Liteagrafaíocht

Is éard is liteagrafaíocht ann ná teicníocht déantúsaíochta leathsheoltóra ina leagtar amach patrún micrichiorcad ar dhromchla slisne sileacain. Ar dtús, déantar maisc theimhneacha de na patrúin le próiseas grianghrafadóireachta le léas solais nó léas X-ghathanna. Is féidir na patrúin a dhéanamh i bhfad níos lú, agus mar sin dlús ciorcaid i bhfad níos mó a fháil, le X-ghathanna ná le solas. Ansin clúdaitear an tslisne le ciseal d'ábhar atá íogair do radaíocht leictreamaighnéadach, ar a dtugtar friotán, cuirtear an masc anuas air sin, agus nochtaítear an dromchla do radaíocht ultraivialait nó X-ghathanna. Nuair a nítear an dromchla ansin le tuaslagán ceimiceach ar leith, glantar chun siúil na fairsingí den fhriotán a nochtaíodh, agus déantar patrún an chiorcaid sa chiseal friotáin. Ina dhiaidh sin is féidir sreabhán eitseála a chur i bhfeidhm ar an sileacan nó an ocsaíd sileacain atá sna rianta sa bhfriotán, agus an sileacan a dhópáil chun ciorcaid a dhéanamh. Ar deireadh, nuair atá an ciorcad críochnaithe, tar éis suas le 20 masc i ndiaidh a chéile a úsáid b'fhéidir, glantar an fuílleach friotáin chun siúil le ceimiceán. Tá bealaí eile fós ann ina mbaintear feidhm as léas leictreon chun an patrún nochtaithe a tharraingt ar an bhfriotán gan masc ar bith a úsáid, agus is féidir patrúin níos míne ar fad a bhaint amach. Mar seo a chuirtear comhtháthú an-mhórscála (VLSI) i gcrích.