MezeghraneRedouane AzziSamia
MezeghraneRedouane AzziSamia
MezeghraneRedouane AzziSamia
Présenté par
Mezeghrane Redouane
Azzi Samia
Thème
M Rachid ZIRMI
Professeur, UMMTO, Promoteur
M Sid-Ahmed TEDJINI-BAÏLICHE
Chercheur, CDTA, Encadreur
M BENNAMANE Kamal
Professeur, UMMTO, Président
2017/2018
Remerciements
Nous tenons à exprimer notre profonde gratitude à M. Rachid ZIRMI, notre promoteur
Professeur à L’UMMTO pour ses encouragements, sa patience, sa disponibilité, sa sympathie
et ses grandes compétences scientifiques, dont il nous a fait profiter. Nous le remercions
également de nous avoir orientée vers un domaine de recherche si intéressant pour ses idées
pertinentes, et l’enthousiasme qu’il nous a transmis tout au long de cette étude.
Nous remercions chaleureusement les membres du jury d’avoir accepté d’examiner notre
travail.
Enfin, nous remerciements vont à toute personne ayant contribuée, de près ou de loin, à
réaliser ce travail.
Et finalement, nous sommes reconnaissants envers nous familles respectives, qui nous ont été
d’un grand soutien moral.
Dédicaces
Je dédie ce travail à mes chers parents, pour tous leurs sacrifices, leur amour, leur soutien et
leurs prières tout au long de mes études.
A ma chère sœur Kenza et mes chers frères, Achour, Mounir et Djamel, pour leur appui et
leur encouragement.
A mes chers grands parents pour leur encouragement permanents et leur soutien moral.
A mon cher oncle Ahcene et ça femme Fadhila pour leur soutien et leur encouragement.
A mon cher oncle Nourredine et ça femme Nacira pour leur soutien moral
A ma chers tante Ghania et son Mari Chrif et ses filles Tassadit, Sofia et Sylia.
A toute ma famille.
A tous mes chers ami(e)s pour leur soutien tout au long de mon parcours
Que ce travail soit l’accomplissement de vos veux tant allégués, et le fruit de votre soutien
infaillible.
Redouane
Dédicaces
A mes sœurs Sonia, Noura, Ouiza et Zina, et leurs mari ainsi leurs enfants
A toute ma famille
A mon binôme Redouane avec qui j’ai partager ce travail, et toute sa famille
Ainsi qu’a tous ceux qui m’ont aide de prés ou de loin pour l’’élaboration de
ce travail.
Samia
LISTE DES ABREVIATIONS
AC : Alternating current,
ADE : Analog Design Environnement.
BJT : Bipolar Junction Transistor - Transistor bipolaire.
CDMA : Code Division Multiple Access.
CL1 : 1dB Compression Point.
CNA : Convertisseur Numérique/ Analogique.
CMOS : Complémentary Metal Oxide Semiconductor.
DC : Direct current,
DK : Design Kit.
DRC : Design Rule Schecking.
ESD : Electro statique décharge.
FI : Fréquence intermédiaire.
fT : fréquence de transit.
GO2 : Gate oxide 2.
GPS : (Global Positioning Système), système de positionnement par satellites.
I/O : Input /Output.
IMD : (Inter Metal Dielectric), Diélectrique inter-métal.
IM3 : third-order intercept point.
IP3 : third-order intercept point.
II3 : input third-order intercept point.
LDD : (Lightly Doped Drain), Drain Faiblement Dopée.
LNA : (Low Noise Amplifier), Amplificateur Faible Bruit.
LTE : long term evolution.
LVS :( Layout Versus Schimatic), Layout contre schématique.
MIM : (Metal- Isolating-Metal), Métal Isolant Métal.
MOS : (Metal Oxide Semiconductor), Métal-Oxyde-Semi-conducteur.
MOSFET : (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor), Transistor à effet de champ.
NF : Noise Figure.
NMOS : Transistor à effet de champ MOS à canal N.
NiSi : Siliciure de nickel.
P1dB : 1dB Compression Point.
PGS : (Paterned Ground Shield) pland de masse ou « Patterné » inductance
PLS : (Poste Layout Simulation)
PMD : (Pre-Metal Dielectric), Diélectrique pré-métal.
PMOS : Transistor à effet de champ MOS à canal P.
Re : Partie Imaginaire.
RF :( Radio Frequency), radio-fréquence.
SAW : Surface Acoustic Wave (onde acoustique de surface)
SiO2 : Oxyde de silicium (isolant)
Si3N4 : Nitrure de silicium.
SNR : Signal Noise Ratio.
SP : Paramètre S
STI : Shallow Trench Isolation, (Tranchées D’isolation Peu Profondes)
S11 et S22 : Coefficients de la réflexion d’entrée sortie
S12 : Coefficient de transmission inverse.
S21 : Coefficient de Transmission (gain en puissance)
UMTS : Universal Mobile Telecommunications System
WCDMA : Wideband Code Division Multiple Access
WiMAX : worldwid interoperability for microwave access
WI-FI : Wireless Fidelity
VCO : (Voltage Control Oscillator), oscillateur contrôle en tension
ZCE : Zone de charge d’espace
Liste des figures
SOMMAIRE
1.12.CONCLUSION ........................................................................................................................... 19
Références bibliographique
Annexes
INTRODUCTION
Introduction générale
1
La contribution de ce mémoire consiste au développement du module récepteur pour
les modules de communications. Ce travail concerne donc le développement d’un
Amplificateur faible bruit, dont la conception électrique et physique devra répondre aux
exigences de ces applications en termes de performances, consommation, et de coût.
Pour exposer l’ensemble des travaux, le rapport est articulé autour de quatre chapitres.
Le premier chapitre présente la technologie CMOS, le mode de fonctionnement d’un
transistor MOSFET et les différant source de bruit d’un MOSFET.
Le deuxième chapitre nous présentant un état de l’art des éléments clé de l’architecture
RF et nous exposants les différentes architectures et circuits utilisées dans les réseaux de
capteurs sans fil et leurs caractéristiques en termes de débit, consommation et de facilité
d’intégration.
Le quatrième chapitre présente les étapes que nous avons suivies pour le dessin de
masques du circuit étudié dans le troisième chapitre puis les résultats de simulation Post-
layout.
Nous terminerons ce mémoire en concluant sur le travail présenté sous forme de bilan
global sur l’ensemble des parties réalisées tout en donnant également quelques pistes pour
l’évolution et la suite à donner à cette étude.
2
Chapitre 1
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
1.1. Introduction
Le transistor MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effet Transistor) représente
le composant de base de la technologie CMOS (Complementary Metal Oxide
Semiconductor) « mot qui désigne l’ensemble des procédés matériels aboutissant à la
fabrication de circuit intégrés ». L’évolution technologique de l’électronique est basée sur ce
dispositif, il tire son nom de la constitution des éléments qui le constitue. Une grille
métallique, un oxyde isolant et un semi-conducteur. La technologie CMOS englobe plus de
80% de la production mondiale de circuits intégrés, grâce aux qualités de faible
consommation et de faible taille.
3
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
Cette très hautes fréquence de transition (ft) suppose notamment que des circuits RF peuvent
encore attendre de hautes fréquences. Par contre , les résistances séries associées avec la
grille, le drain et la source ainsi que l’effet canal court associé au dispositif CMOS, limite la
fréquence maximal qui est illustré par la formule suivante [3]
= (I.1)
Où :
est la résistance série de l’électrode de grille
1.3.2. Le canal
C’est la zone constituée de silicium monocristallin, située sous L’oxyde de grille et qui
constitue le lieu de conduction des porteurs minoritaire entre la source et drain. Elle est dopée
p dans les cas d’un nMOSFET, et N pour un pMOSFET [7].
4
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
Il s’agit des zones de sources et de drain, également noté S/D, qui sont les électrodes
latérales. Elles sont réalisées par dopage à dégénérescence du substrat, dans le cas
nMOSFET et pour le pMOSFET. Nous distinguons deux zones : au contact direct du
canal nous trouvons les extensions, ou LDD (lightly Doped Drain), où le dopage est plus
superficiel. Puis de part et d’autre viennent les deux zones ohmiques de source et de drain,
avec des jonction plus profondes qui sont en réduire leur résistivité ; elles sont formées après
la création des espaceurs qui sont en nitrure de silicium (Si3N4) dans les technologies
actuelles, Les électrodes de grille, de drain et de source sont siliciurées ( réaction chimique
d’un métal avec le silicium ) afin de réduire la résistance de al prise de contact. Dans les
nouvelles technologies elles sont faites avec du siliciure de nickel (NiSi) [7].
Il existe quatre différents type, selon qu’il son à canal N ou P ou bien à enrichissement
(normally off) ou a appauvrissement (normally on).
Dans le cas d’un transistor à canal N, appelé aussi transistor (nMOSFET) le substrat est de
type p, et les porteurs majoritaires sont des electrons. Et dans cas du transistor à canal P
(pMOSFET) sur substrat de type N ces porteurs sont des trous.
Les transistors MOSFET à enrichissement sont bloqués sans tension de commande sur
la grille (normally off), ils deviennent passants à partir d’une certaine tension de grille , de
plus en plus | |>| | le transistor MOSFET devient passant.
Les transistors MOSFET à appauvrissement sont passants sans tension de commande sur la
grille (normally on), ils deviennent de moins en moins conducteurs au fur et à mesure que la
tension de commande augmente pour finalement se bloquer au-delà d’une tension de
blocage .
5
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
6
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
= ∗ = (I.2)
Ѱ =2 + + ln (I.3)
7
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
La Figure (1.5) présente le diagramme des bandes du transistor nMOSFET pour les trois
régimes de fonctionnement.
concentrations des porteurs majoritaires et minoritaires sont égales en surface, donc égale à la
valeur de la concentration ni. Le transistor reste toujours bloqué [10].
A une tension (VGS > VTh) les bandes d’énergie se courbent encore plus vers le bas, la
concentration des porteurs minoritaires en surface devient supérieure à la concentration des
majoritaire dans le volume du semi-conducteur.
C’est dans ce régime que le transistor MOS devient passant car cette couche de porteurs
minoritaires met électriquement en contact la source et le drain. En effet, la source et le drain
étant de dopage opposés au substrat leurs porteurs majoritaires correspondent aux porteurs
minoritaires de la couche d’inversion. Ainsi, si on polarise le drain positivement en gardant la
source à la masse, en va attirer les électrons de la couche d’inversion vers le drain et comme
la charge d’inversion doit rester constante sous la grille, c’est la source qui fournira des
électrons en quantité équivalente pour compenser ceux partis vers le drain. Nous avons donc
crée un courant d’électrons de la source vers le drain que l’on peut contrôler via la
polarisation que l’o applique à la grille. Nous obtenons donc un transistor à effet de champ
comme nous l’avions défini précédemment [10].
Les structure MOS ont des oxydes contenant des charges fixes distribuées, de sorte que
même si Vgs = 0, il ya toujours une courbure de bande à la surface du semi-conducteur. En
+
général, ces charges d’origines technologiques du a l’imperfection de l’oxyde ( , K+ ,….)
et sont positives. La tension de bande plate (Flat Band): est la tension de grille Vg qu’il
faut appliqué pour que le potentiel ΨS à l’interface semi-conducteur-isolant (c’est-à-dire la
courbure de bande entre la surface et le volume du semi-conducteur) soit nul (figure 1.4) ou
La valeur de la tension qu’il faut appliquer pour contrecarrer cet effet de ces charges.
= +Ѱ − (I.4)
Est la charge du semi-conducteur. est la capacité de l’oxyde de grille, elle est donnée
par :
= (I.5)
9
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
= − (I.6)
= +Ѱ − (I.7)
= + + (I.8)
La tension de seuil Vth pour un transistor MOSFET serait défini au moment où la hauteur de
la barrière source-canal devient nulle, c’est-à-dire = Ѱ [F]
10
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
Lorsque la tension de grille Vgs est inférieure à la tension de seuil Vth le transistor est
en régime de fonctionnement de faible inversion, le courant qui circule entre le drain et la
source du transistor s’appelle le courant de sous seuil. Le comportement de ce courant a
évolué au fur et à mesure de l'apparition des technologies submicroniques. L’inverse de la
pente sous le seuil S, exprimé en mV/décade, informe de combien il faut diminuer la tension
Vgs pour réduire le courant sous le seuil d’une décade.
= . + + (I.9)
Plus S est élevée plus la commande du dispositif va être dégradée. Le control de sa valeur est
essentiel pour le control du courant Ion et Ioff
= ( )− (I.10)
( )
= (I.11)
11
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
Quand VDS est faible et négligeable devant VGS (figure 1.7.a), l’effet de champ est
quasi uniforme le long du canal, qui se comporte donc comme une résistance indépendante de
la polarisation du drain. Par conséquent, la caractéristique IDS – VDS est linéaire comme
pour une résistance. Le MOS travaille en régime ohmique ou linéaire [9]. Le courant de drain
s’écrit alors :
[ ]
= (I.12)
= → = + + (I.13)
= (I.14)
= (I.15)
D’où est la charge absolue d’inversion et la mobilité effective des porteurs dans le
canal. La mobilité effective dépend de la charge d’inversion elle est donnée par :
= (I.16)
Où µo est la mobilité sous champ électrique faible, et Qc est la charge critique qui caractérise
la diminution de mobilité aux fortes tensions de grille. Une valeur typique de Qc est
10 .
=− ( − − ) (I.17)
μ = (I.18)
= (I.19)
Avec = μ
= (I.20)
13
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
Ou, = + ( + )
= (I.21)
= ( − ) = (I.22)
Le courant de drain ne reste pas constant dans le cas réel, il augmente légèrement même
si rien ne change ni la densité des charges ni la tension à l’extrémité de la source et le point de
pincement. Cela est dû à l’éloignement du point de pincement par rapport au drain, la
réduction de la tension de seuil avec et à l’effet d’avalanche.
= + (I.23)
jonction.
14
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
= = + (I.24)
Où = est la tension d’Early, plus cette tension est élevée, meilleures seront les
Plusieurs capacités parallèles en plus des capacités de jonction sont représentées dans la
figure-13, représente les capacités grille-source et grille-drain qui sont des capacités dus
au débordement du (SiO2) sur la zone de drain et de source
= (I.25)
15
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
C’est une capacité parallèle la capacité grille – canal, lorsque la tension drain-source est
très faible, le canal est uniforme et la capacité grille-canal s’écrit :
= (I.26)
Lorsque le MOSFET fonctionne dans sa zone linéaire, le canal n’est plus uniforme et prend
une allure penchée avec pincement coté drain come il est représenté sure la figure 11-b on
démontre alors que la capacité grille-canal devient égale à :
= (I.27)
= (I.28)
problématiques de bruit lors de la conception de circuits tels que les amplificateurs à faibles
bruits (LNA).
Il existe 3 types de bruit [14] qui, par ordre d’importance en électronique, sont: le bruit
blanc, le bruit en 1/f et le bruit hautes fréquences.
Dans le domaine des basses fréquences, le bruit peut avoir des origines très différentes.
Le bruit dominant pour le courant de drain est un bruit variant inversement
proportionnellement à la fréquence dit bruit 1/f, il affecte donc particulièrement les circuits
fonctionnant à basses fréquences. Cependant 2 types de circuits sont concernés par les effets
du bruit en 1/f dans le domaine RF: les mélangeurs et les oscillateurs.
Ce bruit est de type blanc, et se localise dans les composants ayant une partie résistive.
Son origine vient de l’agitation thermique liée aux chocs subits entre les porteurs dans le
conducteur qui constitue une variation aléatoire du courant et de la tension. Il est aussi parfois
appelé Bruit Johnson ou bruit de Nyquist [24].
Dans le transistor MOSFET deux sources de bruit thermique principales sont
= , = (I.29)
résistivité de l’électrode de grille, le canal représente la source principale du bruit pour cela la
modélisation du transistor MOSFET doit comprendre plusieurs sources de bruit comme
l’illustre la (figure 1.11) [15].
|
= (I.30)
: facteur de bruit en excès, =2/3 canal long ; =2 à 3 canal court dans le cas d’un
nMOSFET
=
: La conductance du canal
Le transistor PMOS présente généralement des valeurs γ inférieures à NMOS. Par
conséquent, il pourrait également être intéressant d'utiliser un transistor PMOS pour autant
que cela soit possible. Afin de simplifier les calculs avec des transistors MOS dans la région
de saturation, (I.30) est réécrit comme [24] :
|
= (I.31)
En haute fréquence le couplage capacitif entre la grille et le canal engendre un bruit dans le
courant Ig bruyant à travers la capacité . Ce dernier est négligeable en basses fréquences en raison
d’un effet de couplage faible il est souvent modélisé comme un générateur de courant reliant la grille à
la source, expression de ce bruit est [16] :
18
Chapitre 1 Technologie CMOS en RF
= (I.31)
le paramètre g est donné par :
= (I.32)
= (I.33)
Le bruit de la grille est lié au bruit de drain. Cette dépendance est exprimée par un
coefficient de corrélation c comme indiqué dans l’équation ci-dessous [24] :
.∗
= (I.34)
.
La valeur de c [24] est 0.395j pour un dispositif à canal long, le couplage entre le bruit de
drain et le bruit de la grille se fait à travers la capacité de la grille, le coefficient de corrélation
est purement capacitif.
1.12. Conclusion
Ce premier chapitre nous permet d’introduire le travail de recherche réalisé dans les
prochains chapitres du manuscrit. il avait pour but de présenter ce qu’est un transistor MOS à
effet de champ ses équations de base et la façon de faire pour extraire ses paramètres
électriques, puis L’évolution de la technologie CMOS, avant d’énoncer les différents effets
parasites apparus et les différents sources de bruits dans les éléments passifs et actif pour les
circuits radio fréquences.
19
Chapitre 2
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
2.1. Introduction
Dans ce deuxième chapitre, on va faire une étude des architectures classiques de
réception radio fréquence, les plus utilisées, où on s’étalera sur leur mode de fonctionnement
et notamment leurs potentiels pour des applications multistandards, leurs particularités ainsi
que leurs performances. Ensuite, on donnera un aperçu sur les différents blocs composants la
chaîne de ces récepteurs, à savoir, l’amplificateur faible bruit, le mélangeur, l’oscillateur...etc.
Par ailleurs, un intérêt particulier sera également donné aux différents paramètres qui peuvent
déterminer la performance de chaque bloc tel que le facteur de bruit, le gain et le point de
compression.
bande étroite fixe. Il est donc difficile de modifier la bande passante du récepteur. Ceci rend le
récepteur superhétérodyne difficilement reconfigurable dans le cadre d’un système
multistandards [20].
Cette architecture présente elle aussi quelques inconvénients qui sont la sensibilité au
bruit en 1/f. Ceci dégrade la sensibilité du récepteur aux basses fréquences, Le
désappariement des voies I et Q cet inconvénient est lié à la topologie du récepteur et L’offset
ou tension continue de décalage en sortie des mélangeurs qui se superpose au signal utile en
bande de base [18]. Malgré ces désavantages, l’architecture homodyne est de plus en plus
utilisée pour sa facilité et son très haut niveau d’intégration, nécessite que peut de composants
externes de plus elle peut être très large bande et sa faible consommation par rapport à
21
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
C’est une solution intermédiaire entre les deux précédentes. Son principe consiste à
transposer le signal RF à une fréquence intermédiaire très faible (de l’ordre de deux ou trois
fois la largeur de la bande utile). Par ailleurs, sa partie analogique est similaire à celle du
récepteur homodyne, (figure II.3). Elle est la plus adaptée pour les systèmes de
communications où la puissance des signaux dans la bande image est faible (Bluetooth,
ZigBee).
22
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
Les nouvelles générations de systèmes de radio communication sont conçues avec des
récepteur multi-bande. Ces architectures doivent pouvoir traiter plusieurs bandes de
fréquences correspondantes à des standards différents nous allons présenter des solutions pour
des applications multistandards. Elles correspondent à des architectures utilisant :
• plusieurs chaînes de réceptions distinctes, où chaque standard est traité de façon
indépendante,
• la mise en parallèle partielle de certaines fonctions RF, les autres étant partagées,
• des fonctions RF partagées pour réaliser une seule chaîne de réception.
Ces solutions peuvent être de type homodyne ou faible IF. Dans notre cas et par rapport aux
comparaisons précédentes, on utilisera l’architecture homodyne.
23
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
Figure II.4 : Architectures utilisant des chaînes de réception implantées parallèlement [20]
Figure II.5 : Architecture avec une chaîne de réception partiellement partagée [20]
Plusieurs antennes et filtres sont employés afin de récupérer des signaux de bandes de
fréquence différentes. Les autres blocs comme le LNA, les mélangeurs sont des fonctions
partagées par tous les signaux reçus. Ils doivent être large bande, multi-bandes pour satisfaire
les contraintes des différents standards (bande passante, sensibilité, dynamique, taux d’erreur
binaire...) [20].
La (Figure II.6) présente une seule chaîne de réception avec les fonctions RF partagées
Les fonctions RF partagées doivent être large-bande, multi-bandes ou reconfigurables.
24
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
Les architectures avec partage partiel ou total des fonctions RF présentent les avantages
suivants en comparaison avec une architecture parallèle :
– une diminution du nombre de blocs, – une intégration facile, – une diminution de la
consommation (moins de composants actifs).
Considérant les besoins du marché, on cherche des systèmes basse consommation ce qui nous
conduit à privilégier les architectures avec partage partiel ou total des fonctions RF. Le
récepteur à réaliser doit gérer jusqu’à cinq standards (Bluetooth, Zigbee, WI-FI...)
simultanément. Par conséquence sa conception en utilisant des fonctions multi-bandes et
reconfigurables est complexe. Afin de simplifier la conception du circuit, on choisit de
concevoir un amplificateur faible bruit très large bande de fréquence avec un gain accordable
via la polarisation.
Après l’étude générale des architectures des systèmes de réception, décrite en (1.3), on
constate qu’elles sont toutes construites autour des mêmes éléments de bases : amplificateur
faibles bruits, mélangeur, amplificateur de puissance, synthétiseur de fréquence, filtres. Dans
ce qui suit, nous identifions le rôle de chaque bloc et nous rappelons les caractéristiques
générales communes en termes de gain, d’adaptation d’entrée, de bruit et de linéarité.
L’amplificateur faible bruit ou (Low Noise Amplifier LNA) est le premier bloc de la
chaîne de réception. Il est généralement placé après le filtre de sélection du canal. Sa fonction
25
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
consiste à amplifier le signal reçu de l’antenne, qui est en général d’un niveau très faible, sans
le déformer et en ajoutant le minimum de bruit possible [23].
2.5.1.2.Mélangeur
2.5.1.3.Filtre
Les filtres RF utilisés dans les architectures de réception ont plusieurs fonctionnalités.
Ils permettent de : Sélectionner la bande de réception, Eviter le repliement du spectre dans le
canal et Rejeter la fréquence image. Le filtre SAW (de l'anglais Surface Acoustic Wave, «
onde acoustique de surface ») se trouve juste après l’antenne, est un système
électromécanique son rôle est de convertir les signaux électriques en onde mécanique par un
cristal piézoélectrique, ensuite il est reconvertit en signal électrique.
2.5.1.4.L’oscillateur local
C’est un dispositif fondamental dans la chaîne de réception, son rôle est de produire des
courants alternatifs périodiques à une fréquence déterminée qui aident à convertir la haute
fréquence reçue de l’émetteur de l’ordre de GHz, en une fréquence intermédiaire exploitable
par le récepteur, Pour des systèmes de télécommunications modernes l’oscillateur est inclus
dans un synthétiseur de fréquence qui permet de stabiliser son amplitude et sa fréquence afin
de diminuer le bruit qu’il peut générer.
L'amplificateur faible bruit (LNA) est une des parties les plus importantes dans une
chaine de réception RF C’est un dispositif électronique dont la fonction première est
d'augmenter les faibles valeurs des signaux en provenance d'une antenne, tout en
rajoutant le moins de bruit possible. Du fait de sa fonction et de sa position, au début de
la chaîne de réception voir (figure II.6), il joue un rôle capital dont les performances sont
26
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
cruciales pour toute la chaîne. Comme le démontre la formule de Friis (équation II.3) [20]. En
effet les signaux en provenance d’une antenne large bande sont :
Les coefficients S11 et S22 traduisent la réflexion du signal incident à chacun des accès
et permettent donc de caractériser respectivement les impédances d’entrée et de sortie du
quadripôle. Le paramètre S12 correspond quand à lui au coefficient de transmission inverse,
c'est-à-dire la puissance transmise du port 2 vers le port 1 du quadripôle. En ce qui concerne
le coefficient de transmission S21, celui-ci est défini comme étant le rapport entre la
puissance transmise et incidente lorsque la sortie est terminée par une charge Z2 dite parfaite.
Ainsi en considérant : Z1=Z2=Z0=50Ω
27
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
= (II.1)
Le LNA est généralement alimenté par une source de 50 Ω qui peut être soit
l'impédance de l'antenne de réception, soit l'impédance de sortie d'une bande sélectionnant le
filtre SAW. Considérons le premier cas. L'entrée SNR est donnée par [23] :
= ∆
(II.2)
= Avec = = (II.3)
Selon la formule de FRIIS [20], le facteur de bruit global d’un système composé de n étages
en cascade, adapté chacun en entrée et en sortie, comme illustré à la (Figure II-8), est donné
en fonction des gains Gi et des facteurs de bruits Fi par la formule suivante [20] :
= + + + ⋯+ …..
(II.4)
28
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
2.6.4. La sensibilité
C’est le niveau de signal minimum qui peut être détectée a l’entrée d’un récepteur avec
un rapport signal-bruit S/N acceptable a la sortie.
Ce qui veut dire que la sensibilité est directement liée au facteur de bruit du récepteur, on peut
déduire le signale d’entrée avec l’équitation (II.3) [23] :
= . .( ) (II.5)
Où : est la puissance du signal d’entrée, est la puissance du brut d’entrée
En notant B la largeur de bande du canal considéré on obtient :
= . (II.6)
= . . .( )[Watt] (II.7)
2.6.5. La linéarité
Un circuit n’est pas un dispositif parfaitement linéaire. Sa fonction de transfert n’est pas
parfaitement linéaire. Soit x(t) un signal d’entrée et y(t) la réponse du système, son
comportement peut alors se modéliser par la relation (II.8) où les sont des coefficients.
Le signal de sortie étant une réplique du signal d'entrée suivant un facteur appelé gain, dont la
courbe présente une zone linéaire et une zone de saturation. Ce gain constant dans la zone de
linéarité chute pour rentrée dans la zone de saturation. Le point où cette chute est de 1 dB, est
appelé « point de compression à 1 dB» [23].
( )= ( )+ ( )+ ( ) …. (II.9)
2.6.5.1.Point de compression a 1 dB
(IIP3) d’un amplificateur RF (LNA) peut être calculé on basant sur l'hypothèse de non-
linéarité de l'équation (II.8) [21]:
,
= + (II.10)
30
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
Il existe plusieurs Topologies d’amplificateur faible bruit. Chacune est définie suivant
le type d’impédance d’entrée qu’elle présente. L’adaptation d’impédance présente une étape
cruciale dans la conception des LNAs afin de garantir un gain élevé, une bonne adaptation
entrée/sortie, un large bande de fréquence et un facteur de bruit faible.
Il existe principalement quatre topologies d’amplificateur qui sont [22] :
= (II.12)
= − (II.13)
Figure II.12 : (a) amplificateur à contre réaction résistive (b) circuit simplifier [22]
Cette structure aboutit à un LNA avec un facteur de bruit en dB important car il s’agit
d’un amplificateur large bande qui intègre le bruit sur toute la largeur de bande. De plus, la
résistance de contre-réaction amène sa contribution sous forme de bruit thermique. Cette
contre-réaction est très néfaste car elle ramène en entrée le bruit de la sortie de l’amplificateur
[22]. Cette méthode est donc améliorée par l’utilisation de la technique (current-reused) cette
technique rend la topologie de contre réaction résistive plus attrayante qui offre une entrée à
bande ultra large (figure II.13). La transconductance globale est maintenant (gmN + gmP) qui
est deux fois plus grande que la contre rétroaction résistive de base pour le même courant de
polarisation. Elle correspond aussi aux avantages de la simplicité de conception, qui offre une
petite surface par rapport à ceux basés sur des inducteurs passifs [25].
31
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
Figure II.13 : Amplificateur à contre réaction résistive (current reuse configuration) [25]
= (II.14)
= + (II.15)
Ainsi, si RS = Rp, le facteur de bruit en dB vaut 3 dB. On comprend aisément que cette
topologie de LNA ne convient pas à notre étude. A titre d’exemple, le facteur de bruit en dB
de ce type de LNA est lourdement dégrader par le bruit thermique issu de la résistance [24].
Le principe du LNA à terminaison 1/gm est illustré (Figure II.15) [24]. Cette solution
est plus compacte que celle à terminaison résistive car l’adaptation d’impédance d’entrée est
effectuée par l’intermédiaire de la transconductance gm du transistor telle que (Equation
II.15) :
= = = (II.16)
32
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
Cependant, le principal inconvénient de cette topologie est le fait qu’il faille adapter en jouant
sur gm, ce qui fixe alors la consommation et cela ne convient donc pas pour des applications
de faible consommation. De plus, cette structure en 1/gm est plus appropriée pour les
transistors bipolaires que pour les transistors CMOS pour avoir de bonnes performances en
bruit.
= + [( + ) − (II.17)
Cette structure, présente une possibilité de trouver un compromis entre une optimisation en
impédance d’entrée et en bruit, permettant ainsi d’avoir un bon gain en tension et un faible
facteur de bruit [78, 90]. De plus, cette topologie est compatible avec les contraintes de faible
consommation et de basse tension [.]. Cependant, cette structure présente un inconvénient
majeur qui réside dans l’utilisation de fortes inductances encombrantes.
Parmi les différent topologies présentes des inconvenant et des avantage notre choix
c’est penché sure celle qui est mieux adapté pour les applications multistandards, large bands
et celle qui est moins encombrante avec une faible consommation d’énergie.
La topologie la mieux adapté c’est a contre réaction résistive.
33
Chapitre 2 Généralités sur les blocs radio fréquences
2.8. Conclusion
Dans ce chapitre, nous avons fait une étude sur les architectures classiques de réception
radio fréquence puis nous avons retenu l’architecture homodyne. Cette architecture nous
intéresse tout particulièrement par sa compatibilité avec les systèmes multistandards, sa faible
consommation, sa simplicité de conception et sa facilité d’intégration. Ensuite, nous avons
présenté plusieurs architectures adaptées aux applications multistandards basées sur
l’architecture homodyne.
En suite nous avons comparé les différents architecture d’amplificateur a pour la conception
d’un amplificateur faible bruit (LNA) multistandard large bande et nous avons retenu
l’architecture source commune à contre réaction résistive.
34
Chapitre 3
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
3.1. Introduction :
les travaux menés dans ce chapitre visent à faire l’étude puis l’extraction des paramètres
et simulation d'un amplificateur faible bruit (Low Noise Amplifier-LNA) Multistandard
reconfigurable dédiée au différents applications radio cognitive comme la téléphonie mobile
de 3ème et de 4ème génération (3G et 4G), notamment CDMA, le WCDMA/UMTS et LTE
donnant lieu à une meilleur gestion et allocation des fréquences, au GPS, DCS, PCS,
WLAN et WiMAX implémenté avec la technologie CMOS 0.13 μm, pour qu’on puissent
comparer les résultats analytiques avec celles de la simulation. Ses résultats sont appelé à
satisfaire à des exigences du cahier des charges, donc une large fréquence des opérations
allons jusqu’à 3.4 GHz, une figure de bruit (Noise Figure - NF) inférieur à 4dB et idéalement
très proche de 3.8dB, un gain en tension (G) supérieur à 20dB, une très faible consommation
0.97mW sous 1.2V et une adaptation d'impédance telle que, l'impédance du circuit vue de
l'entrée ou de la sortie présente soit de 50Ω en entrées comme en sorties.
3.2. Le rôle d’un amplificateur à faible bruit LNA reconfigurable :
Nous nous intéressons ici plus particulièrement au frontal (front end) du système, c'est-
à-dire au premier étage analogique qui traite les signaux reçus en sortie de l’antenne (figure
III.1). Ce frontal est composé d’un amplificateur faible bruit LNA, d’oscillateurs et de
mélangeurs notre étude c’est intéressé au LNA. Le signal reçu par un récepteur radio à un
seul trajet, piloté par un amplificateur à faible bruit (LNA), en tant que premier bloc dans la
chaine de réception, il est nécessaire de concevoir un LNA reconfigurable pour transformer
les équipements radio statiques en équipements radio dynamiques capables d'adapter
leurs bandes de fréquence utilisées, et de concevoir des récepteur radio cognitive.
35
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
= (III.1)
Est :
,
= (III.2)
, ,
Où :
36
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
, Représente la résistance de charge au nœud Y (Figure III.2), dans le cas ou les capacités
par :
= , − ,
̸̸ ,
̸̸ , (III.3)
Où :
, Représente la transconductance de sortie du transistor
= + (III.4)
Où :
Est le facteur de qualité de l'inductance associé à la perte série de l’inductance qui est
donné par :
{ }
= { }
(III.5)
Où :
{ } Est la partie imaginaire de l’impédance de l’inductance
{ } Est la partie réelle de l’impédance de l’inductance qui représente la résistance série .
On à : = +
La fréquence de résonance est donné par :
= (III.6)
√
Le Gain du LNA pour les autres fréquences hors la fréquence de résonance est calculé avec
l’équation (III.9), on peut calculer Le Gain de l’étage par :
=− , ( ) (III.7)
37
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
= ̸̸ ̸̸ (III.9)
( )
= (III.8)
=
Donc on peut aussi calculer le Gain en tension du LNA avec l’équation suivante :
= , − ,
̸̸ ,
̸̸ , (III.9)
Il existe plusieurs sources de bruits dans ce circuit, parmi les quelles les pertes du réseau
d’adaptation en entrée la résistance de contre réaction et la résistance produit le bruit
thermique bien que elle réduit le Gain en bande passante, une deuxième source de bruit est les
transistors de l’étage 1 (M1 et M2) et de l’étage 2 (M3) le bruit thermique du drain et le bruit
induit par le grille sont les principales sources qui contribuent au bruit total du MOSfet, une
autre source de bruit c’est les pertes en série et les perte en parallèle de l’inductance intégrée
qui présente un facteur de qualité donc( ) présente un bruit thermique importants.
Le Facteur de bruit de LNA est donné par l’équation suivante :
, , , ,
= + + + + (III.10)
, , , , ,
Le LNA doit être adapté en sortie comme en entrée pour cela on à besoin d’un
troisième étage représenté dans la (figure III.3), appelé un tampon de Tension ou (Buffer en
anglais), ce circuit est très utile dans la chaine de réception son rôle est d’assurer un
maximum de puissance à la charge et une impédance de 50Ω à la sortie (impédance d’entré de
l’étage suivant), Cette topologie fournit un gain et une impédance de sortie stables sur une
38
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
large bande de fréquence, Cette architecture de buffer garantit enfin la stabilité de l’ensemble
LNA+Buffer.
39
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
Le schéma complet du circuit est représenté dans la (Figure III.5). Le schéma à été
saisie sur (virtuoso schématic editor) La méthode de la (Figure III.4) nous a permis de
dimensionner les transistors et les composants passifs d’entrée, selon les valeurs qui nous
donnent les résultats spécifié dans le cahier des charges. On peut noter que :
- Les transistors NMOS sont nettement plus petits que les transistors PMOS parce
que la mobilité des porteurs est plus faible pour les PMOS.
- Le PMOS à été deviser en 25 transistor en parallèle d’une largeur de 2μm avec
deux transistor factice (Dummy) de chaque cotés et le NMOS aussi à été deviser
en 25 transistors en parallèles d’une largeur de 1μm avec deux (Dummy) de
chaque coté, pour réduire la largeur de la grille.
Pour se rapprocher de la réalité, les simulations on été réalisées avec des modèles de
composants du constructeurs STMicroelectronics. Les composants choisis sont :
40
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
Le schéma du circuit à réaliser est terminé. Toutefois, il faut s'assurer qu'il n'y a pas eu
d'erreur de saisie de schéma ou de saisie de paramètres. Pour valider le circuit, on utilise la
simulation. Or le schéma du circuit à réaliser ne suffit pas pour la simulation: il faut alimenter
le circuit, et appliquer des valeurs électriques sur les entrées (RF et DC) avec des éléments de
41
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
simulation pure. Pour cela on doit définir tous les nœuds (pin) du LNA (IN, out, vdd, vctl,
vbias<1 :3>, gnd) et créer un symbole englobant tout le circuit.
Pour simuler le circuit qui à été réaliser dans la (Figure III.5), nous allons créer une
cellule (Tb-LNA) avec une vue schématique ce la en instanciant le symbole du LNA en suit
il faut alimenté le LNA à travers les nœuds (pin) avec des générateurs de tension continue
(DC) qu’on peut instancier à partir de (analogLib) comme il est présenté dans la (figure III.6)
un port à l’entrée (IN) qui est un générateur de polarisation statique de 1V avec une
résistance de 50Ω pour vérifier le fonctionnement statique du circuit, une charge capacitif a la
sortie d’une valeur 20F, alimentation Vdd de 1.2V, V contrôle ou Vctl = 900 mV, Vbias<1>
=400 mV, Vbias<2> =720mV Vbias<3> =350 mV.
Figure III.6 : schéma Test du LNA alimenté pour une simulation (TB_LNA)
42
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
En suite on doit définir le type de balayage prenant exemple pour l’analyse SP (figure III.8) :
- Select Ports
- Swep variable : Frequency
- Swep range : start= 0.1Ghz ; Stop=10Ghz
- Swep type : Points per decade = 100
Maintenant il reste à ajouté les expressions et les nœuds que nous voulons tracer dans la
fenêtre (Setting Outputs), par exemple pour le gain en tension nous devons prendre le nœud
de sortie (Vout) et le nœud de l’entrée (Vin) puis on ajoute l’expression ((db20 ((VF’’/out’’) /
(‘’VF/ IN’’)) dans la boite de dialogue Expression comme il est illustrer dans la (figure III.9).
43
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
Maintenant il nous reste qu’à définir les variables de l’ADE dans la fenêtre (Design
variable). Dans notre cas on à la variable V contrôle (Vctl LNA) qui est nécessaire pour
ajuster la fréquence de résonance du circuit LC (LC-tank) on variant le (VARACTOR) on
injecte une valeur de (Vctl=900mV) pour une fréquence de résonance de 2.4Ghz.
On lance la simulation en cliquant sur Run puis on visualise les résultats.
44
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
= = 1165.63 .
= = 1205.1 .
= = 2822.85 .
45
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
Nous avons aussi besoin d’effectuer d’autres simulation pour qu’on puisse faire le calcule
analytique, comme le facteur de qualité de l’inductance et les paramètres technologique du
MOSfet ( et ).
3.5.3.2. Facteur de qualité de l’inductance :
Pour simuler le facteur de qualité de l’inductance qu’on a utilisé dans notre circuit
(LNA) nous allons faire un petit schéma sur (virtuoso schématic editor) de cadence, on
instancie l’inductance utiliser dans notre circuit d’une la valeur = 5 . 10 puis on
l’aliment avec un port, on ouvre la fenêtre (ADE) puis on configure une analyse SP, on lance
la simulation. Pour visualiser la partie réel et la partie imaginaire et le facteur de qualité
nous allons vers (Results > direct plot > Main From) la fenêtre (direct plot) apparait puis on
choisit la fonction ZM puis on sélectionne ce que on veut visualiser (Real, Imaginary)
comme il est indiqué dans la (figure III.11).
46
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
47
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
Figure III.13 : Résultat de simulation Gain en tension du schéma LNA avec (ADE)
Le gain, augmente jusqu’à un maximum de 20.86dB en prenant en compte tous les paramètres
de la technologie et toutes les sources de bruit du LNA.
Maintenant nous Allos procéder a l’application numérique des équations (III.3) et
(III.9) en utilisant les paramètres extraites puis on comparait avec les résultats de la
simulation, (figure III.14).
25
20
15
10
0
0 0,5 1 1,5 2 2,5 3 3,5 4 4,5 5
-5
Figure III.14 : résultats analytique du gain en tension (LNA) et comparaison avec la simulation
48
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
différence peut s’expliquer par une modélisation de tous les parasites des composants sur
cette bande de fréquence pare le logiciel de simulation (ADE) de CADENCE IC.
La simulation de la résistance d’entrée est trouvé par (Results → Direct Plot → Main Form)
en choisis ZP ça valeur est de 79.56 Ω (figure III.) les deux résultats sont proches de la valeur
spécifier 50Ω donc le LNA est bien adapté en entrée
49
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
50
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
instancie le buffer « dans son symbole » et on l’alimente avec un port à l’entrée et un autre à
la sortie (PORT0 et PORT1) et vdc=600mV, vdd=1.2V en fin gnd au potentiel le plus bas.
Pour la simulation nous allons d’abord créer un symbole englobant tous le buffer puis
en lui ajoute les pin d’entrée sortie et DC (in, out, vdd, vdc, gnd) puis en branche un port a
l’entrée un autre a la sortie et en branche toutes les alimentation (vdc et vdd), en fin on ajoute
les types d’analyse (DC et SP) puis on fixe la valeur de la capacité de charge et la taille des
transistors est l’alimentation vdc du M2: CL=5pF, M1 (W=5µm et L=0.13μm grille=12+4
dummy) M2 (W=5µm et L=0.13μm grille=2+ 4dummy), vdc=600 mV. Les résultats des
simulations sont représentés dans la (Figure III.18).
L’allure du gain du Buffer est suffisamment plate pour ne pas venir influencer l’allure
du gain du LNA sa valeur et de (-915.79mdB). Un large courant de polarisation pour
maximiser le gm ainsi qu’une tension d’alimentation (800 mV) permettent respectivement
d’obtenir une très bonne linéarité. Le coefficient de réflexion de sortie S22 est de (-14.02
dBm), compte tenu du gain du LNA, permet de rendre le buffer invisible lors de la
simulation.
Cette architecture de buffer garantit enfin la stabilité de l’ensemble LNA+buffer.
51
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
Pour simuler le LNA et Buffer ensemble, nous allons assembler tous les circuits bloc1
(étage 1) + bloc2 (étage 2) + le buffer (étage 3) puis on ajoutant les Pins RF entrée et sortie
et alimentation DC puis on instancie le circuit (LNA+buffer) en créant un symbole général
(Figure III.19) avant de procédé a la simulation on doit d’abord brancher un port à l’entrée et
un autre a la sortie puis on alimente vdd= 1.2V, vctl= 900 mV, vdc=600 mV, Vbias<1 ;3> ,
on lance la simulation avec les mêmes paramètres de la simulation précédente du LNA les
Résultats de la simulation sont présenté si dessus :
52
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
Figure III.20 : Résultat de simulation du Gain en tension et figure de bruit du LNA + Buffer
3.9.2. Paramètres S :
53
Chapitre 3 Etude théoriques et simulation d’un LNA reconfigurable
3.10. Conclusion :
Dans ce chapitre nous avons étudié le circuit source commune complémentaire à contre
réaction résistive en technologie CMOS 130nm de STMicroelectronics puis nous l’avons
simulé sur le logiciel de conception des circuits intégrées CADENCE IC avec quatre analyses
(AC, DC, SP, NF). Les résultats analytique et de simulations valide la possibilité de concevoir
ce LNA avec cette technologie et que le circuit ainsi conçu peut passer a la dernier phase qui
est la phase physique que nous allons expliquer dans le chapitre suivant.
54
Chapitre 4
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
4.1. Introduction
Dans ce chapitre nous allons présenter notre partie pratique, dessin des masques de
l’Amplificateur faible bruit (LNA) étudier dans le chapitre précédent avec la technologie
CMOS 130 nm sur l’outille de conception et de simulation (Cadence IC Virtuoso Layout
Editor) (ANEXE 1), c’est l’étape la plus importante et la plus langue dans la conception de ce
circuit. Ce la est du au nombre de règles technologique qu’il faut respecter afin de ne pas
réduire les performances du circuit et assurer son bon fonctionnement. Notre but est de
minimiser la surface de silicium occupé et de bien choisir le placement des composants pour
un bon fonctionnement du circuit pour répondre aux contraintes des Récepteurs faibles
consommations et très large bande pour des applications multistandards reconfigurable (Gain,
Facteur de bruit et bruit)
55
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
transition des transistors. La contre partie est la réduction de l’excursion en tension possible
du transistor.
56
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
avec son environnement. La largeur W du transistor est définie par celle du masque de la
couche active.
L’oxyde de grille, puis sa gravure et le dépôt du polysilicium de grille sont ensuite
réalisés. Les différents accès du transistor (grille, drain et source) sont reliés par des contacts
métalliques au premier niveau de cuivre, puis aux différentes couches métalliques par
l’intermédiaire des Vias.
(La figure III.2) représente le LAYOUT d’un transistor avec plusieurs doigts de grille
qui comporte plusieurs transistors PMOS en parallèle avec une langueur W= 2μm, son
schéma électrique représenté dans (la figure III.3).
Les dispositifs MOS modernes sont entourés d'une "tranchée" peu profonde afin d'éviter
la formation d'un canal entre des transistors adjacents. Appelé "isolation par tranchée peu
profonde" (STI), cette structure est remplie d'oxyde (SiO2) et présente un coefficient de
dilatation thermique différent de celui du silicium. En conséquence, pendant les étapes de
fabrication, le STI et la zone de silicium inclus se dilatent et se contractent différemment.
Cette "contrainte" induite par (STI) modifie les propriétés électriques du transistor MOS,
introduisant une erreur substantielle dans ses caractéristiques I / V [26].
Pour réduire le stresse induit par le (STI) on ajoute des doigts de grille, drain et source
factices « Dummys fingers » voire la figure suivante (figure IV.4) et il est aussi possible
d’améliorer la structure grilles parallèles en rajoutant des transistors factices (dummy
transistors) afin d’avoir une bonne symétrie [26].
Figure IV.4 : Transistor multi finger avec dummy avec (STI) [26]
La capacité MIM (Métal Isolant Métal) et un composant actif intégrer présent dans la
bibliothèque de la technologie qu’on à utiliser, c’est une capacité verticale qui correspond
mieux aux besoins de forte densité d'intégration. Elle est constituée de deux électrodes en
57
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
aluminium une inferieur et l’autre supérieur, d’un isolant en SiO2 qui est utilisé comme
diélectrique Formé par oxydation thermique après avoir poser un masque pour l’ouverture
d'un point de contact de la couche inférieure, ce masque est le « padopen MIM » . La capacité
ℇ
par unité de surface vaut = où ℇ est la permittivité relative de l'oxyde de silicium et d
Figure IV.5 : Coup transversal et dessin de masque (Layout) d’une Capacité MIM
58
Chapitre 4 Méthodologie de dessin de
des masques du LNA
(a)
(b)
Figure IV.6 : (a) représentation symbolique d’une diode varicap
(b) LAYOUT d’un VARACTOR
59
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
60
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Toutes piste de longueur L peut être considérer comme une résistance leurs valeurs
dépend de la résistivité du matériau et de la section du conducteur, le matériau qui présente
une grande résistivité est le poly-silicium Les résistances intégrées sont réalisées par le dépôt
d’une fine couche de matériau résistif sur un substrat diélectrique. Des contacts métalliques
sont ensuite réalisés aux extrémités pour permettre la connexion avec d’autres circuits. La
(Figure III.9) présente le masque d’une résistance en poly-silicium intégrée avec la
technologie CMOS 0.13 μm utilisé dans ce travail.
Néanmoins le design Kit présente plusieurs modèles de résistances intégrées qui sont :
Unsalicided N+ Active Resistor, Nwell GO2 under STI Resistor, RHIPO Resistor et
Unsalicided RPLDD active resistor.
Une couche mince de matériau résistif est caractérisée par sa résistance carrée, définie comme
la résistance équivalente d’un carré de matériau de résistivité ρ ayant une épaisseur h[26] :
= ,( ) (IV.1)
∗
= .
= ∗ ( ) (IV.2)
61
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Pour notre conception, nous avons utilisé des pads pour effectuer des mesures sous
pointes a la fin de la fabrication du circuit. On a utilisé deux sort de Pads les premiers se sont
les Pads I/O (entrée/sortie) pour les connexions (RF) et (DC) et les Pads gnd pour la masse,
ces pads présentent une surface de 80 µm x 75 µm. Nous avons choisi ces plots afin de
minimiser le bruit et également pour protéger le circuit contre les décharges électro statiques
(ESD) [6]. Ces pads sont ceux fournis par le Design-Kit et respectent un ensemble de règles
de dessin, comme l’utilisation de sous couches métalliques afin de consolider l’accrochage du
pad au silicium. La (figure IV.10) suivant illustre un exemple du pad gnd en 6 couches de
métallisation et un Pad I/O avec 2 couches de métallisation avec une vue de dessus Layout.
Figure IV.10 : Coup transversal, LAYOUT et Schématique des Pads I/O et gnd
62
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
M6
M5
M4
M3
M2
M1
actifs
vias
Un diélectrique situé entre les Métaux joue un rôle prépondérant afin de les isolées les
un des autres, pour faire la connexion entre les niveaux de métallisation nous devon poser un
(VIA) entre chaque de niveaux de métallisation que nous volons faire connecté comme il est
indiqué dans la (Figure IV.11).
Un via est un trou métallisé qui permet d'établir une liaison électrique entre deux
niveaux métalliques ou plusieurs niveaux, par exemple le VIA (M1_ ou M1_ ) permets
d’établir la connexion entre le métal 1 et (Drain, Source et Substrat), le VIA (M1_ Poly)
connexion entre le métal 1 et la grille du transistor, le VIA (M1-M6) connexion entre métal 1
et les autre métaux jusqu’au métal 6, le (Padopen)
Nous observons sur la (figure IV.12) les différents niveaux. Le premier est le niveau
d’isolation symbolisé par « les tranchées d’isolation peu profondes » (STI) (Shallow Trench
Isolation). Ensuite, le niveau de la grille est formé. Nous distinguons également le niveau
PMD (Pre-Metal dielectric), Ensuit, le niveau métal. Dans cet exemple, on a 6 niveaux
métalliques en cuivre et niveau 7 aluminium (M1, M2, M3, M4, M5, M6, M7). Pour éviter
des problèmes électriques entre les différents métaux, un diélectrique est déposé pour assurer
63
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
cette fonction, il est appelé généralement IMD (Inter Metal Dielectric). Généralement,
l’oxyde de silicium est souvent le plus utilisé ou le nitrure de silicium .
Les différents niveaux d’oxydation sont réalisés avec différents techniques, la première c’est
l’oxydation thermique sèche par l’oxygène qui suive la réaction suivante + =
réalisée à des températures allant de 850 à 1200°C et s'effectue de préférence de manière lente
et régulière. Ce procédé permet d’assurer l’uniformité et la pureté du film fin qui est utilisé
pour l’oxyde de grille des transistors, en suite Les couches d'oxydations épaisses sont quant à
elles réalisées grâce au procédé d’oxydation humide. Cette technique permet une croissance
de couche d'oxyde beaucoup plus rapide utilisé pour la réalisation de l’oxyde entre les
niveaux de métallisation.
64
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
On trouve des capacités parasites à divers niveaux du layout. Tout d'abord, il existe
des capacités parasites internes aux cellules élémentaires. Par exemple, si l'on observe le
layout des transistors présentés à la (figure IV.1), on constate que certaines pistes de métal,
appartenant au drain ou à la source, croisent les pistes de poly-silicium de grille. Etant
séparées par un oxyde, ces deux couches technologiques, l'une en métal et l'autre en poly-
silicium, introduisent de faibles capacités parasites entre les nœuds du drain ou de la source,
et le nœud de la grille. De même, pour la technologie (HCMOS9GP) qui comporte plusieurs
niveaux de métallisation, le croisement de deux pistes métalliques, elles aussi séparées par un
oxyde, entraîne un couplage capacitif des nœuds impliqués. Le phénomène a lieu de la même
façon pour deux pistes d'une même couche technologique qui se suivent en étant proches.
Comme dans le cas des capacités, on trouve des résistances parasites internes aux
composants eux-mêmes. Les résistances d'accès à la grille, au drain ou à la source (transistor
MOS). De plus, le métal et le poly-silicium (parfois utilisés comme piste de routage) ont
une résistivité non négligeable, qui se traduit, si les pistes sont longues (exemple : les pistes
d'alimentations), par des résistances dont il faut tenir compte dans le schéma électrique
final.
65
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
66
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Sachant que chaque fil de routage génère des résistances et des capacités parasites,
plus au moins importantes en fonction de sa résistivité et de sa longueur, la contrainte de la
minimisation de la longueur d'interconnexion est nécessaire pour réduire les effets capacitifs
et résistifs générés par les fils, et ceci pendant la phase de routage. Il faut également router
avec des fils moins résistifs (comme métal5, métal6...), plutôt qu'avec des fils plus résistifs
(comme le poly-silicium et Metal1, Métal2…).
4.7.1.3. Contrainte sur la largeur des fils (fils à fort flux de courants)
Les largeurs des fils minimales sont données automatiquement par les règles de dessin
(DRC), et ceci pour la technologie (HCMOS9GP). Mais il y a des fils qui nécessitent des
largeurs supérieures à celles données par les règles de dessin, ceci pour de diverses raisons.
Les fils d'alimentations (Vdd, gnd) du circuit engendrent un flux de courant continu très
élevé. Il est donc indispensable d'utiliser des largeurs de fils assez importantes.
D'autres branches de circuit font également l'objet d'un flux de courant relativement
important, mais ce dernier n'est pas toujours continu. Il faudrait néanmoins élargir
moyennement ces fils de routage, pour éviter l'effet de "fusible"(coupure des fils) qui peut
survenir après un long fonctionnement. Les nœuds qui subissent un flux de courant élevé sont,
par exemple, les nœuds de sortie d'amplificateur ayant une capacité de charge très élevée.
67
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Un nœud bruyant (exemple : la piste d'alimentation Vdd, une piste branchée sur une
charge inductive...) ne doit en aucun cas se retrouver couplé à un nœud sensible (exemple :
l'entrée de l’amplificateur LNA). Il est donc essentiel que les pistes concernées ne se croisent
ni, si possible, se côtoient. De même, les composants élémentaires impliqués doivent être
éloignés les uns des autres. Pour éviter le couplage des nœuds on à utiliser les niveaux de
métal nombre pair exemple (métal-2 métal-4 métal-6) pour le routage des piste les plus
sensibles.
Lors du routage du circuit on doit laisser un espace assez grand entre les composants,
pour que les fils de routage puissent passer pour connecter les transistors et les autres blocs
entre eux sans difficulté, toute en asseyant de minimisé la surface totale du circuit, l’une des
contraintes classiques de tous circuits intégrés analogiques. Cette contrainte est davantage
liée à des problèmes économiques (coût de fabrication), plutôt qu'à des problèmes électriques
ou fonctionnels. Il est donc important pour nous de prendre en compte cette contrainte sans
pour autant entraver celles à caractères fonctionnelles ou électriques, c'est à dire les plus
importantes [6].
68
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
obtenue par des éléments de “niveaux hiérarchiques” différents (un transistor, un étage, un
amplificateur...) et que les interactions entre ces différents niveaux influent très fortement sur
les caractéristiques globales du circuit (bruit, bande passante, gain...). Le logiciel Cadence
nous permet de vérifier et simuler chaque sous-blocs implanté individuellement à fin de
prélevé leur influences au système et de facilité la détection des sources de parasites pour
enfin porté des modifications plus précises.
69
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Le placement des composants reste encore interactif. Celui-ci, basé sur une analyse de
contraintes électriques et topologiques à respecter. Il dépend complètement de l’expertise
des concepteurs.
4.7.2.3. Routage
Le routage des composants entre eux est réalisé d'une façon manuelle, en tenant compte
de toutes les contraintes analogiques.
Le routage des blocs entre eux est réalisé d’une manière à compacter suffisamment pour
réduire la surface totale du circuit final, Etant donné que le placement des composants est
réalisé de telle façon que l’espace de routage des pistes soit suffisamment large. Nous avons
donc compacter le circuit en cohérence avec la surface de routage, c’est à dire, qui respecte
les contraintes analogiques et géométriques déjà prises en compte.
70
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
a) Sous-bloc1 (Current-Reuse)
Cette partie et la plus délicate lors du routage du moment qu’il faut minimiser au
maximum les parasites de ce sous-bloc et que un nombre importants de règles de dessin des
couches du layout sont imposées par le fondeur. Il y a des règles liées à la technologie de
fabrication et à la fiabilité de fonctionnement du circuit: ce sont les règles de conception
(Design Rules - DR). D'autres règles sont liées à la sécurité électrique du circuit: ce sont les
règles électriques (Electrical Rules - ER). Ces règles sont internes à une couche (longueur
minimale, espacement minimal…) ou entre couches (inclusion, exclusion, espacement
maximal, espacement minimal …).
71
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Pour le routage on a commencé par instancier un transistor PMOS dont les tailles
corresponds à celle du schématique (25 finger + 4 finger pour les tamises « Dummy » au total
29 finger) (W=2 μm, L=0.13 μm), puis un NMOS (25 finger + 4 finger pour les tamises au
total 29 finger) (W=1 μm, L=0.13 μm) en suit en instancier des Via (M2-Poly) pour relier les
25 grilles entre elle à leurs extrémité par un rail de ce via, les (dummy) sont connecté
séparément avec Via(M1-poly) puis on dessine un anneau en Métal2 qui établie le contacte
entre tous les doigt de grille du PMOS on fera la même chose pour le NMOS.
Pour que les dispositifs NMOS fonctionnent correctement, il faut que le substrat se situe
au potentiel le plus bas ; dans notre cas gnd!, nous allons donc entourer le nmos de prises de
contacts sur le substrat. Il s’agit de contacts P+ (PTAP). On en place plusieurs barres, afin de
créer un anneau de polarisation du substrat à (gnd!). Ensuite, il faut polariser le caisson
NWELL du PMOS à un potentiel supérieur ou égal à celui du Drain, et au plus au potentiel le
plus haut de l'alimentation: dans notre cas vdd!. Il faut placer des contacts (NTAP) sur le
NWELL. Le NWELL du pmos instancier est trop petit pour pouvoir accueillir les contacts. Il
faut donc placer les contacts, puis les recouvrir d’un deuxième NWELL.
Pour le routage du drain et de la source on à utilisé le métal 4, sachant que le substrat du
PMOS est connecté au (Vdd), le substrat du NMOS est connecté au (gnd), alors les sources du
PMOS sont brancher vers leurs substrat et les drains vers (OUT), par contre les sources du
NMOS sont brancher vers (OUT) et les drains vers gnd ou substrat du nmos.
Il reste qu’à ajouté des pins (in1) grille pmos ; (in2) grille nmos ; (vdd) substrat pmos ;(gnd)
substrat nmos ; (out) drain nmos+pmos, puis on lance la vérification DRC puis LVS
72
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Puis à la fin on fait extraction des parasites et on lance (poste layout simulation PLS), si
les résultats sont pas satisfaisant on modifie le layout sinon on passe à un autre sous-bloc.
Cette partie est aussi importante lors du routage, ce circuit représente l’alimentation de
l’amplificateur de (l’étage 1) qui possède deux sources d’alimentation bias (Vbias1 et Vbias2)
et l’entré du LNA (IN) vers M1 et M2.
Le placement des composants doit être symétrique pour évité le problème de l’offset et la
distribution du signal de l’antenne vers M1 et M2 avec un minimum de bruit possible.
La (figure IV.17) présente le schématique et le layout du sous-bloc2 (BiasIn).
On à commencé le routage par le instancier une capacité et une résistance correspondants au
schématique, puis on à entouré la résistance avec le contact (PTAP) au substrat (gnd),
l’entrée de la résistance avec metal2 a travers via (M2-M1) pour (vbias<2>) sa sortie avec
métal6 a travers via (M6-M1) pour (out1) pour la deuxième moitié il suffit de instancier la
première moitié et de la placé d’une façon a obtenir une bonne symétrie, on établie la
connexion entre les deux moitié C1 vers C2 avec (alucap-mim), C1 vers (out2) et C2 vers
(out1) avec (métal-6) vers alucap mim le contact entre les deux niveaux ce fait avec le
(padopen-mim)), l’entrée (IN) avec métal6 vers (alucap-mim) du (top C1+C2) le contacte ce
fait avec (padopen mim).
A la fin du routage on ajoute les pine comme ils sont montrée dans la (figure IV.18) on
à (IN) pour l’entrée, (gnd) pour la masse, (vbias<1 :2 >) pour l’alimentation 1 et 2 , (out1 ,2)
vers (in1,2) du sous-bloc1, puis on lance la verification (DRC) puis (LVS) si ya pas d’erreur
73
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
on fait extraction puis en lance (PLS) si le circuit présente de bonne performances en passe
au routage du sous-bloc3.
c) Sous-bloc3 (Feedbak)
Il reste qu’à ajouté la résistance de contre réaction pour le circuit à fin de terminer le
premier étage (bloc1), le routage de cette partie est facile on à qu’une seule résistance et une
capacité, l’entrée de la capacité (TOP mim) et branché vers (IN) avec (alucap mim) sa sortie
branché vers (out) avec (métal6) la connexion entre (boot mim) de la capacité et (métal6)
s’effectue avec un rectangle d’alucap interconnecté avec (padopen mim) vers métal6, on
entoure la résistance de contre réaction avec PTAP avec (métal1) ou dessous comme le
démontre la (figure IV.19) il reste qu’à ajouté les pins et vérifier DRC et LVS puis PLS.
Une fois que tous les sous-blocs du premier étage sont terminer on peut les assemblé
et cela en commence au niveau schématique puis on ouvre une nouvel fenêtre (virtuoso layout
editor) et on instancier directement les sous-blocs dans la librairie pour les placés d’une façon
plus compacte possible et d’une parfaite symétrie comme le montre la (figure IV.20).
Le routage du (out1, out2) vers (in1, in2) des MOSFET s’effectue avec le métal6 le
contact s’établie avec (Via M6-M2), le routage du sous-bloc (Feedbak) vers (IN) et (out) avec
(alucap mim) le contact vers métal6 s’établie avec (padopen mim).
Une foi que le routage est fini on ajoute les pins puis on lance DRC on corrige les
erreurs de dessin puis on lance LVS si on ne détecte pas d’erreur on passe à extraction des
composants parasites et on lance post layout simulation (PLS) au final on lance la simulation
74
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
(ADE) du circuit avec les parasites et on compare les résultats avec la simulation du
schématique, si les résultats sont satisfaisants on passe au routage de l’étage 2 (bloc2).
Pour le routage du bloc-2 on va suivre les mêmes étapes que le premier bloc, au début on
décomposer le bloc-2 en trois sous-bloc (figure IV.21) qui sont :
75
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
a) sous-bloc-1 (In-M3)
Qui est l’entrée de l’étage-2, il est composé d’une capacité d’entrée, une résistance
d’alimentation (vbias<3>), le routage de ce bloc ce fait avec métal-6 pour l’entrée, la sortie
et l’alimentation, la liaison entre (métal-6) et (alucap-mim) de la capacité ce fait avec
(Padopen-mim) on ajoute des pins entrée-sortie (in, out3 et vbias).
b) Sous-bloc-2 (M3)
c) Sous-bloc-3 (LCtank)
C’est la charge (LC) de l’amplificateur, il est composer d’une inductance et d’un varactor.
Le routage de ce sous-bloc commence par placer l’inductance intégrée qui est le composant le
plus volumineux qui possède trois pates la premier pour (vdd) la deuxième pate avec (métal-
2) pour (gnd) le routage ce fait avec (métal-1) la connexion entre (métal-2 et métal-1) ce fait
avec un (via m2-m1), la troisième pate vers l’anode du varactor en suit vers (OUT) router
avec (métal-6).
La (figure IV.22) englobe les trois sous-blocs de l’étage-2 schématique et layout :
76
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Une fois qu’on a finis le routage des trois sous-bloc et que on a fait vérification DRC
et LVS puis extraction PLS on passe à la simulation (ADE) avec parasites pour chaque
sous-bloc en suite on vérifie les résultats si ils sont satisfaisants on passe au routage de
l’étage-2 (bloc-2), on commence par assemblé les trois (sous-blocs) au niveau schématique
comme il est indiqué dans la (figure IV.21) puis on crée un symbole appelé (bloc2) avec pins
entrée sotie et alimentation(in, out, vdd, gnd, vctl, vbias<3>) puis on vas procédé à la création
d’une nouvelle fenêtre (Virtuoso layout editor) le routage commence par instancier les trois
sous-bloc directement dans la Librairie et les placer puis on les interconnectent avec du métal-
6 pour les pistes (RF) et (DC) et métal-1 pour (gnd), pour amélioré le performances du circuit
on ajouté du (alucap-mim) sur toutes les langues pistes (métal-6) interconnecter avec
(padopen-induct) cela pour but de diminuer les résistances parasites. Le layout général du
(bloc-2) et représenté dans la (figure IV.23)
77
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Il reste qu’à assembler les layout des deux blocs finis (bloc1+bloc2) pour obtenir le
layout du LNA complet, cette étape et facile du moment que le plus difficiles c’est le routage
des (sous-blocs), avant de commencer le routage en commence d’abord par instancier les
deux blocs et les assembler au niveau schématique, on relie bloc-1 avec bloc-2 (« out » du
bloc-1 vers « in » bloc-2), puis en ajoute les pins (IN, out, vdd, vbias<1 :3> et gnd) comme il
est indiqué dans la (figure IV.24 « a »), au final on crée un symbole regroupant (bloc-1 +bloc-
2) qui forme le LNA. le test (TB_LNA) est indiqué dans (chapitre 3) (figure III.6).
a) Routage
Pour le routage on à commencer par créer une nouvelle fenêtre (Virtuoso Layout
Editor), en suite on à instancier les deux blocs déjà finis puis on les à placer d’une manière à
optimiser au maximum les langueurs des pistes et d’éloigner l’entrée et la sortie RF l’un de
l’autre pour facilité le positionnement des pads et d’éviter le couplage des nœuds.
L’interconnexion entre les deux blocs ce fait avec métal-6 pour les pistes RF et DC et
métal-1 pour (gnd), on a aussi ajouté du l’aluminium (alucap-mim) sur touts les longueurs du
métal-6 pour diminuer la résistivité des pistes.
La (figure IV.25) présente le layout du LNA vérifier avec DRC et LVS et il ne
présente aucune erreur.
On à fait aussi extraction des composant parasites avec (PLS extract) puis on à fait la
simulation post-layout et on à comparer les résultats avec la simulation du schématique les
résultats seront représenté à la fin de ce chapitre.
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Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Comme on à préciser dans le chapitre 3 le buffer est aussi important pour une bonne
adaptation de la sortie du LNA et pour garantir une bonne stabilité de l’ensemble, donc on a
besoin d’une implémentation parfaite du layout du buffer.
Le buffer est implémenté séparément de la même façon que le LNA, divisé en trois blocs
pour facilité le routage, le bloc le plus délicat et le routage des transistors, on a commencé par
instancier les deux NMOS cote à cote puis on les à interconnecté avec du métal-4 de la même
façon que le routage de (Current Reuse du LNA), en suite en procède au routage de l’entré qui
comporte une capacité et une résistance, en fin en place la capacité de sortie et on
interconnecte l’ensembles avec métal-6 et métal-1 pour (gnd) La (figure IV.26) représente le
layout des blocs du Buffer implémenté.
79
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
La (figure IV.27) présente le layout final du buffer implémenté sur (Virtuoso Layout Editor).
Le routage du buffer et LNA ensemble est facile, il suffit de connecté la sortie du LNA
vers l’entrée du buffer avec du métal-6 et interconnecté gnd avec métal-1, le buffer est
positionner d’une manier à ce que sa sortie sera éloigné de l’entré du LNA pour facilité le
positionnement des pads La (figure IV.28) présente le layout du (LNA+buffer).
80
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Pour finaliser le routage du LNA nous allons ajouter des plots (PAD) et des capacités de
découplage. Leur placement et positionnement à bien été étudié selon plusieurs facteurs.
4.8.4.1. Les plots (PAD)
Les pad sont des éléments très essentiels pour la finalisation du layout du circuit
intégrée, leurs rôle est multiples :
- Protection du circuit contre les décharges électrostatiques (ESD)
- Connexions pour le testes avec la station de test sous pointes lorsque le circuit sera
fabriquer.
81
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Pour le LNA on à utilisé les pads qui ont étés présenté dans la (figure IV.10) (I/O) pour
entré sortie RF et alimentation DC, (gnd) pour la masse.
Pour la disposition de ces pads on à commencé par placé le pad entrée du coté droit
avec deux pads (gnd) en suite le pad sortie du coté gauche aussi avec deux pads (gnd) + pad V
contrôle (vctl), les autres pads d’alimentation (vdc, vdd, vbias<3>, vbias<2>, vbias<1>) sont
placées on suivant cette ordre en bas du LNA et on à laisser 20 μm entre chaque pad pour
qu’il soit compatible avec la station de test sous pointes du CDTA. Pour le routage on a utilisé
le métal-6 pour les pistes RF et DC, et métal-1 pour les pistes GND puis on à ajouté sur tout le
métal-6 l’aluminium (alucap-mim) en fin en interconnecte tous les pads avec métal-1comme
il est représenté dans la (figure IV.30).
Sachant que la piste vdd qui est entre les transistors d’entrée et l’inductance intégré
présente une résistance parasite Rs proche de 0 et une inductance parasite série Ls de quelques
nH qui sont négligeable mais qui créent des harmoniques de hautes fréquences nuisible pour
le LNA ces harmoniques de hautes fréquences sont évacuer vers la masse avec des capacités
de découplages qui augmente donc l'immunité électromagnétique de la puce.
La (figure IV.29) présente le layout et le schématique de la capacité de découplage
utilisé pour notre circuit. Il présente deux condensateurs en parallèle (C0=0.8 pF, C1=3pF).
82
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
A la fin du routage de chaque sous-blocs et chaque blocs une comparaison entre layout
et schématique avec (LVS) est obligatoire pour savoir si le layout correspond bien au
schématique et que tous les nœuds (pin) sont bien pris en compte, on à préférer présenter le
résultat de vérification (LVS) globale du LNA les résultats de la vérification son présentés
dans la (figure IV.31).
83
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Nous constatons que tous les nœuds on étés reconnu et que tous les sous-blocs on été tracé
dans la fenêtre de vérification Layout de LVS. Nous pouvons maintenant passer au poste
layout simulation.
84
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Avant de faire la simulation Post-layout on doit d’abord faire extraction des parasites
avec le logiciel (PLS extract) en suivant les étapes suivantes :
Une fois que on à fini le dessin de masque et que on à corrigé toutes les erreurs lors de
la vérification DRC et LVS, on peut à présent lancer extraction des composants parasite de
type (RCc) toolsPost layout simulationschématic with skiped cells dans cette fenêtre
on fait quelques réglages puis on lance l’extraction en appuyant sur RUN PLS voire (figure
IV.33)
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Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Une fois que le logiciel à fini l’extraction deux fichiers seront ajouter dans Library-
Cell-View qui sont : PLS extracted et PLSsch_RCMAX_RCc. Ce dernier est très important
pour la simulation post-layout.
Nous avons effectué une extraction RCc incluant dans la netlist des résistances et
capacités parasites. Nous avons simulé à chaque fois, les performances linéaires (paramètres S
et NF) et Gain en tension du LNA+Buffer.
On doit refaire la simulation du schématique pour la comparer avec la simulation Post-
Layout pour cela en vas faire deux simulation une avec (PLSsch_RCMAX_RCc) une autre
schématique puis on compare les résultats.
86
Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Schématique Post-Layout
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Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
4.9.5.2) Paramètres S
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Chapitre 4 Méthodologie de dessin des masques du LNA
Les performances et mesures finales de test obtenues par des simulations d’extraction
de type (RCMAX RCc) et schématique. On constate que les valeurs des performances et
mesures de test sont en dehors des spécifications déduites par les simulations au niveau
schématique. Les performances à 2.4 GHz et les mesures de test relevées sont résumées dans
le (tableau IV.2). On y remarque un coefficient de réflexion S11 au dessus de la spécification
de 2dB dans le pire cas, à l’exception de S22, un gain qui perd au minimum 1.5 dB, une figure
de bruit qui augmente de 0.56 dB. Ces pertes semblent être dues à des résistances et capacités
parasites du au polysilicium des grilles des transistors et à la résistance des pistes entrées et
sorties.
Nous avons fait plusieurs modifications au niveau schématique afin de réduire les
résistances et les capacités parasites, on à pu arriver à des résultats satisfaisants qui sont
illustrés dans les (figures IV.36 (a)-(b)).
4.10. Conclusion
Dans ce chapitre nous avons présenté les méthodes que nous avons suivez pour le
dessin de masque du LNA étudié dans le chapitre 3 puis nous avons effectué une simulation
Post-layout pour prendre en compte les effets des interconnections et afin d’obtenir le
fonctionnement réel du circuit.
Une approche pragmatique du problème du dessin du layout de circuit analogique a
été présentée dans ce chapitre. Le fait que le circuit est dessiné manuellement, donc nous
n’avons pas pu statuées toutes les contraintes explicitement, qui sont :
- La résistance série des pistes
- Les capacités parasites
- Les contraintes technologiques des composants.
On à minimiser au maximum la contrainte classique de minimisation de la surface totale de
silicium occupée, contrainte directement liée au coût de fabrication.
89
Conclusion
Conclusion général
De façon à palier à toutes ces limitations, nous avons commencé dans le chapitre 2 à
étudié les différentes architectures de réception radio fréquences et les différentes topologies
d’amplificateurs et faire une comparaison pour en choisir celles qui défies les limitations.
90
Références bibliographiques
Références bibliographiques
[3] : F. Anceau ; Y .Bonnassieux << conception des circuits VLSI >> dunaud, paris 2007.
[4] : J. Innocenti << conception et procèdes de fabrication avancés pour l’électronique ultra-
basse consommation en technologie CMOS 80nm avec mémoire non-volatile embarquée >>
université Nice sophia antipois 10/12/2015.
[5] : F. djefal << Modélisation et simulation prédictive du transistor MOSFET fortement
submicronique. Application à la conception des dispositifs intégrés >> 19/04/2006.
[6] D.Clein CMOS IC LAYOUT Concepts, Methodologies, and Tools
[7] : B .Mohand Outahar ;<< évolution de transistor submicronique dans les technologies
CMOS silicium 45nm >> 17/12/2008.
[8] : M .Boudiaf << étude et modélisation d’un transistor MOSFET à double grille >>
27/06/2012.
[9] : T. SKOTNICKI ; Article << technique de l’ingénieur transistor MOS et sa technologie
de fabrication >> 10/02/2000.
[10] : Y .Guerfi << Réalisation et caractérisation de transistor MOS à base des nano fils
verticaux en silicium >> 13/10/2016.
[11] : K. Romanjek ; << Caractérisation et modélisation des transistors CMOS des
technologies 50nm >> 01/03/2010.
[12] : J. kilby ; << Miniaturized electronic circuits >> , patent N°3-138-743(1959).
[13] : D. Brahim << étude et modélisation compacte d’un transistor MOS SOI double-grille
dédie à la conception >> 16/11/2007.
[14] : I. Mahdjoub ; K. Hakima ; << Etude et conception d’un bio-amplificateur à faible bruit
en technologie CMOS 1um >> 26/06/2012.
[15] : M. Yousfi Sidi Ali ; << contribution à la conception d’un amplificateur à faible bruit
ultra large en technologie CMOS >> CDTA 2009.
[17] : M. Mabrouki << Mise en œuvre de l’effet de substrat dans la conception des
amplificateurs faible bruit sous contrainte de faible puissance >> 09/12/2010.
[18] : Z. Liang << Architecture d’amplificateur faible bruit large bande multistandard avec
gestion optimale de la consommation >> 08/092016.
Références bibliographiques
[21] MABROUKI A., Mise en œuvre de l’effet de substrat dans la conception des
Amplificateurs faible bruit sous contrainte de faible puissance. Thèse en électronique,
Université Bourdeaux1, 2010.
[25] Taris Thierry (2010). Current reuse topology in UWB CMOS LNA, Advanced
Microwave Circuits and Systems, Vitaliy Zhurbenko (Ed.), ISBN: 978-953-307-087-2,
InTech, Available from:
[28] ULSI Front-End Technology, Covering from the first semiconductor Paper to CMOS
FINFET Technology, W.S.LAU; Worled Scientific 2018.
http://www.intechopen.com/books/advanced-microwave-circuits-and-systems/current-reuse-
topology-in-uwb-cmos-lna
L'outil cadence est une chaîne complète et complexe de conception qui propose un
ensemble de logiciels répondant à la quasi totalité des besoins dans les domaines :
La (figure 2) décrit le flot typique de conception du schéma électrique d’un circuit analogique
dans l’environnement Cadence. Le démarrage du logiciel doit inclure toute une phase de
configuration de variables d’environnement pour qu’il se lance correctement. Un design kit
est chargé au démarrage afin de relier le circuit simulé à un Process technologique. Les
circuits qui vont être produits doivent être organisés au sein de librairies, associées avec des
design kits. L’environnement Cadence propose de nombreux outils à partir d’une interface
commune, parmi lesquels on trouve des outils de saisie de schématique comme (Virtuoso
Schematic Editor) et de simulation électrique (comme Spectre), et d’un autre outille de dessin
de masque comme (Virtuoso Layout Editor) qui inclut la vérification et la simulation post-
layout (PLSsch_RCMAX_RCc).
L’utilisation d’un design kit est nécessaire lors des phases de conception d’un circuit
intégré, qui doit se faire en accord avec une technologie de fabrication existante. Un design kit
réunit l’ensemble des informations reliées à un Process technologique, permettant de simuler
un circuit et de le router. Il contient ainsi l’ensemble des modèles électriques des composants
élémentaires pouvant être fabriqués à l’aide du Process technologique (par exemple, des
transistors MOS et bipolaires, des résistances, des inductances et des capacités intégrées Dans
le cadre de ce travail, nous avons utilisé un design kit fourni par la société STMicroelectronics
(CMP), fondeurs de circuits en technologies CMOS. Le design kit employé s’appelle IC
130nm HCMOS9GP version 9.2. Il inclut des librairies complètes de design reliées au Process
technologique IC 0.13μm.
Parmi les librairies proposées, nous allons utiliser dans le cadre de notre travail les librairies
liées au Process IC 130nm HCMOS9GP à 6 niveaux de métaux. Ce design kit contient les
librairies suivantes […] :
ANNEXE 1 CADENCE IC
- La librairie analogLib qui inclut l’ensemble des sources, des symboles de tension et
d’alimentation, d’éléments passifs et actifs idéals.
- La librairie Devices_symbols qui inclut nos deux model de transistors PMOS et
NMOS.
- La librairie Devices_symbols_a qui inclut les composants Actifs intégrés
(inductances, résistances, capacités).
- La librairie Devices_symbols_RF qui inclut les tous les composant dans des
conditions de Process différents.
- La librairie IOLIB_65_M6_LL qui inclut des Model de Pads entrée sortie.
2. Dessin de masque
Le dessin des masques se fait dans une fenêtre de type Layout. Pour cela, il faut créer
une vue layout sur la cellule LNA dans le library manager. L’outil de conception du layout
s’appelle Virtuoso.
La vérification LVS (Layout Versus Schematic), qui vise à garantir que le layout est
bien équivalent au schéma de départ.
ANNEXE 1 CADENCE IC
4. GDSII
Le GDS II est un format de fichier binaire utilisé pour représenter le dessin physique
d'un circuit intégré (le layout). Il code une base de données contenant des formes
géométriques planes, des labels textuels, et des informations sur l'organisation hiérarchique du
dessin.
1. Figure de bruit
Pour faire les calcules analytique du bruite du LNA suivez d’un convertisseur de
fréquences comme il est représenté dans la (figure 1) on doit suivre les étapes suivantes :
= ∗
(2.1)
: Le bruit de sortie ,
: Le bruit d’entrée =4
: Le gain du signal
,
= (2.2)
∗
1.1.Facteur de bruit NF :
,
= (2.3)
∗
, = , +( + ) (2.4)
, ( ) ,
= ∗
= ∗
+ (2.5)
, = , + + (2.6)
,
= ∗
(2.7)
,
= ∗
+ = + (2.8)
2. La résistance d’entrée
Pour le calcule analytique de la résistance d’entrée le circuit (a) et simplifier en (b) (figure 3) :
= + (2.9)
+ = (2.10)
= − (2.11)
= + − (2.12)
= + =( + ) (2.13)
= (2.14)
La description analytique du circuit est réalisée à partir du schéma petit signaux défini
dans la (Figure 4). La topologie de source commune complémentaire (figure III.2) peut être
représentée en modèle petits signaux.
=− + (2.15)
+ = (2.16)
(2.16) = −
(2.15) =− + −
+ = −( − ) (2.17)
( )
= =− =− − // (2.18)
= −( − ) // (2.19)
Quand = :
= (2.20)
= ==≫ = (2.21)
ANNEXE 2 Calcules analytiques du LNA
=− − //
+( + ) = (2.22)
(2.22) = −
= − (2.23)
=− ( − ) + (2.24)
( ) ( )
=− + − (2.25)
( ) ( )
=− + − (2.26)
( + =( − ) (2.27)
( )
= = ( )
(2.28)
( )
= ( )
(2.29)
( )
= ( )
(2.30)
= = (2.31)
( )
= ( )
= −( − ) ( )
(2.32)
=− − = (2.33)
Résumé
Mots-clés :
CMOS, Conception de circuits RF, Réseau de capteurs sans fil, Amplificateur à faible bruit
(LNA), dessin de masque (Layout), CADENCE IC, Analogique RF.