MEMS Muybueno

D.R.
Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.
Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos
Mapa de
contenidos
Introduccin a la simulacin de
sistemas microelectromecnicos y
microfludicos
Introduccin a los microsistemas
Modelado y simulacin de
microsistemas multifsicos
Propiedades fsicas de materiales
Tecnologas de microfabricacin
Comportamiento esttico y
dinmico de microdispositivos
D.R.
GLOSARIO
MicroElectroMechanical Systems
(MEMS)
Sistemas microelectromecnicos.
Introduccin del eBook

Es un placer presentar este eBook pues conozco a sus autores desde hace ocho aos y he podido constatar a lo largo
de este tiempo, su enorme motivacin por las Micro/Nanotecnologas as como su vocacin por la docencia.
La temtica de MEMS es particularmente difcil de introducir al estudiante debido a su carcter multidisciplinario. En los
ltimos diez aos he tenido en mis manos muchos libros que
abordan esta temtica, pero muy pocos resultan sencillos de
leer para un estudiante que se enfrenta a esta rea de conocimiento por primera vez.
Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos ofrece una metodologa de enseanza original. El eBook presenta, en cada uno de sus captulos,
la teora fundamental correspondiente a diferentes aspectos
de los MEMS, y a la vez incorpora simulaciones computacionales que permiten observar algunos fenmenos o verificar
algn principio de operacin. Considero que este enfoque favorecer la iniciacin de muchos estudiantes en el estudio de
MEMS.
El eBook cubre los aspectos ms importantes de los MEMS,
incluyendo las principales reas de aplicacin, la modelacin
de sistemas multifsicos, las propiedades de los materiales
de inters en MEMS, las tecnologas de microfabricacin,
as como los modelos estticos y dinmicos de varias aplicaciones. De esta forma, el eBook proporciona al estudiante
una visin amplia de MEMS, al mismo tiempo que le permite
aprender a travs de su experimentacin con herramientas
computacionales.
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D.R.
Introduccin del eBook

Introduccin a la Simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos es el primer libro de
MEMS que aparece en espaol y tiene la estructura
de un eBook. Estoy seguro que las explicaciones, las
ligas y los ejercicios de simulacin de esta obra darn
al lector un ambiente de aprendizaje flexible como el
que requieren los grupos heterogneos. Finalmente
considero que esta obra favorecer la incorporacin
de muchos estudiantes de diversas disciplinas al rea
de MEMS y los motivar para la posterior realizacin
de proyectos de investigacin en esta temtica.
Sergio O. Martnez
Tecnolgico de Monterrey
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D.R.
1. Introduccin a los microsistemas

Organizador temtico
Introduccin a los microsistemas

Caractersticas distintivas
reas de aplicacin
D.R.
Temas captulo 1
Introduccin captulo 1

Captulo 1. Introduccin a los microsistemas

ACTIVIDad
Introduccin
En el presente captulo se introducen las caractersticas distintivas de los microsistemas y se describe cmo
estas caractersticas han impulsado su desarrollo tecnolgico y comercial en diversos mbitos, as como el
impacto de esta tecnologa en la sociedad.
conclusin
glosario
recursos
Pg. 1 de 1
D.R.
GLOSARIO
1.1 Caractersticas distintivas
Placa reflexiva
Integrated Circuit (IC)

Circuito integrado.
A
ele ctua
ctr do
ot res
rm
ico
s
Rejilla de difraccin
conclusin
Figura 1.1. Micrografa electrnica de barrio de un MEMS

glosario
El desarrollo tecnolgico y comercial de los MEMS vara segn su rea de aplicacin pero existe un consenso
general que identifica a la miniaturizacin, al carcter multifuncional y a los procesos de fabricacin en masa de alta
precisin como los motivos para que esta tecnologa se
haya consolidado exitosamente.
Vigas suspendidas
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

Instituto de ingenieros elctricos y
electrnicos.
ACTIVIDad
La tecnologa MEMS es el resultado de la miniaturizacin combinada de elementos elctricos, mecnicos, pticos y biolgicos. El trmino MEMS es un acrnimo de
microsistemas electromecnicos en el idioma ingls (Micro-Electro-Mechanical Systems) y se adopt oficialmente
en 1989 durante una reunin en Estados Unidos del Instituto de Ingenieros Elctricos y Electrnicos, o IEEE por
sus siglas en ingls, para referirse a los dispositivos, con
dimensiones entre 1 micrmetro y 1 milmetro, que combinan componentes elctricos y mecnicos fabricados usando procesos similares a los empleados en la industria de
circuitos integrados, o ICs por sus siglas en ingls.
D
ele etec
int ctros tores
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MicroElectroMechanical Systems
(MEMS)
Temas captulo 1

recursos
Pg. 1 de 3
D.R.
10 -15 m
10 -12 m
10-9 m
10-6 m
1m
10-3 m
106 m
108 m
Axn
(L 1cm)
tomo
(D 0.5A)
Cromosoma
(L 2.5m)
glosario
p+
Protn
(D 1.5fm)
Ser humano
(H 1.65m)
Planeta Tierra
(D 12,742km)
D: Dimetro
L: Longitud
H: Estatura
Figura 1.2. Dimensiones tpicas de los dispositivos basados en tecnologa MEMS

Pg. 2 de 3
recursos
Nanotubo
(D 1nm)
D.R.
conclusin
Tecnologa MEMS
Muchas de las caractersticas funcionales distintivas de los MEMS son una consecuencia de
estos efectos de escalamiento. Por ejemplo, a
escala micromtrica, los efectos capilares y de
tensin superficial tienen ms influencia sobre la
cintica de los cuerpos que los efectos inerciales
y, por lo tanto, la operacin de muchos dispositivos microfludicos se fundamenta en estos efectos. Otros ejemplos de las ventajas intrnsecas
de la miniaturizacin son, en el rea biomdica,
la habilidad de los microelectrodos para ser implantados en lugares especficos del cuerpo humano causando la menor intrusin posible (100 a
500 micrmetros) y, en las tecnologas de informacin, la habilidad de los inyectores de gotas
en los cartuchos de impresin de tinta para disipar calor (20 microsegundos).
ACTIVIDad
Para ilustrar las ventajas que ofrece la miniaturizacin, la figura 1.2 muestra una comparacin entre
las dimensiones tpicas de los MEMS y otros elementos funcionales bsicos en una escala logartmica
que se extiende desde el femtmetro (1 fm = 1x10-15 m) hasta la centena de un megmetro (1 Mm =
1x106 m). La ubicacin de la tecnologa MEMS en esta escala comparativa permite usarla como una
conexin fsica y funcional entre la escala humana y las escalas submicromtricas. As mismo, algunos fenmenos fsicos que pasan desapercibidos a escala macroscpica (dimensiones mayores a 1
centmetro) adquieren relevancia a escalas microscpicas.
Temas captulo 1

MEMS: Making Micro Machines

Trailer
glosario
En aos recientes, el estudio del comportamiento de los

fenmenos fsicos a escalas submicromtricas ha captado
la atencin de la comunidad cientfica y se han comenzado
a desarrollar sistemas electromecnicos con dimensiones
entre 1 y 100 nanmetros para analizar los efectos de es-
La principal diferencia en los procesos de fabricacin

de MEMS y NEMS es la direccin del escalamiento. La
produccin de MEMS comienza con obleas de silicio, de
aproximadamente 100 milmetros de dimetro y 500 micrmetros de espesor, que se van estructurando con mtodos fsicos y qumicos hasta obtener estructuras de menor
tamao (1 micrmetro a 1 milmetro). Por el contrario, la
produccin de NEMS se efecta a partir de un nivel atmico o molecular y se desarrolla, con mtodos qumicos o
biolgicos, hacia elementos de mayor tamao (1 a 100 nanmetros). En la literatura, los enfoques en la fabricacin
de MEMS y NEMS se conocen como Top-down y Bottomup, respectivamente y hacen referencia explcita a la direccin del escalamiento; en los MEMS, de arriba hacia abajo
y en los NEMS, de abajo hacia arriba. Estos enfoques de
fabricacin se complementan entre s y se espera que la siguiente generacin de mquinas ensambladoras combine
las mejores caractersticas de cada enfoque.
MEMS Industry Group: An Introduction to MEMS
conclusin
La capacidad de paralelizacin en los procesos de fabricacin de la tecnologa MEMS ha permitido producir

microdispositivos en grandes cantidades y a bajo costo;
adems, la alta precisin en los procesos de microfabricacin ha permitido producir microestructuras en dos y tres
dimensiones con altos niveles de reproducibilidad, eficiencia y utilidad imposibles de obtener empleando procesos
de fabricacin macroscpicos.
calamiento ms all del alcance tradicional de los MEMS.

Tales dispositivos se denominan NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems) y, a diferencia de los MEMS, sus procesos de fabricacin se basan en el ensamblaje de elementos nanoestructurados como por ejemplo los nanotubos.
ACTIVIDad
La integracin de componentes con diferentes naturalezas les ha proporcionado a los MEMS mayor destreza
para interactuar con su entorno. Actualmente, los MEMS
son capaces de percibir, interpretar y manipular hbilmente
algunos parmetros del medio en el cual se desempean
como presin, temperatura, flujo, desplazamiento, velocidad, aceleracin, vibracin, carga elctrica y composicin
qumica por nombrar solo algunos de los ms representativos.
LIGAS DE INTERS
Temas captulo 1

recursos
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D.R.
1.2. reas de aplicacin
Sector automotriz
Las regulaciones internacionales actuales en materia
de seguridad y proteccin ambiental dentro del sector automotriz han incrementado la demanda de sistemas con alta
sensibilidad, alta eficiencia y bajo consumo de potencia.
Esta bsqueda de sistemas seguros, ecolgicos y eficientes ha creado nichos de oportunidad para los dispositivos
basados en tecnologa MEMS debido a sus caractersticas
inherentes.
conclusin
glosario
La aplicacin de la tecnologa MEMS en el sector automotriz ha desempeado un papel primordial desde mediados de la dcada de los 70. Actualmente, los dispositivos
micromaquinados son pieza fundamental de muchos sistemas de seguridad avanzados. Estudios de mercado indican
que el nmero promedio de MEMS por automvil se sextuplic al pasar de 5.0 en el 2002 a 30.0 en el 2007. Estas
cifras implican que hoy en da aproximadamente 30% de
los sensores de un automvil estn basados en tecnologa
MEMS. Aunque las nuevas aplicaciones de esta tecnologa generalmente se implementan primero en automviles
de lujo, conforme la aplicacin se consolida el volumen de
fabricacin aumenta y sus costos de implementacin disminuyen, y la nueva aplicacin se transfiere a automviles
de menor costo.
MEMS in Automotive Safety Systems

Using Freescale Technologies
ACTIVIDad
Los atributos de los dispositivos basados en tecnologa

MEMS han permitido su aplicacin en diversos sectores
econmicos. Fundamentalmente, el xito de su aplicacin
se debe a las ventajas que presenta la tecnologa MEMS
sobre los sistemas macroscpicos, entre las cuales podemos mencionar: miniaturizacin sin prdidas de funcionalidad, integracin para formar sistemas monolticos, aprovechamiento de nuevos dominios fsicos, menor costo de
fabricacin por unidad, menor consumo de potencia, mayor
velocidad de operacin y mejoras en la sensibilidad, selectividad y exactitud. En esta seccin se resumen las aplicaciones de la tecnologa MEMS en el sector automotriz, las
telecomunicaciones y el sector salud. Se hace nfasis en
los casos de xito y las tendencias de cada sector.
LIGAS DE INTERS
Temas captulo 1
10

1.2 reas de aplicacin
recursos
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D.R.
Las aplicaciones comerciales ms exitosas de la tecnologa MEMS en

el sector automotriz se basan en tres dispositivos micromaquinados principales. En trminos de mayor a menor rentabilidad estos dispositivos son:
sensores de presin, sensores inerciales y sensores de flujo.
Freno
de mano
electrnico
Despliegue
de bolsas
de aire
Deteccin
pasajeros
Sistema
de navegacin
con cobertura continua
Monitoreo
de presin
de neumticos
Inyeccin
eficiente de
combustible
Alarma
Control
electrnico de
estabilidad y frenado
antirrobo
Sensor de presin
Acelermetro
Giroscopio
Sensor de flujo
recursos
glosario
de faros
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de
Direccionamiento
Figura 1.3. Aplicaciones consolidadas de los MEMS en el sector automotriz
D.R.
conclusin
La mayora de los sensores inerciales se fundamentan en la segunda

Ley de Newton para transformar la aceleracin, o la fuerza gravitacional
capaz de impartir aceleracin a un objeto, en desplazamiento empleando
una masa de prueba como elemento transductor. Las tcnicas de sensado
capacitivo, piezoresistivo, piezoelctrico y trmico son las tcnicas predominantes en este tipo de sensores para detectar el desplazamiento. Los
sensores inerciales se dividen a su vez en: acelermetros y giroscopios.
Los acelermetros permiten registrar aceleraciones lineales mientras que
los giroscopios registran aceleraciones angulares. El impacto de la tecnologa MEMS en los sensores inerciales ha permitido producir acelermetros
y giroscopios micromaquinados de tres grados de libertad con resoluciones
de 0.01 milmetros por segundo al cuadrado y 0.1 radianes por segundo al
cuadrado, respectivamente.
La figura 1.3 muestra los sistemas de un automvil que han sido perfeccionados al incorporar los dispositivos micromaquinados descritos anteriormente. En los siguientes apartados se describen brevemente las aplicaciones indicadas en la figura 3. Estas aplicaciones cuentan a la fecha con
alguna patente y adems han demostrado ser comercialmente viables.
ACTIVIDad
Los sensores de presin utilizan tpicamente tcnicas de sensado capacitivo, piezoresistivo o frecuencia de resonancia para detectar el desplazamiento o la deformacin que se origina al ejercer presin sobre un objeto. La
sensibilidad de estos sensores depende del espesor de una membrana que
se emplea como elemento transductor. Gracias a los procesos de microfabricacin disponibles en la actualidad se han logrado producir membranas
de menor espesor y mayor uniformidad que las membranas producidas con
procesos de maquinado convencional. En consecuencia, los sensores de
presin micromaquinados presentan una mayor sensibilidad que sus contrapartes macroscpicas.
Los sensores de flujo permiten registrar el campo de velocidades de un

fluido, su caudal y/o el esfuerzo de corte resultante en la pared del canal.
La tcnica de sensado ms empleada en este tipo de sensores se basa en
el principio de transferencia de calor. Las tcnicas de sensado capacitivo,
piezoresistivo y piezoelctrico tambin son utilizadas, aunque con menor
frecuencia. La alta sensibilidad de los sensores de flujo micromaquinados
se debe a que la perturbacin causada al sistema por estos dispositivos es
mucho menor que la perturbacin causada por los sensores de flujo macroscpicos.
Temas captulo 1
11

D.R.
recursos
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glosario
A diferencia de los sistemas de frenos controlados hidrulicamente, en los que el desplazamiento de un pistn
maestro conectado al pedal de freno transfiere uniformemente la presin hidrulica a los pistones de frenado ubicados en las ruedas del automvil, los sistemas de control
electrnico de frenado utilizan motores elctricos accionados por el pedal de freno para bombear de manera independiente el fluido hidrulico presurizado en cada rueda
del automvil. En esta aplicacin los sensores de presin
micromaquinados se localizan en el pistn maestro y en
cada pistn de frenado.
Tire Pressure Monitoring System

(TPMS)
Sistema de monitoreo de presin en
neumticos.
conclusin
Los cambios de presin en los neumticos de un automvil afectan de manera directa su dinmica y estabilidad.
La funcionalidad primordial de los sistemas de monitoreo
de presin en neumticos, o TPMS por sus siglas en ingls,
consiste en emitir advertencias oportunas al conductor de
condiciones desfavorables en la presin de los neumticos de su automvil y reducir as los riesgos de accidentes
ocasionados por volcaduras. La integracin de sensores
de presin micromaquinados a estos sistemas de seguridad ha permitido realizar mediciones de presin precisas,
individuales, simultneas y continuas debido a que su tecnologa de encapsulado les permite operar de manera confiable y duradera en ambientes hostiles como el interior de
un neumtico. La combinacin de un monitoreo efectivo y
acciones correctivas han resultado en un aumento de la
vida til de los neumticos y disminuciones en el consumo
de combustible y accidentes relacionados a mal funcionamiento en los neumticos.
ACTIVIDad
Los sistemas de deteccin de pasajeros fueron concebidos como sistemas de seguridad complementarios a las
bolsas de aire. Debido a la naturaleza imprevisible de las
colisiones automovilsticas, en la mayora de los casos las
lesiones causadas a los ocupantes se agravan como consecuencia de una mala posicin en sus asientos respecto
a la ubicacin de las bolsas de aire en el automvil. Las
dimensiones de los sensores de presin micromaquinados
han permitido su integracin en los asientos en una mayor
cantidad que los sensores de presin macroscpicos. De
esta manera, los sistemas de deteccin basados en tecnologa MEMS son capaces de determinar caractersticas de
los ocupantes como su peso y postura as como caractersticas del impacto como la velocidad con que son desplazados de sus asientos los ocupantes. Al determinar cuntos
ocupantes, de qu tipo, su ubicacin dentro del automvil,
y la magnitud del impacto, el sistema puede determinar qu
bolsas de aire y con qu presin debe desplegar.
GLOSARIO
Temas captulo 1
12

Temas captulo 1
13

ACTIVIDad
Las seales registradas por los sensores permiten determinar con gran
precisin la intencin de frenado del conductor y la respuesta de frenado real
en cada rueda del automvil. La habilidad para controlar autnomamente la
presin de frenos en cada rueda aunado a la distincin entre accin y reaccin en los sistemas de frenos permiten compensar los efectos inerciales
del automvil ocasionados por prdidas de adherencia en los neumticos.
La habilidad de los acelermetros para detectar campos gravitatorios estticos permite emplear estos dispositivos para determinar inclinaciones de
un objeto respecto a cualquier eje de rotacin perpendicular a la direccin
de accin de la fuerza de gravedad. Las alarmas antirrobos basadas en
acelermetros micromaquinados se activan cuando el vehculo es inclinado
al tratar de ser remolcado clandestinamente.
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D.R.
recursos
El freno de mano tradicional ha sido perfeccionado al automatizar su

activacin por medio de acelermetros micromaquinados que actan como
sensores de inclinacin. En esta aplicacin, cuando el acelermetro detecta
que el automvil se encuentra en una pendiente muy pronunciada, automticamente activa el freno de mano.
glosario
Las bolsas de aire son elementos de seguridad pasiva que pueden lesionar a los ocupantes de un automvil si no se despliegan adecuadamente
durante una colisin, incluso si los ocupantes llevan puesto el cinturn de
seguridad. Para reducir la probabilidad de lesiones graves en el conductor
y/o los pasajeros en las colisiones automovilsticas, las bolsas de aire deben
ser desplegadas en el momento preciso y con la presin adecuada. La integracin de acelermetros basados en tecnologa MEMS a estos elementos
de seguridad ha permitido desarrollar sistemas de bolsas de aire inteligentes
en los cuales es posible determinar simultneamente el tipo de colisin, su
direccin y la magnitud del impacto. Con base en la informacin registrada
el sistema de bolsas de aire reacciona de manera precisa y apropiada a las
condiciones del impacto, garantizando as la seguridad de los ocupantes.
conclusin
La incorporacin de sensores de presin y flujo micromaquinados a los

sistemas de inyeccin de combustible ha permitido determinar la cantidad
exacta de combustible y aire que debe contener el sistema para optimizar
su desempeo y reducir los niveles de consumo. La tecnologa de encapsulado, empleada en los dispositivos micromaquinados, protege a estos dispositivos incluso en condiciones de operacin extrema como altas temperaturas, altos niveles de vibracin y corrosin por qumicos.
Global Positioning System (GPS)

Sistema de posicionamiento global.
glosario
Debido a que el uso conjunto de acelermetros y giroscopios permite determinar el desplazamiento y velocidad
de un automvil, esta combinacin de funcionalidades ha
servido para complementar los sistemas de navegacin
satelitales. Por ejemplo, en zonas donde la seal del satlite no es detectada, o simplemente para minimizar el consumo de potencia, los sensores inerciales proporcionan la
informacin necesaria al sistema de navegacin. La acumulacin de errores en el sistema se corrige sincronizando
peridicamente la ubicacin del vehculo determinada por
los sensores inerciales con la ubicacin determinada por el
GPS.
Electronic Stability Control (ESC)

Control electrnico de estabilidad.
conclusin
El propsito del direccionamiento inteligente de faros es

garantizar una iluminacin adecuada del camino durante
los viajes nocturnos. En esta aplicacin, el uso conjunto de
un acelermetro y un giroscopio permite determinar algunas condiciones del camino como curvas, vados y pendientes as como la velocidad e inclinacin del automvil. Con
base en esta informacin, el sistema determina la direccin
ms apropiada en que deben orientarse los faros frontales
del automvil para reducir as los riesgos ocasionados por
un manejo en situaciones de baja visibilidad.
Los sistemas de navegacin basados en seales de

radio emitidas por sistemas
de posicionamiento global, o
GPS por sus siglas en ingls,
a pesar de su gran exactitud
an presentan problemas por
el alto consumo de potencia
y la prdida frecuente de la
seal de posicionamiento en
zonas urbanas de alta densidad por la interferencia de la
seal con edificios, puentes
y/o tneles.
ACTIVIDad
El control electrnico de estabilidad, o ESC por sus siglas en ingls, en conjunto con el control electrnico de
frenado conforman un sistema de seguridad activa que
permiten monitorear las condiciones de rodaje de un automvil con la finalidad de detectar y corregir situaciones de
riesgo como bloqueo de los frenos, prdida de control en
la direccin, prdida de traccin en los neumticos y alta
velocidad en curvas con bajo peralte. En esta aplicacin,
las mediciones de aceleracin e inclinacin se registran en
los seis grados de libertad con sensores inerciales micromaquinados.
GLOSARIO
Temas captulo 1
14

recursos
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D.R.
Las aplicaciones emergentes de los MEMS en los automviles se muestran en la figura 1.4. Tales aplicaciones estn basadas en dispositivos micromaquinados como sensores de radiacin infrarroja, sensores de presin,
osciladores mecnicos, sensores qumicos, antenas de radiofrecuencia y
escneres pticos.
de
visin auxiliar
* Sensor qumico
para monitoreo de
emisiones
Sensores de presin
Permiten detectar y corregir las ondas acsticas relacionadas al ruido generado por vibraciones del motor o a los ruidos
externos a la cabina.
Osciladores mecnicos
Aprovechan las vibraciones del motor para generar energa

elctrica a partir de los efectos piezoelctricos o piezoresistivos de los materiales con que fueron fabricados.
Sensores qumicos
Permiten monitorear las emisiones del automvil con la finalidad de diagnosticar anticipadamente algn problema mecnico
y/o asegurar el cumplimiento de las normas de emisin de
contaminantes.
Antenas de radio
frecuencia
Proporcionan comunicacin continua entre la red de sensores

integrados en el automvil y el sistema de control.
Escneres pticos
Proyectan la informacin recopilada por la red de sensores en

un sistema de visin auxiliar para el conductor que podr estar
ubicado en el espejo retrovisor y/o en el parabrisas.
Monitoreo
Comunicacin entre
la red de sensores y
el sistema de control
Dispositivos basados en tecnologa MEMS:

Antena de radio frecuencia Sensor de radiacin infrarroja
Escner ptico * Otros
recursos
Figura 1.4. Aplicaciones emergentes de los MEMS en el sector automotriz
La tendencia en la aplicacin de la tecnologa MEMS al sector automotriz es desarrollar sistemas con niveles de integracin cada vez mayores
que permitan combinar funciones de autoenergizacin, sensado, actuacin
y procesamiento y que adems sean capaces de comunicarse entre s y/o
enviar la informacin a una pantalla de despliegue en la consola del conductor. Las caractersticas de estos sistemas los han llevado a ser conocidos
como solucin de sistema con encapsulado unitario, o SiP por sus siglas en
ingls, y constituyen los bloques funcionales bsicos de los automviles del
futuro.
Pg. 6 de 17
D.R.
glosario
* Osciladores
para generacin
de energa
conclusin
de
obstculos en
el camino
Permiten detectar obstculos en condiciones de baja visibilidad como viajes nocturnos o neblina.
ACTIVIDad
Sistema
* Micrfono para
cancelacin de
ruido
Sensores de
radiacin infrarroja
Temas captulo 1
15

Sector telecomunicaciones
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D.R.
recursos
La fase comercial de los RF-MEMS comenz en el

2003. Los primeros dispositivos micromaquinados en serie
fueron las inductancias, los resonadores de onda acstica
volumtrica y los conmutadores; posteriormente siguieron
las capacitancias variables y los resonadores mecnicos.
Para el 2004, alrededor de una decena de compaas fabricantes de telfonos celulares, componentes para redes
inalmbricas de rea local y sistemas de posicionamiento
global ya incluan en sus planes de comercializacin alguna aplicacin basada en RF-MEMS.
Radio-Frequency MicroElectroMechanical Systems (RF-MEMS)

Sistemas microelectromecnicos de
radiofrecuencia.
glosario
El micromaquinado de estos dispositivos permite reducir su constante dielctrica y, por lo tanto, incrementar su
eficiencia de radiacin y ancho de banda. Por ltimo, apa-
La extensa gama de RF-MEMS incluye conmutadores,

relevadores, capacitancias variables, inductancias, filtros,
moduladores de fase, antenas, lneas de transmisin, guas
de onda, acopladores direccionales, mezcladores as como
resonadores mecnicos, de onda acstica volumtrica y de
cavidad. Todos estos dispositivos micromaquinados ofrecen ventajas competitivas como menor consumo de potencia, menores prdidas, mayor linealidad y mayor factor de
calidad en comparacin a sus contrapartes macroscpicas.
MicroOptoElectroMechanical Systems (MOEMS)

Sistemas microoptoelectromecnicos.
conclusin
La incorporacin de los RF-MEMS a los sistemas de

comunicacin inalmbrica se debe a tres motivos principales. Primero, los sistemas de comunicacin inalmbrica
requieren de componentes cuyas dimensiones sean comparables o menores a la longitud de onda de la seal de
propagacin; por ejemplo, en los sistemas de ondas milimtricas es imperativo que las dimensiones de la mayora
de sus componentes estn por debajo del orden de milmetros. En consecuencia, el desarrollo de los sistemas de
comunicacin de alta frecuencia (=1-10mm) depende en
gran medida de los adelantos en los procesos de microfabricacin de sus componentes. En segundo trmino y al
otro extremo del espectro, los sistemas de comunicacin
de baja frecuencia (=1-2cm) requieren de antenas impresas de tipo parche, o antenas microstrip, con bajas constantes dielctricas.
recen los problemas relacionados a prdidas por insercin

y limitaciones en el ancho de banda tpicos de los componentes macroscpicos de los sistemas de alta frecuencia.
ACTIVIDad
La integracin de dispositivos micromaquinados a los

sistemas de telecomunicacin ha dado lugar a la formacin
de campos especializados dentro de la tecnologa MEMS.
De manera particular, los microsistemas electromecnicos
para aplicaciones de radiofrecuencia y ondas milimtricas
se denominan RF-MEMS mientras que los microsistemas
electromecnicos con funcionalidades pticas son denominados MOEMS.
GLOSARIO
Temas captulo 1
16

En la figura 1.5 se muestran los componentes de un dispositivo personal de comunicacin inalmbrica que incorporan RF-MEMS en su arquitectura y que a la fecha estn disponibles comercialmente.
Acopladores variables
Osciladores
integrados controlados
por voltaje para
sistemas GPS
Osciladores de reloj
Generadores de reloj
Reloj de tiempo real
glosario
Antenas direccionables
conclusin
Filtros
Los proyectos de investigacin y desarrollo en

RF-MEMS no solo tienen por objetivo mejorar el
desempeo de los componentes actuales sino
tambin desarrollar nuevas arquitecturas para la
prxima generacin de sistemas de comunicacin inalmbrica con caractersticas multimodo y
multibanda.
ACTIVIDad
Acoplamiento de impedancia en los puertos de entrada de los amplificadores de

potencia
Antenas variables
La tendencia en los sistemas de comunicacin inalmbrica por desarrollar componentes

que puedan ser reconfigurados de manera rpida y sencilla y que adems operen en un amplio
rango de frecuencias ha llevado a que las nuevas
aplicaciones de los RF-MEMS se dirijan hacia la
construccin de bancos de filtros, el acoplamiento de impedancias y la conmutacin de antenas y
amplificadores de potencia.
Temas captulo 1
17

Dispositivos basados en tecnologa MEMS:

Inductancias
Resonadores mecnicos
Conmutadores
Capacitancias variables
Resonadores de onda acstica volumtrica
Figura 1.5. Aplicaciones de los RF-MEMS en los sistemas de telecomunicacin inalmbrica
recursos
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D.R.
Atenuador
variable
MicroOptoElectroMechanical Systems (MOEMS)

Ecualizador
Fotodetector
sintonizable
Alineador de
fibras pticas
Figura 1.6. Aplicaciones de los MOEMS en los redes

de telecomunicacin ptica
recursos
Lser sintonizable
Filtro ptico
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D.R.
glosario
No obstante, un enrutamiento reconfigurable eficaz solo

es posible si todos los componentes de la red interactan
en el mismo dominio fsico que la seal, es decir, una arquitectura basada en su totalidad en componentes pticos.
Debido a la naturaleza de los componentes de su arquitectura, estas redes son denominadas redes transparentes. En la figura 1.6 se muestran los componentes de un
sistema de comunicacin de fibras pticas que incorporan
MOEMS en su arquitectura y que a la fecha estn disponibles comercialmente.
Conmutador ptico
conclusin
La incorporacin de los MOEMS a las redes pticas tiene el potencial de revolucionar este sector de las telecomunicaciones al permitir el desarrollo de redes pticas en las
que las trayectorias del haz lser puedan ser cambiadas a
voluntad y de manera rpida.
Wavelength Division Multiplexing

(WDM)
Multiplexin de divisin por longitud de
onda.
ACTIVIDad
El uso masivo de los sistemas telecomunicacin de banda ancha como las fibras pticas, Internet y las redes de
datos han incrementado la necesidad de incorporar en sus
arquitecturas componentes que operen en un amplio rango de frecuencia. Los requerimientos de ancho de banda
de todos estos sistemas de telecomunicacin solo pueden
satisfacerse a travs de redes de interconexin ptica. Sin
embargo, la arquitectura tradicional de las redes pticas se
basa en multiplexores de divisin por longitud de onda, o
WDM por sus siglas en ingls. La principal desventaja del
enrutamiento de seales por WDM es que solamente permite establecer canales estticos de punto-a-punto.
GLOSARIO
Temas captulo 1
18

Sector salud
Los MEMS con aplicaciones en medios biolgicos se

denominan BioMEMS y, debido a su rango de dimensiones
(figura 1.2), constituyen, por una parte, la plataforma ideal
para conjuntar la nanotecnologa y las ciencias mdicas;
y, a escala milimtrica, forman parte esencial de algunos
sistemas de mayor tamao como los sistemas de imagenologa biomdica.
glosario
Una de las primeras reas de aplicacin de los BioMEMS en el sector salud fue la neurociencia, en donde se
utiliz un arreglo de puntas de prueba con electrodos micromaquinados para registrar seales elctricas en clulas
del sistema nervioso. A partir de esta aplicacin inicial, los
BioMEMS han evolucionado y, hoy en da, son capaces de
operar in vivo o in vitro, integrar funciones de diagnstico y
autorregulacin e, incluso, obtener energa del medio biolgico.
Biological MicroElectroMechanical
Systems (BioMEMS)
Sistemas microelectromecnicos biolgicos.
conclusin
La miniaturizacin de los dispositivos biomdicos

ha aumentado la reproducibilidad en los procesos
biolgicos y la precisin en el control de mezclas,
reacciones y desecho de productos; tambin ha
reducido los costos de fabricacin, el tamao de
la muestra y la cantidad de reactivos necesarios.
Todas estas mejoras a los dispositivos biomdicos estn revolucionando la forma en que los pacientes son diagnosticados y tratados y, eventualmente, permitirn no solo
detectar oportunamente agentes patgenos sino tambin
monitorear la evolucin de una enfermedad y administrar
terapias personalizadas que involucren el suministro de
frmacos nanoestructurados.
ACTIVIDad
La aplicacin de la tecnologa MEMS en el sector salud ha permitido entender y manipular procesos biolgicos
fundamentales as como mejorar el funcionamiento de algunos dispositivos mdicos modernos. Esto se debe principalmente a que la mayora de los procesos biolgicos se
originan a escala nanomtrica y, por lo tanto, el desarrollo
de dispositivos biomdicos miniaturizados ha facilitado el
control de los fenmenos a esta escala.
GLOSARIO
Temas captulo 1
19

recursos
Pg. 10 de 17
D.R.
Electrodos para registro de biopotenciales

y estimulacin de nervios
Implantes cocleares
Motor de pasos lineal

para lentes intraoculares
Sensor de presin para

monitoreo de ventilacin
respiratoria
Bomba para inhalador

de asma
Bomba para suministro
de frmacos
Desfibriladores
Cnula intraluminal
para soporte biliar
Cnula intraluminaria
para soporte cardiovascular
Sensor
Marcapasos
de presin en
mquinas de dilisis
para rin
Sensor de glucosa
Bomba para suministro

de insulina
Sensor de presin sangunea
glosario
El grupo de BioMEMS para aplicaciones in vivo abarca tanto a los microdispositivos biomdicos implantables
como a las microherramientas para intervenciones quirrgicas mnimamente invasivas.
Dispositivos para:
Monitoreo
Anlisis
Uso teraputico
Figura 1.7. Aplicaciones de los BioMEMS implantables
Pg. 11 de 17
D.R.
recursos
Los microdispositivos biomdicos implantables estn

diseados para combatir enfermedades crnicas en las
cuales el paciente necesita monitorear y autorregular
continuamente algn parmetro fisiolgico, bioqumico
u hormonal. La figura 1.7 muestra las aplicaciones de los
BioMEMS implantables de acuerdo a su funcin.
conclusin
A continuacin se describen las aplicaciones BioMEMS respetando primero la clasificacin por lugar de
aplicacin y posteriormente por la funcin que desempean. Esta subclasificacin adems de hacer nfasis en
las ventajas de los BioMEMS para monitoreo, anlisis,
y uso teraputico, presenta un panorama de la situacin
actual en el sector salud.
Sensor de presin
intracraneal
ACTIVIDad
La evolucin de los BioMEMS ha permitido extender

sus aplicaciones a reas como genmica, protemica,
ingeniera de clulas y tejidos, suministro de frmacos,
desarrollo de biosensores, ensamblaje molecular e imagenologa biomdica de alta resolucin. La diversidad de
aplicaciones, aunada a la interaccin de diferentes campos del conocimiento, complica la concepcin de una clasificacin general para los BioMEMS; por ejemplo, en la
literatura es comn encontrar clasificaciones de acuerdo
a su lugar de aplicacin, mtodos de fabricacin, funcin
que desempean y enfermedades que combaten.
Temas captulo 1
20

Temas captulo 1
21

Pg. 12 de 17
D.R.
recursos
El BioMEMS implantable de uso teraputico complementario a esta aplicacin se basa en una microbomba de insulina; de esta manera, el acceso
transcutneo sera innecesario para monitorear y autorregular los niveles de
glucosa.
glosario
Los sensores de glucosa son otra aplicacin de los BioMEMS implantables para monitoreo, pero an se encuentran en la etapa intermedia en su
camino al interior del cuerpo humano. La confiabilidad a largo plazo de estos dispositivos an no cumple con las especificaciones necesarias debido
a que su tiempo de vida es limitado y su estabilidad inadecuada cuando se
ubican directamente en los vasos sanguneos. Hasta hace un par de aos,
los productos comerciales empleaban mtodos de flujo abierto para monitorear los niveles de glucosa. Estos sistemas biomdicos incluan microelectrodos o fibras para mquinas de dilisis conectadas a sensores amperomtricos de glucosa oxidasa que eran ubicados en el tejido subcutneo.
Actualmente, se investiga la aplicacin de mtodos de medicin como viscometra, gravimetra y diferenciacin de tensin superficial a los sistemas
de deteccin de glucosa con la intensin de permitir una implantacin total.
conclusin
Otra de las ventajas de los sensores BioMEMS para presin sangunea

es su tecnologa de encapsulado a base de geles inertes que transmiten
las ondas de presin del torrente sanguneo pero que a la vez los protege
de los fluidos corporales que pueden corroer sus materiales o afectar sus
componentes elctricos. La versatilidad de los sensores BioMEMS para medicin de presin les ha permitido ser integrados a otros sistemas biomdicos como mquinas de dilisis para los riones, monitores de ventilacin
respiratoria y presin intracraneal, as como cnulas intraluminales para soporte biliar y cardiovascular. Adems de integrar sensores de presin que
e tienden su funcionalidad, las cnulas intraluminales estn incorporando
tambin motores micromaquinados para controlar automticamente su extensin.
ACTIVIDad
Los sensores de presin sangunea son definitivamente el mayor xito comercial de los BioMEMS implantables para monitoreo desde 1980. Su costo
es aproximadamente 98 por ciento menos que los sensores de presin de
cuarzo y, en consecuencia, pueden ser desechados frecuentemente sin implicar altos costos econmicos para el usuario. A diferencia de los sensores
de presin de cuarzo, los sensores BioMEMS para presin sangunea son
desechables y no necesitan ser esterilizados y recalibrados despus de ser
usados y, por tal motivo, los usuarios pueden operarlos con mayor facilidad.
recursos
glosario
La principal desventaja de los dispositivos de suministro de frmacos

radica, paradjicamente, en sus dimensiones; por ejemplo, la capacidad de
almacenamiento de un microrepositorio est en el orden de las decenas de
microlitros y, por lo tanto, el tiempo de vida til de estos dispositivos puede
resultar demasiado corto en comparacin a la condicin crnica de la enfermedad. Una solucin a esta problemtica es la implantacin peridica de
dispositivos, sin embargo, esta solucin an es prohibitiva debido al costo
econmico involucrado. Por tal motivo, el estado del arte de estos dispositivos se centra en el desarrollo de materiales biodegradables de bajo costo.
De esta manera se podrn fabricar dispositivos desechables, como en el
caso de los sensores de presin sangunea, y satisfacer por completo las
funciones de autorregulacin necesarias en una enfermedad crnica.
Pg. 13 de 17
D.R.
En el caso de los dispositivos biomdicos cardiovasculares, los marcapasos y desfibriladores

son otros dos claros ejemplos de cmo se han
perfeccionado los dispositivos tradicionales al
incluir microelectrodos en su arquitectura.
conclusin
Una de las aplicaciones ms establecidas de los electrodos micromaquinados son los implantes cocleares. La integracin de estos dispositivos
a los implantes cocleares tradicionales ha permitido mejorar la interaccin
entre los electrodos de estimulacin y las fibras del nervio auditivo. Especficamente, las dimensiones de los electrodos micromaquinados les ha permitido ser implantados a mayor profundidad de manera que ahora es posible
estimular otras regiones de la cclea como la regin apical, responsable de
la percepcin acstica de baja frecuencia. Esta mejora permite que las personas con insuficiencias auditivas amplen su rango de percepcin acstica
y obtengan una compresin ms til del habla y los sonidos del ambiente.
Dentro de los BioMEMS implantables para uso teraputico,

las microbombas son los componentes ms importantes para
el suministro de frmacos pues
permiten impulsar los fluidos del
repositorio en la direccin deseada. La naturaleza del bombeo
puede ser mecnica, al igual que
sus contrapartes microscpicas,
o electrocintica o capilar gracias
a los efectos de escalamiento. La
capacidad de bombeo de estos
dispositivos es de aproximadamente 1 a 10 microlitros por minuto.
ACTIVIDad
Los electrodos micromaquinados son los dispositivos BioMEMS implantables con mayor funcionalidad pues permiten establecer una conexin en
ambos sentidos entre el dispositivo y el sistema biolgico. El doble objetivo
de estos dispositivos comprende el registro de seales bioelctricas generadas de manera natural en los rganos as como la estimulacin artificial
de nervios y msculos a travs de impulsos elctricos inducidos.
Temas captulo 1
22

ACTIVIDad
Sensores de presin para

retroalimentacin tctil
Cmara CMOS para

inspeccin del sistema
gastrointestinal
Escners para sistemas de

tomografa ptica
dicas para la deteccin de

tejidos
Electrodos para monitoreo de signos vitales y

estimulacin de msculos
Sensores de presin intraocular
Plataformas microflu-
conclusin
A diferencia de los BioMEMS implantables

para suministro de frmacos, la principal ventaja
de los BioMEMS para intervenciones quirrgicas
radica en sus dimensiones. La miniaturizacin
de las herramientas quirrgicas existentes y su
incorporacin a los sistemas endoscpicos ha
resultado en procedimientos mnimamente invasivos. Debido a que la funciones de monitoreo,
anlisis y acciones correctivas del rea de inters se realizan con la menor intrusin posible,
los riesgos de los procedimientos asistidos son
menores que en los procedimientos abiertos en
los cuales se manipulan directamente los rganos. El paciente tambin padece menos dolores
postoperatorios y su tiempo de recuperacin se
acorta. La figura 1.8 muestra las aplicaciones de
los BioMEMS para intervenciones quirrgicas de
acuerdo a su funcin.
Temas captulo 1
23

glosario
Dispositivos para:
Monitoreo
Uso teraputico
Figura 1.8. Aplicaciones de los BioMEMS para intervenciones quirrgicas
Pg. 14 de 17
D.R.
recursos
Anlisis
Los BioMEMS para diagnstico in vivo durante intervenciones quirrgicas incluyen puntas de prueba con electrodos micromaquinados que, adems de monitorear los
signos vitales, permiten estimular nervios y msculos especficos; las puntas de prueba tambin pueden estar provistas de plataformas microfludicas que permiten la mezcla de compuestos biolgicamente activos para detectar
tejidos; por ejemplo, en la deteccin de tejidos oncolgicos
se emplean radioistopos para marcar radiofrmacos que
se fijarn metablicamente a un rgano o tejido especfico, pudindose observar y cuantificar desde el exterior con
una cmara gamma.
conclusin
El grupo de BioMEMS para aplicaciones in vitro contiene

a los microdispositivos biomdicos para anlisis bioqumicos. Habitualmente, los BioMEMS para monitoreo ambiental y anlisis de alimentos y frmacos tambin se agrupan
en esta categora pues, aunque pertenecen a otros sectores industriales, impactan de manera indirecta en la salud
del ser humano.
Complementary
MetalOxide
Semiconductor (CMOS)
Metal-xido-semiconductor complementario.
ACTIVIDad
Los BioMEMS para el monitoreo de intervenciones quirrgicas se basan, en su mayora, en microcomponentes

pticos que proporcionan al cirujano informacin del estado y ubicacin de los rganos a travs de imgenes capturadas por endoscopia. Los ejemplos ms representativos
de esta categora incluyen la integracin de escneres micromaquinados a los sistemas endoscpicos de tomografa ptica para realizar el barrido del haz lser sobre el tejido biolgico y una cmara endoscpica micromaquinada
en tecnologa CMOS para la inspeccin del estmago, el
intestino delgado y el intestino grueso. Los ejemplos nopticos de esta categora son las puntas de prueba con
sensores de presin para obtener retroalimentacin tctil
o para monitorear la presin de los ojos durante cirugas
oftalmolgicas.
GLOSARIO
Temas captulo 1
24

glosario
recursos
Pg. 15 de 17
D.R.
cin de clulas, molculas y partculas; menor cantidad de muestra requerida, volmenes de portadores y reactivos necesarios; integracin
de canales, mezcladores, separadores, cmaras de reaccin, electrodos y detectores en un solo chip. Las principales aplicaciones de estos
dispositivos se encuentran en el rea genmica y protemica como se
muestra en la figura 1.9.
Arrreglos de ADN para
LOCs para estudios genmicos
la cuantificacin y captura de
molculas
Figura 1.9. Aplicaciones de los BioMEMS para anlisis bioqumicos: Concepto de un

TAS
recursos
Arreglos de protenas para
Dispositivos para:
Monitoreo
Anlisis
Pg. 16 de 17
D.R.
protemicos
glosario
El rango de dimensiones de ambos dispositivos es el factor primordial que determina su

eficiencia y que les permite realizar anlisis que
de otra forma no pudieran ser llevados a cabo.
Las ventajas de la miniaturizacin de estos dispositivos incluyen: mejoras en los fenmenos
de transporte de masa por medio de efectos
electrocinticos y bombas micromaquinadas;
mayor eficiencia en la separacin e inmoviliza-
expresin de genes, SNPs y

resecuenciamiento
micro-Total-Analysis Systems
(TAS)
Microsistemas de anlisis total.
conclusin
Los trminos anteriores se derivan de sus

siglas en ingls Lab-On-a-Chip y micro-TotalAnalysis Systems. Funcional y estructuralmente, los LOC son un subconjunto de los TAS
puesto que los LOC solo permiten desempear
tareas analticas especficas y, por lo general,
estn basados en plataformas microfludicas y
en transductores de vigas suspendidas o absorcin ptica; mientras que los TAS son bioanalizadores hbridos que integran mltiples LOC
especializados, microarreglos y la electrnica
necesaria para procesar los datos.
LOCs para estudios
Lab-On-a-Chip (LOC)
Laboratorio en un chip.
ACTIVIDad
Microdispositivos
biomdicos que permiten
analizar compuestos
bioqumicos, parcial o
totalmente.
LOC
TAS
(parcial) (totalmente)
GLOSARIO
Temas captulo 1
25

recursos
D.R.
Single Nucleotide Polymorphism

(SNP)
Polimorfismo de un solo nucletido.
glosario
Pg. 17 de 17
Polymerase Chain Reaction (PCR)

Reaccin en cadena de la polimerasa.
conclusin
En la protemica, los LOC permiten:

preparar aislar

hacer reaccionar
purificar
detectar digerir protenas
Investigaciones clnicas han permitido diagnosticar cncer utilizando estos dispositivos para detectar el gen FHIT.
En el caso de los microarreglos de protenas, se emplean
reactivos altamente selectivos y/o molculas de diferentes
clases, como antgeno-anticuerpo, protena-protena y enzima-substrato, para la cuantificacin y/o captura de analitos, respectivamente.
Los LOC y TAS tambin son empleados en el monitoreo ambiental as como en el anlisis de alimentos y frmacos. Por ejemplo, en los suministros de agua y comida son
usados para detectar agentes patgenos como Escherichia
Coli, Cryptosporidium Parvum, Giardia Lamblia o Yersinia
Enterocolytica. Para detectar aditivos alimentarios y residuos fertilizantes o plaguicidas se emplean biosensores a
base de enzimas; en la deteccin de frmacos para tratamiento de enfermedades se utilizan biosensores de afinidad combinados con transductores de absorcin ptica;
las biotoxinas se detectan mediante sntesis de anticuerpos. Los biosensores amperomtricos y electroqumicos
permiten registrar los niveles de etanol, glucosa, almidn,
colesterol y cido flico para controlar la calidad de los alimentos.
A pesar las caractersticas innovadoras y sin precedentes de los BioMEMS, su evolucin comercial en el sector
salud ha sido ms lenta que en los sectores automotriz y
de telecomunicaciones debido principalmente a cuestiones
que involucran problemas de biocompatibilidad de materiales, permeabilidad de encapsulados, cumplimiento de
normas de seguridad y autorizacin de patentes. Sin embargo, los BioMEMS an son la alternativa ms viable para
que la nanomedicina sea una realidad y pueda ser aplicada
en aras del mejoramiento de la condicin humana.
ACTIVIDad
En la genmica, los LOC son usados para replicar pequeas secuencias de ADN y generar millones de copias
en cortos perodos de tiempo (horas) utilizando la reaccin
en cadena de la polimerasa, o PCR por sus siglas en ingls. Actualmente, la PCR es usada para pruebas genticas en el diagnstico de enfermedades, el monitoreo de la
respuesta a tratamientos y la identificacin de tejidos por
comparacin de ADN. Los microarreglos de ADN son otros
de los dispositivos con aplicaciones genmicas. Estos dispositivos permiten estudiar simultneamente los genes y
sus productos como: ADN, ARN mensajero y protenas.
Actualmente, los microarreglos de ADN son usados para
cuantificar la cantidad de ARN que produce un gen (expresin de genes), detectar variaciones unitarias de nucletidos en una secuencia de ADN (Polimorfismo de un solo nucletido, o SNP por sus siglas en ingls) y para identificar
ADN en una muestra (resecuenciacin).
GLOSARIO
Temas captulo 1
26

RECURSOS
Ejercicio Integrador del captulo 1

Actividad: Bsquedas tecnolgicas
Temas captulo 1
27
ACTIVIDad
conclusin
glosario
recursos
Pg. 1 de 2
D.R.

Instrucciones. Relaciona las columnas. (La lnea verde indica las respuestas correctas y la lnea roja las incorrectas.)
Temas captulo 1
28
ACTIVIDad
conclusin
glosario
recursos
Pg. 2 de 2
D.R.
Temas captulo 1
29
Conclusin del captulo 1

D.R.
recursos
Pg. 1 de 1
glosario
Invariablemente, los MEMS continuarn expandiendo el rango de interaccin

entre el ser humano y su medio ambiente, desde la manipulacin del microcosmos
hasta el estudio del macrocosmos. Este intercambio de informacin ser crucial
para desarrollar medios de transporte ms seguros y menos contaminantes, sistemas de telecomunicacin omnipresentes y procedimientos que mejoren la salud y
calidad de vida del ser humano.
conclusin
En los prximos aos, el desarrollo de nuevas aplicaciones MEMS estar influenciado por dos factores: las mejoras tecnolgicas y las necesidades de la aplicacin. El primer factor consistir en perfeccionar los sistemas actuales por medio
del progreso en los mtodos subyacentes de esta tecnologa como, por ejemplo,
los procesos de microfabricacin y encapsulado, las tcnicas de manipulacin de
seales y las metodologas de diseo. El segundo factor consistir en identificar
deficiencias en los sistemas actuales y corregirlas empleando tecnologa existente.
ACTIVIDad
Desde que el afamado fsico Richard P. Feynman anticip a mediados del siglo
pasado el impacto que tendra para la sociedad la manipulacin de materia a escala
atmica, los beneficios de la miniaturizacin se han extendido a casi todos los mbitos del quehacer humano. En este sentido, la tecnologa MEMS ha sido esencial
para que hoy da podamos encontrar mquinas fabricadas a escala micromtrica
en un gran nmero de dispositivos de uso cotidiano. La tecnologa MEMS tambin
ha sido fundamental en la comprensin de fenmenos fsicos y procesos biolgicos
a escalas submicromtricas y est potenciando el desarrollo de las nanociencias.
Temas captulo 1
ACTIVIDad
A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
Biological MicroElectroMechanical Systems (BioMEMS)
Electronic Stability Control (ESC)

Control electrnico de estabilidad.
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Integrated Circuit (IC)
Sistemas microelectromecnicos biolgicos.
C
Complementary MetalOxideSemiconductor (CMOS)
Instituto de ingenieros elctricos y electrnicos.

Circuito integrado.
Sistema de posicionamiento global.
Metal-xido-semiconductor complementario.
Lab-On-a-Chip (LOC)
Laboratorio en un chip.
Pg. 1 de 2
D.R.
recursos
Global Positioning System (GPS)
glosario
conclusin
Glosario del captulo 1
A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
MicroElectroMechanical Systems (MEMS)
Single Nucleotide Polymorphism (SNP)
Polimorfismo de un solo nucletido.
MicroOptoElectroMechanical Systems
(MOEMS)
Tire Pressure Monitoring System (TPMS)
micro-Total-Analysis Systems (TAS)
Sistema de monitoreo de presin en neumticos.
Microsistemas de anlisis total.
P
Polymerase Chain Reaction (PCR)
conclusin
ACTIVIDad
Temas captulo 1
Wavelength Division Multiplexing (WDM)

Multiplexin de divisin por longitud de onda.
glosario
Reaccin en cadena de la polimerasa.
R
Radio-Frequency MicroElectroMechanical
Systems (RF-MEMS)
recursos
Sistemas microelectromecnicos de radiofrecuencia.
Pg. 2 de 2
D.R.
Temas captulo 1
ACTIVIDad
An Introduction to MEMS: Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS Industry Group, 2003
Portal de informacin para la comunidad de los MEMS y la nanotecnologa

http://www.MEMSnet.org
MEMS: Making Micro Machines, MEMS Industry Group, 2009
Sitio web del Instituto de Ingenieros Elctricos y Electrnicos (IEEE)
http://youtu.be/_GOfdHMA4to
http://www.ieee.org
MEMS in the Machine, MEMS Industry Group, 2012
Sitio web del Grupo de la Industria MEMS (MIG)
http://youtu.be/qNzifx_jHyA
http://www.MEMSindustrygroup.org
recursos
MEMS in Automotive Safety Systems Using Freescale Technologies,

Freescale Semiconductor, 2009
http://youtu.be/3QZ_JzjrI3Q
Pg. 1 de 1
D.R.
glosario
http://youtu.be/ZuE4oVrtEQY
conclusin
Recursos del captulo 1
ndice
Introduccin del eBook3
1.1 Caractersticas distintivas7
1.2. reas de aplicacin10
Conclusin del captulo 1 29
2.1. Diseo de MEMS35
2.2. Metodologas de diseo estructuradas38
3.1 Semiconductores slidos47
3.2 Materiales empleados en microtecnologa55
3.3 Manipulacin de propiedades fsicas de materiales en
bases de datos62

4.1. Procesos de base70
4.2. Tecnologa MEMS76
4.3. Microsistemas compatibles con CMOS78
Introduccin captulo 5 88
5.1. Comportamiento esttico de microdispositivos laminados89
5.2. Comportamiento dinmico de microdispositivos laminados98
5.3. Aplicaciones prcticas de la simulacin103
Glosario general109
Ligas de inters 112
Referencias 115
ndice 118
Aviso legal 119
Pg. 1 de 1
D.R.
Aviso legal
Camacho Len, Sergio
Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos / Sergio Camacho Len, Adrin Losoya Leal

p.119
cm.
1. Sistemas microelectromecnicos 2. Microfludicos

3. Dispositivos fludicos
LC: TK7875 Dewey: 621.381
eBook editado, diseado, publicado y distribuido por el Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey.
Se prohbe la reproduccin total o parcial de esta obra por cualquier medio sin previo y expreso consentimiento por escrito del Instituto Tecnolgico y de Estudios
Superiores de Monterrey.
D.R. Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico. 2013.
Ave. Eugenio Garza Sada 2501 Sur Col. Tecnolgico C.P. 64849 | Monterrey, Nuevo Len | Mxico.
ISBN en trmite.
Primera edicin: enero de 2013.
D.R.

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D.R.

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

Introduccin a los microsistemas

Propiedades fsicas de materiales

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

Introduccin del eBook

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

Introduccin del eBook

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

1. Introduccin a los microsistemas

Introduccin a los microsistemas

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

1. Introduccin a los microsistemas

Captulo 1. Introduccin a los microsistemas

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

1.1 Caractersticas distintivas

Integrated Circuit (IC)

Figura 1.1. Micrografa electrnica de barrio de un MEMS

Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

1. Introduccin a los microsistemas

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

Figura 1.2. Dimensiones tpicas de los dispositivos basados en tecnologa MEMS

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

1. Introduccin a los microsistemas

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

MEMS: Making Micro Machines

En aos recientes, el estudio del comportamiento de los

La principal diferencia en los procesos de fabricacin

MEMS Industry Group: An Introduction to MEMS

La capacidad de paralelizacin en los procesos de fabricacin de la tecnologa MEMS ha permitido producir

calamiento ms all del alcance tradicional de los MEMS.

1. Introduccin a los microsistemas

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

1.2. reas de aplicacin

MEMS in Automotive Safety Systems

Los atributos de los dispositivos basados en tecnologa

1. Introduccin a los microsistemas

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

Las aplicaciones comerciales ms exitosas de la tecnologa MEMS en

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Figura 1.3. Aplicaciones consolidadas de los MEMS en el sector automotriz

La mayora de los sensores inerciales se fundamentan en la segunda

Los sensores de flujo permiten registrar el campo de velocidades de un

1. Introduccin a los microsistemas

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

Instituto Tecnolgico y de Estudios Superiores de Monterrey, Mxico 2013.

Tire Pressure Monitoring System

1. Introduccin a los microsistemas

Introduccin a la simulacin de sistemas microelectromecnicos y microfludicos

1. Introduccin a los microsistemas