IEで「ファイルの削除」がおかしい

Win2000ProSP2、IE5.0で「ソースの表示」ができなくなりました。 webで調べると、インターネットキャッシュが破損していることが原因とあり、「インターネットオプション」のインターネット一時ファイル「ファイルの削除」をしてくださいとあるのですが、実行すると必ずフリーズというか、マウスポインタがずっと砂時計の状態になってしまいます。 強制終了させると、ソースは表示できるようになるのですが、ときどきまた表示できなくなったりします。 それで、IE5.5SP2にアップグレードしてみましたが、「ファイルの削除」をすると同じ現象です。 現在ソースは一応表示できてますが、「ファイルの削除」の現象は どうすれば直るでしょうか？よろしくお願いします。