Análisis de Circuitos Ingeniería Mecánica y Eléctrica.

Feb 25, 2022

MEMS
Jorge Valtierra Moreno, Universidad Iberoamericana, León, Gto., México.
186083-4@iberoleon.edu.mx
RESUMEN
Este trabajo de investigación tratará sobre los sistemas Microelectromecánicos (MEMS),que son dispositivos
electromecánicos, fabricados por la industria de la microelectrónica.
PALABRAS CLAVE: MEMS, dispositivos electromecánicos, microelectrónica.

ABSTRACT

This research work is going to be about Microelectromechanical Systems (MEMS), which are electromechanical devices,
manufactured by the microelectronics industry.
KEYWORDS: MEMS, electromechanical devices, microelectronics.
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I. INTRODUCCIÓN III. HISTORIA DE LOS MEMS

Los MEMS son principalmente dispositivos La historia de los MEMS va de la mano con la historia
electromecánicos, fabricados mediante técnicas de la microelectrónica, por lo tanto, un punto de partida
desarrolladas por la industria de la microelectrónica, sus para la historia de los MEMS sería la invensión del
dimensiones se encuentran en el orden de los micrómetros. transistor. Así, la creación del primer transistor de
Están basados en su mayoría en estructuras de silicio, con punto de contacto en 1947 comenzaron con la historia
la finalidad de ser sistemas con un alto nivel de del desarrollo de dispositivos compactos basados en
integración y miniaturización. Estos tienen una gran semiconductores.
diversidad de aplicaciones y hay una gran variedad de
tecnologías que intervienen en el desarrollo de estos
sistemas.

II. MARCO TEORICO

La definición más acertada para MEMS es la que

proponen Nadim Maluf y Kirt Williams en su libro
“An introduction to MEMS engineering”, en el que
afirman que se tratan de un conjunto de herramientas,
un dispositivo físico y una metodología de desarrollo La invención del transistor fue un gran avance en la
tecnológico, todo en uno.
reducción de tamaño, consumo de energía, producción
Por lo tanto, podríamos decir que los MEMS son:
de calor y portabilidad en los aparatos e instrumentos
electrónicos.
• Un portafolio de técnicas y procesos para
diseñar y crear sistemas en miniatura muchos Después de 20 años, hubo un gran avance en la
de ellos heredados de la industria de la
miniaturización de sistemas, la cual fue el desarrollo
microelectrónica.
del microprocesador en el año de 1970. De estos
• Un dispositivo especializado que contiene por
avances en los procesos de fabricación se verían los
lo menos un elemento elaborado en la escala
de los micrómetros. primeros destellos de los MEMS.
• Dispositivos que controlan parámetros a
microescala y provocan efectos positivos a
mayor escala.

Ya en 1979, el primer acelerómetro basado en

tecnología MEMS fue desarrollado por investigadores
de la universidad de Stanford. El micro acelerómetro
fue el primer Sistema Microelectrónico en convertirse
en un éxito comercial, para el año 2000 ya se habían
vendido más de 30 millones de micro acelerómetros
fabricados en silicio.
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La historia completa del MEMS para el mercado masivo

comienza en 1991 cuando Analog Devices anunció el
lanzamiento del acelerómetro de eje único ADXL50
(ahora obsoleto) después de una década de duras batallas
técnicas en diferentes áreas, entre ellos simulación, física
de estado sólido, técnicas de proceso, empaquetado y
prueba con producción de volumen a partir de 1993.

Este dispositivo, que mide 5 milímetros (mm) × 5 mm, fue

diseñado para ser una tecnología disruptiva para una
aplicación única y muy específica: activar bolsas de aire
en vehículos, que recién se estaban introduciendo y no
eran obligatorias.

Posteriormente, estos pequeños dispositivos agregaron

diapasones MEMS vibrantes y se convirtieron en
giroscopios y unidades de medición de inercia completa
(IMU) capaces de reemplazar, en muchos casos, a IMU
con el tamaño de una pelota de baloncesto (> 100 libras
(lb),> 200 vatios) que guiaron a los astronautas a la Luna
hace más de 50 años, e incluso los giroscopios láser de
anillo (RLG) y los giroscopios de fibra óptica (FOG) que
maduraron en la década de 1980.

Es claro que los Sistemas Microelectromecánicos (MEMS)

son en buena medida el resultado del desarrollo
de la microelectrónica para satisfacer las necesidades
tecnológicas y comerciales de la ˙última parte del siglo
XX y deben parte de su crecimiento al impulso que la
miniaturización ha motivado en la innovación técnica a
lo largo de la historia humana.

Los MEMS son el resultado de una larga historia de

desarrollo tecnológico que inicia con las máquinas y
procesos iniciales de fabricación humana y tiene una de sus
cúspides en el surgimiento de la microelectrónica.
De hecho, en un continuo de dispositivos y procesos de
fabricación, los MEMS ocupan el rango que va de 1
mm a 1 μm.
Pronto se usaron otros acelerómetros para la estabilización
electrónica de la imagen, con lo cual se resolvió un
problema que anteriormente requería de una plataforma en
suspensión cardán estabilizada por un giroscopio
mecánico. Algunas ideas fueron adaptadas para
micrófonos MEMS, que son algo similares a los
acelerómetros en principio, o incluso a la implementación
real.
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IV. APLICACIONES Y USOS FUTUROS VI. CONCLUSIÓN

El mercado actual y el potencial de mercado de los MEMS
es enorme, actualmente el mercado de estos se encuentra La tecnología basada en MEMS La tecnología basada
principalmente en los sensores inerciales y de presión, las en MEMS ha recorrido un largo camino desde sus
cabezas de inyección de tinta y las pantallas digitales de alta inicios como un sensor acelerómetro para la
resolución. activación de bolsas de aire.
Se ha ampliado y transformado para admitir diversas
Las aplicaciones emergentes y futuras incluyen aplicaciones, incluida la manipulación del haz de luz a
sensores de presión para neumáticos, dispositivos para RF través de micro espejos e interruptores de RF basados
y comunicaciones inalámbricas, componentes en contacto.
para fibra óptica, dispositivos de manejo y procesamiento Al mismo tiempo, la investigación universitaria de
de fluidos para microanálisis químicos, diagnósticos vanguardia está llevando a MEMS aún más
médicos y suministro automático de medicamentos. lejos hasta situaciones científicas extraordinarias.
Es una realidad que las posibilidades son infinitas,
Los equipos de investigación de las universidades también están hasta el límite de la imaginación. Lo cual, hace
se encuentran utilizando la tecnología MEMS como una muy interesante el futuro MEMS.
base única para construir dispositivos que de otro modo no
podrían fabricarse. El programa internacional Accelerator
on a Chip (AChIP) es un proyecto mundial, que intenta
crear un pequeño acelerador de electrones basado en VII. REFERENCIAS
silicio que pueda convertir pulsos de electrones de
femtosegundos a attosegundos (10-15 a 10-18 segundos) con Schweber, B. (2019, 15 agosto). Los sensores MEMS son
hasta un mega electrón voltio (MeV) de energía, y hacerlo buenos, pero la revolución recién comienza. Digikey.
desde un chip de silicio; en agudo contraste con las Recuperado 25 de febrero de 2022, de
estructuras de una milla de largo actualmente necesarias. https://www.digikey.com.mx/es/blog/mems-sensors-are-
good-but-the-revolution-is-just-beginning
Este es tan solo un ejemplo de los nuevos y fértiles campos
en los que los MEMS incursionarán en el
futuro inmediato y harán realidad en breve la visión Sistemas Microelectromecánicos (MEMS). (s. f.).
expresada por Picraux y McWhorter quienes percibían que Ptolomeo UNAM. Recuperado 25 de febrero de 2022, de
las aplicaciones en las que los MEMS tomarían parte, http://www.ptolomeo.unam.mx:8080/jspui/bitstream/132.2
serían para lograr que los sistemas piensen, sensen su 48.52.100/213/4/A4.pdf
medio, actúen, se comuniquen y se auto propulsen.

V. MERCADO

Aunque las estimaciones sobre los mercados para MEMS

varían considerablemente de fuente a fuente, todas
coinciden en mostrar un crecimiento presente y futuro
muy importante, alcanzando volúmenes agregados de
varios miles de millones de dólares para el año 2012. En
los últimos años el mercado de los MEMS ha tenido un
crecimiento promedio anual del 25 %. En el futuro,
el crecimiento esperado provendrá principalmente de la
diversificación de las aplicaciones en las que son
empleados los MEMS.