Cap 1 A Conc Bas

MICROSCOPÍA ELECTRÓNICA
CAPITULO I
CONCEPTOS BÁSICOS DE LA MICROSCOPÍA
ELECTRÓNICA
Prof.: Ing. Julián Nieto Quispe
2018
1. Introducción
2. Breve historia de la microscopia electrónica
3. Tipos de microscopios electrónicos
4. Comparación entre microscopio óptico y
microscopio electrónico
5. Fabricantes de microscopios electrónicos
6. Campos de aplicación de la microscopia electrónica
Un microscopio es un sistema óptico que transforma un “objeto”
en una imagen. Nosotros generalmente estamos interesados en
obtener una imagen mucho más grande que el objeto, este
aumento puede hacerse de muchas maneras.
En esta ocasión se estudiará varias técnicas sofisticadas para
obtener imágenes agrandadas de objetos muy pequeños, pero
muchos de los principios básico considerados son iguales a los del
microscopio óptico, desarrollado durante los últimos 400 años con
la única diferencia que estaremos tratando de haz de electrones en
lugar de rayos de luz.
El concepto de resolución, aumento (magnificación), profundidad
de campo y aberraciones de los lentes son muy importantes en
microscopía electrónica como en la microscopía óptica. Así
aunque aparentemente más complejo y ciertamente mucho más
caro, los microscopios electrónicos, son tan fáciles de entender (en
sus principios básicos) como su humilde y compacto compañero,
la lupa.
Las técnicas que se estudiarán, en el presente curso, esta el
microscopio electrónico de barrido (MEB o SEM) y el microscopio
electrónico de transmisión MET o TEM) y las respectivas técnicas
analíticas disponibles en uso. A un nivel más simple un SEM
proporciona imágenes de la morfología externa de los objetos,
bastante similar en apariencia a aquellos formados por el ojo humano,
mientras que un TEM sondea la estructura interna de sólidos y nos
proporciona detalles de la microestructura o subestructura que no son
familiares al ojo humano.
En ambos casos pueden formarse diferentes tipos de imágenes. Por
consiguiente no sólo es necesario comprender como trabajan tales
microscopios, sino que también es necesario saber interpretar las
imágenes que ellos producen. Esto es particularmente cierto para el
TEM.
• La dualidad onda-partícula:
• En 1924 Louis De Broglie (Frances)
• Propuso que las partículas aceleradas se
comportarían en forma ondulatoria cumpliendo la
siguiente ecuación:
• λ=h/mv
• 1926 Teoría de Busch que determina que los
campos magnéticos afectan a los electrones
acelerados
En 1927 (Davison, Germer EU-Thopmson en
Inglaterra) demuestran que los electrones
acelerados se comportan como ondas con todas las
propiedades características de ellas.
• En 1928-29 Ruska comprobo la teoría de Busch
que indica que un campo electromagnético desvía
un haz de electrones.
• En 1931 junto con el Dr. Max Knoll construyen el
primer primitivo microscopio electrónico
Ernst Ruska
• En 1933 construyen
el primer
microscopio
electrónico con una
resolución mayor
que el de un óptico.
• En 1935 Knoll diseña

el primer microscopio
electrónico de barrido.
• En 1986 Ernst Ruska
recibe el premio
Nobel de Física por
la invención del
microscopio
electrónico
compartiéndolo con
los inventores del
STM. (SEM+TEM)
Ernst Ruska
• A finales de los 40´s el Dr. Oatley
investigador de la universidad de
Cambridge en Inglaterra se
interesa en la construcción de un
SEM practico y en conjunto con su
grupo desarrolla por varios años
algunos prototipos de SEM´s y no
es sino hasta mediados de los 60´s
que se construye el primer SEM
comercial.
• Cuando la compañía que
construyo comercialmente los
primeros SEM´s hizo un estudio de
mercado llego a la conclusión que
entre 6 y 10 equipos saturarían el
mercado mundial.
Inovación Evolución Revolución
MICROSCOPIO ELECTRÓNICO DE TRANSMISIÓN
El microscopio electrónico de transmisión emite un haz

de electrones dirigido hacia el objeto cuya imagen se
desea aumentar. Una parte de los electrones rebotan o son
absorbidos por el objeto y otros lo atraviesan formando
una imagen aumentada de la muestra.
Permite la observación de muestras de cortes muy finos.

Una parte de los electrones son absorbidos o rebotan por
el objeto y otros lo atraviesan formando una imagen
aumentada del objeto en cuestión. Las muestras no deben
ser mayores de un par de miles de ángstroms (1 ángstrom
es igual a 0.0000000001 metros). Se ha de colocar una
placa fotográfica detrás del objeto para registrar la imagen
aumentada. Cabe destacar que este tipo de microscopios
pueden aumentar un objeto hasta un millón de veces.
MICROSCOPIO ELECTRÓNICO DE BARRIDO
El MEB explora la superficie de la

imagen punto por punto, y recorre la
muestra con un haz muy concentrado
de electrones. Cada punto leído de la
muestra corresponde a un píxel, de
forma que cuantos más electrones
haya, mayor será el brillo del píxel en
el monitor. A medida que el haz de
electrones barre la muestra, se
presenta la imagen de ésta en el
monitor.
MICROSCOPIO ELECTRÓNICO DE BARRIDO
En el microscopio electrónico de
barrido la muestra es recubierta con
una capa de metal delgado, y es
barrida con electrones enviados desde
un cañón. Un detector mide la cantidad
de electrones enviados que arroja la
intensidad de la zona de muestra,
siendo capaz de mostrar figuras en tres
dimensiones, proyectado en una
imagen de TV. Permite obtener
imágenes de gran resolución en
materiales pétreos, metálicos y
orgánicos. La luz se sustituye por un
haz de electrones, las lentes por
electroimanes y las muestras se hacen
conductoras metalizando su superficie
Microscopio Electrónico de Barrido Ambiental
(ESEM)
Ultima generación, que

admite el análisis de muestras
en estado natural o bajo
condiciones ambientales, sin
necesidad de usar técnicas
convencionales de preparación
de muestras. Además, es
posible utilizar régimen de
alto vacío de forma similar a
los microscopios SEM
convencionales.
Microscopio Electrónico de Barrido para
Transmisión (STEM)
Es un tipo de microscopio electrónico de
transmisión que permite capturar los electrones
que atraviesan la muestras como ocurre en un
TEM normalmente, pero tiene asociado un
detector de electrones secundarios (aquellos que
se desprenden de la muestra cuando el choca con
ella: fundamento técnico del SEM) permitiendo
obtener una imagen de barrido de un punto de
terminado de la muestra.
Obviamente, las muestras dirigidas a este tipo de
microscopio deben ser láminas finas, con el fin de
que los electrones puedan atravesarla. En realidad,
la utilización más cercana con el SEM es que
lleva asociado una sonda de rayos X, lo que
permite analizar químicamente puntos
determinados de la muestra.
Microscopio Electrónico de Barrido de Congelación
(Cryo-SEM)
• Es un tipo de microscopio electrónico que

basa su funcionamiento sobre muestras
congeladas. La congelación de la muestra
se realiza una vez puesta sobre el pedestal
introduciéndola en nitrógeno líquido.
• El pedestal se acopla a una varilla que es
introducida en un compartimento
cilíndrico con nitrógeno líquido, estructura
que se acopla a una la unidad de alto vacío
del SEM que mantiene la congelación.
• Una vez metalizada la muestra se introduce
en la cámara de alto vacío de observación,
mediante un sistema mecánico interno,
pudiendo analizar la muestra como un
SEM normal.
TESCAN Linea de producto
Más de 2000 SEM’s instalados en

todo el mundo
XEIA3
MIRA3: Alta Brillantez
Fuente de Emisión de Campo: Emisor

Schottky de Alto Brillo
Corriente Alta
Alta Resolución
Imágenes de Bajo ruido
Óptica de Campo Amplio basado en un diseño

único de tres lentes que trabajan en combinación
permitiendo diferentes modos de imagen
Seguimiento del haz de electrones en tiempo real
Configuración de la Columna completamente

automatizada
MIRA3: Alta Brillantez
Imagen rápida por Detectores SE – BSE de

primera clase, basada en scintilladores YAG que
permiten una mejor relación señal/ruido, por lo
tanto la señal final es de mejor calidad
Potencial Analítico robusto proporcionado por

Detectores EDX, WDX, ESBD y Detector BSE
Excelente rendimiento a bajas tensiones de

aceleración con imágenes de primera clase,
usando la Tecnología de Desaceleración del Haz
– Ideal para muestras no-conductoras
Excelentes propiedades Óptico-Ecetrónicas que

reducen drásticamente las aberraciones ópticas
Soluciones integradas avanzadas en términos de

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MICROSCOPÍA ELECTRÓNICA

Prof.: Ing. Julián Nieto Quispe

• En 1935 Knoll diseña

El microscopio electrónico de transmisión emite un haz

Permite la observación de muestras de cortes muy finos.

El MEB explora la superficie de la

Ultima generación, que

• Es un tipo de microscopio electrónico que

Más de 2000 SEM’s instalados en

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