas híbridos
Ejemplos con placa paralela MEMS varactor.
Capitulo 4: componentes pasivos y sistemas...
sistemas electrónicos pasivos
sistemas mecánicos pasivos
capitulo 5: sensores mecánicos y actuadores
Principios de detección y actuación
Material piezoeléctrico como elementos sensores y actuadores.
giroscopios mems
capitulo 6: sensores térmicos y actuadores
Termovasos MEMS
relé MEMS activado térmicamente
capitulo 7: Sistemas micro opto electromecánicos.
Microespejos
Capitulo 8: Sensores magnéticos y actuadores.
Materiales magnéticos para MEMS y propiedades
sensor magnético MEMS
capitulo 9: radiofrecuencias MEMS
RF MEMS
Inductores MEMS
Interruptores MEMS
Capitulo 10 :sistemas de microfluidos
efecto termocapilar
MEMS(Sistemas Micro-Electro-Mecánicos )
Definicion: Son definidos típicamente como dispositivos de pequeñas dimensiones compuestos por elementos activos y
pasivos microfabricados y que realizan diferentes funciones como percepción, procesado de datos, comunicación y actuación
sobre el entorno.
Los tipos de dispositivos MEMS pueden variar desde estructuras relativamente simples que no tienen ninguna parte móvil,
hasta sistemas electromecánicos muy complejos en la que múltiples elementos se mueven bajo el control de la electrónica
integrada.
Los MEMS en general varían en tamaño desde un micrómetro (una millonésima parte de un metro) a un milímetro (una
milésima parte de un metro
Estructura de los MEMS
Como se observa en la Figura básicamente, los MEMS son sistemas formados:
microestructuras, microsensores, microelectrónica y microactuadores.
Las microestructuras constituyen el armazón del sistema, los microsensores detectan señales, la microelectrónica procesa la
señal y da órdenes al microactuador para reaccionar.
Objetivos
Conocer que esta tecnología ofrece un alto desempeño además de un costo menor, un menor consumo, un peso más
reducido.
son una tecnología que puede aplicarse utilizando una gran diversidad de materiales y técnicas de fabricación ,los
componentes a usar dependerá del tipo de dispositivo que se pretenda fabricar y el sector comercial en el que desee operar.
MEMS es un tipo de tecnología multifísica y de ingeniería múltiple porque combina física, microelectrónica, micromecánica,
ciencia de materiales y diseño asistido por computadora
Las aplicaciones Se Pueden Clasificar En Seis
Distintos Tipos:
Sensores: son dispositivos MEMS diseñados para medir cambios en el ambiente. Estos microsistemas incluyen sensores
químicos, de movimiento, inerciales, térmicos y ópticos.
‐ Actuadores: son un grupo de dispositivos diseñados para proporcionar un estímulo a otros componentes o dispositivos
MEMS. En los microsistemas los actuadores son operados electrostática o térmicamente.
MEMS RF: son una clase de dispositivos usados para transmitir señales de radio frecuencia. Los dispositivos típicos incluyen:
interruptores, capacitores, antenas, etc.
MEMS para microfluidos: son diseñados para interactuar y trabajar con fluidos. Dispositivos como microbombas y
microválvulas
‐ Bio MEMS son diseñados para interactuar específicamente con muestras biológicas. Dispositivos como éstos fabricados para
interactuar con proteínas, células biológicas, reactivos médicos, etc
Campo de los MEMS
Ventajas de los dispositivos MEMS
Los MEMS poseen una serie de ventajas frente a los sistemas de mayor tamaño, entre las cuales se encuentran:
‐ Posibilidad de fabricación masiva con bajo costo.
‐ Componentes más sensibles.
‐ Tamaño y peso reducidos.
‐ Consumo de energía pequeño.
‐ Alta precisión y biocompatibilidad.
‐ Partes mecánicas específicamente diseñadas, las cuales serán más rápidas y eficientes.
‐ Materiales con propiedades que les permiten ser más fuertes y ligeros.
‐ Desarrollo de componentes electrónicos más rápidos.
‐ Sistemas mecánicos y ópticos más rápidos y complejos.
Aplicaciones de los MEMS
MEMS RF es utilizada por gobiernos en aplicaciones civiles y militares, en asuntos de seguridad nacional (pasaportes o
billetes con tecnología RFID).
En las grandes empresas para el seguimiento de sus productos, desde el inicio de su manufacturación hasta su destino final
en los almacenes y tiendas.
RFID Digital utilizando un chip implantado en los miembros de la familia, o bien, con una tarjeta que portase el individuo, se
puede gestionar la apertura de puertas con un sistema conocido como Door Lock, que es una cerradura electrónica, que se
abre al acercarse a el chip RFID

MEMS

Cargado por

Copyright:

Formatos disponibles

MEMS

Cargado por

Información del documento

Descripción original:

Derechos de autor

Formatos disponibles

Compartir este documento

Compartir o incrustar documentos

Opciones para compartir

¿Le pareció útil este documento?

¿Este contenido es inapropiado?

Copyright:

Formatos disponibles

MEMS

Cargado por

Copyright:

Formatos disponibles

MEMS

capitulo 1:Sistema electromecanico MEMS

También podría gustarte