締切済み シリコン基板に酸化亜鉛膜の生成したいのですが 2007/05/14 11:36 酸化亜鉛は基盤に対して垂直の柱状に成長させる事が可能との事なので、Si基板上にその様な膜を作りたいのです。（イメージとしては毛の短いブラシの様な） 何かノウハウはあるでしょうか。 みんなの回答 （3） 専門家の回答 みんなの回答 ayuhera ベストアンサー率0% (0/0) 2009/08/11 11:49 回答No.3 ブラシのようなものなら、以下のサイトにあります 参考URL： http://www.nanonet.go.jp/japanese/facility/report/t-074.pdf 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 sol-gel ベストアンサー率50% (2/4) 2007/05/14 22:45 回答No.2 垂直の柱状にするには乾式だとなかなか難しいように思います。アモルファス状になってしまうような気がします。 やったことがないのでなんとも言えないのですが… 液相法は装置も簡単なので参考にしてみる価値はあると思いますよ。 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 sol-gel ベストアンサー率50% (2/4) 2007/05/14 19:09 回答No.1 ＬＰＥ法やＬＰＤ法など結晶成長がしやすい液相法でチャレンジしてみてはどうでしょうか。 LPE…Liquid Phase Epitaxial LPD…Liquid Phase Diposition 質問者 お礼 2007/05/14 19:34 ありがとうございます。 乾式製膜法では無理ですか？設備的にそちらの方が整っているのですが、スパッタなどではどうでしょう。 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 カテゴリ 学問・教育自然科学化学 関連するQ&A フォトレジストの基板密着性について 実験で、熱酸化膜付きのSi基板やガラスにポジ型のフォトレジストをスピンコート塗布～パターニングしてエッチング処理を行っています。 熱酸化膜とフォトレジストの密着性は良いのですが、 ガラス(おそらく石英)とフォトレジストの密着性が悪いです。 どちらもSiO2だと思うのですが、なぜ密着性に差が出るのかご教授いただけませんか。 化合物半導体（GaAs）の自然酸化膜について 化合物半導体（GaAs）を新たに担当する事になりました。そこで疑問なのですが通常のSiでは自然酸化膜（SiO2）が出来ると思いますが・・・同じ様にGaAs等の化合物半導体の表面にも自然酸化膜は出来るのでしょうか？その時に出来た膜の科学式は何になりますか？（酸化ガリウム？酸化砒素？）また、この膜を除去するにはどの様な薬品orガスで処理するのでしょうか？ 酸化亜鉛系透明導電膜へ真空熱アニール 多結晶GZO透明導電膜を真空チャンバー内で酸素を導入し500℃でヒータ加熱を行うとホール移動度が上昇しキャリア密度が低下します。またXRDアウトプレーンでZnOの(002)のピーク値が熱アニール後大きく伸び半値幅も小さくなっていることからC軸方向に強く結晶成長しているのではないかと思われます。私の分析としては膜内の亜鉛やガリウムが500℃程度では原子配列が変化するとは到底考えにくいので、膜内の酸素欠損部分に酸素が入り込み酸化が進行し結晶の補強と酸素欠損で生じていたキャリアを消失させる働きが作用しこのような結果になったのではないのかと思います。この考察に対して皆さんの多彩な意見やアドバイスを頂ければと思います。 天文学のお話。日本ではどのように考えられていた？ OKWAVE コラム Si基板とその上に蒸着したAuでAu-Siの共晶… Si基板とその上に蒸着したAuでAu-Siの共晶を確実に作る方法 トランジスタ組立の際のダイボンドについて、以前No11808（共晶ダイボンド＊＊）ではAuとAgの接合について質問がありましたが、今度はAuとSiの共晶化について教えてください。Si基板裏面にAuを１ミクロン程蒸着したものと、Agメッキのリードフレームをダイボンドしていますが、時により剥離します。この場合Auとリードフレームは強固に接合するのですが、SiとAu間が剥離するようです。ダイボンド前に高温シンターでSi基板とAuをなじませ、Au-Siの共晶半田をつくることをアドバイスされましたが、シンター時間、温度などは何に注意してきまたらいいでしょうか？特にやりすぎる（時間、温度を過度に設定する）と何か悪いことが起きる（たとえば、酸化膜ができるとかAuがSi基板の中に吸い込まれてSしまうとか）でしょうか？ 以上よろしくお願いします 透明導電膜に用いるAZOについて 透明導電膜に用いるAZOについて 透明導電膜について勉強しているのですが、AZOについて分からない事があるので質問します。 AZOの作製方法を論文やインターネットなどで色々見ていると、AZOはZnO（酸化亜鉛）にAlを添加したもの。 と、書いてあるのもあればZnOにAl2O3（アルミナ）を添加したものと書いてあるのもあります。 どっちでもAZOは作製出来るのでしょうか？ また、アルミナを添加する場合は絶縁物であるのに何故添加する必要があるのでしょうか？ 細かい質問ですがよろしくお願いします。 基盤に付着した酸化ｼﾘｺﾝの定量化 はじめまして，皆様方の経験・知恵をお借りしたく，投稿させて頂きました。 接触式センサーにおいて，シロキサンｶﾞｽ接点障害に関するﾀﾌﾈｽ試験を行っております。酸化ｼﾘｺﾝ(sio2)が付着した際，接点障害になるﾒｶﾆｽﾞﾑは勉強し理解できたのですが，その次のステップとして，接点障害になる際の酸化ｼﾘｺﾝ付着量を定量化したいです。 ?基盤に付いた酸化ｼﾘｺﾝを定量化する最適な方法をどなたか教えていただけますでしょうか。 ?定量化できるなら，使用する単位は何が適しておりますでしょうか？ （個人での調査結果） ?素人ながら，いろいろ解析方法を調査したところ， EPMA解析を使えば付着量濃度がわかるそうですが，SiとO2で分離して濃度測定結果が出る可能性があります。その場合，酸化ｼﾘｺﾝ(sio2)として正確な値とはならないと思うので，その辺の解釈に関してご存知の方はご教授願います。 ?ｇなら理解しやすいのですが，ppmなら取り扱いかた(考え方)で注意が必要かもしれません。事前に調査しておくべき事があれば，ご指摘いただけますでしょうか。 以上，大変不躾ですが，皆様方のご教授をお待ちしております。宜しくお願いします。 硬質基板Ｗ/Ｂ変色について 基板のＷ/Ｂ部が実装リフロー後に赤く変色します『基板構成：銅、ニッケル、金メッキ処理』 アルコールで拭くと表面の変色は無くなりますが現状発生原因がわかりません あるメーカー様見解は金/ニッケルメッキは小さな穴（ピンホール）が無数に 空いている為に、その穴から吸湿すると下地の銅が酸化され赤く変色して見えます。メッキ厚が薄い製品など顕著に変色が発生しますとの事でした。尚アルコールで拭くと表面酸化膜は除去されます。 現状基板はビニール梱包の中にシリカゲルが入った状態で納入されその後実装時は開封され最終工程まで基板ははだかの状態です Ｗ/Ｂ変色の原因と対策が分かれば教えていただけないでしょうか 変色はある程度基板（機種）が限定されます どうかよろしくお願いします 人工ダイヤモンドで氷を切る 「人工ダイヤモンドの薄板を手で持って氷を切るとすぱすぱと切れる。つまり、それほどダイヤモンドが熱伝導性に優れている」という話がありますが、この現象に関して質問です。 人工ダイヤモンドの下地基板は、厚さ～1mm程度のSiが一般的なもので、Siの熱伝導率は160程度、人工ダイヤモンドは1000程度でした。仮にダイヤモンドを1mm程度つけたというのなら、この現象も幾分かは納得できそうなのですが、調べるとダイヤモンドコーティングとは～数十μm程度が一般的でした。 上述の現象において、どの程度の膜をつけたのか定かではありませんが、仮に、～数十μmのダイヤモンドをSi基板につけたとして、同じような現象は起こるのでしょうか？あくまでイメージですが、その程度の膜厚では熱伝導率に影響しないように思えるのですが。 ご回答よろしくお願いします。 金属薄膜について教えてください ご教授下さい！何日か前に私は高純度なインジウムのスパッタリングを試みました。Si基板上にスパッタを行ったのですが、期待していた膜の色（金属色）にはならず、やや黒っぽい灰色の膜が形成されていました。顕微鏡で内部を見るとインジウム粒子が光沢を放っている部分はあるのですが、Siと合金になってしまったような部分(黒い粒子）も見受けられます。 そこで、インジウムをSi上にスパッタした事のある方、又は薄膜形成に詳しい方、教えてください。内部に金属光沢があっても、薄膜表面の色（干渉色）が金属色でなければスパッタされたとは言えないでしょうか？また、インジウムをSi上に直接スパッタすると何らかの合金になってしまうのでしょうか？教えてください！ MOS(Metal-Oxide-Semicond… MOS(Metal-Oxide-Semiconductor)構造について 違うカテゴリーで質問したのですが、もう一度質問させてもらいます。 ゲートが隣接してソースが形成されており、その電子濃度は2.0×10^19[cm^3]である。また、基板の濃度は1.0×10^15[cm^3]とする。 ソースの電子を酸化膜と基板の界面に誘起するために必要なゲート電圧[VG]（←Gは添字）を求めよ。但し、基板は接地されているものとして、以下の値を使用せよ。 Tox＝50[nm]、Nd＝2.0×10^19[cm^3]、Na＝1.0×10^15[cm^3]、KT/ｑ＝0.026[eV] ↑のような課題が出ています。このような問題を解く際、必要になる学問領域を教えてください。上の文章だけで、理解し、問題が解ける方は、解放も教えていただけるとありがたいです。 この問題には、図もあり、分かりにくいですが、下に作ってみました。 ゲート電圧 VG | | | --------------------------- | ゲート電極 | |---------------------------| |////ゲート酸化膜 50[nm]////| ----------------------------------------------------- ソース | Nd＝2.0×10^19[cm^3] | --------------------- p型Si基板 Na＝1.0×10^15[cm^3] ------------------------------------------------------ | | ------------------ ////////////////// 詳しい方、回答お願いします。答えとアドバイス、両方いただけるとありがたいです。 シリコン酸化膜の英語 シリコン酸化膜（SiO2）の英訳は、 silicon oxide film silicon dioxide film の２つがあるようですが、どう違うでしょうか？ 【亜鉛を酸化させた酸化亜鉛はどういうとき使われてい 【亜鉛を酸化させた酸化亜鉛はどういうとき使われていますか？】 なぜ亜鉛をわざわざ酸化させて酸化亜鉛にする必要があるのでしょうか? 日本史の転換点？：赤穂浪士、池田屋事件、禁門の変に見る武士の忠義と正義 OKWAVE コラム 酸化亜鉛 硫酸亜鉛と水を混ぜた溶液を作り、加熱して酸化亜鉛を作ることは可能でしょうか？分かる方は化学反応式を合わせて教えてください。 また、酸化亜鉛ができる原料があれば教えてください。 よろしくお願いします。 酸化亜鉛について 酸化亜鉛は水に入れると、還元されて亜鉛になりますか？ 又、酸化亜鉛を還元するような液体はありますか？ 酸化亜鉛 酸化亜鉛のz-coteってどんな技術なんですか？ 何でコーティングされているんですか？ シリコン酸化膜、窒化膜、酸窒化膜の違いについて 現在半導体について勉強をしている者です。 基本的なことかもしれませんが、質問をさせて下さい。 標題の通りですが、調べたところゲート絶縁膜や保護膜として酸化膜、窒化膜、 酸窒化膜という3種類が出て参りました。 これらの用途の違いや性能の違いなどは調べてもどこにも出てきません。 誠に恐れ入りますが、これらについてご教授頂ければと思います。 また同様の用途で別の層が存在するようでしたらご教授下さい。 何卒よろしくお願い申し上げます。 シリコン基板について質問です。私はカーボンナノチューブをシリコン基板状 シリコン基板について質問です。私はカーボンナノチューブをシリコン基板状に生成する研究をしています。論文などを見ると使用している基板の面が(111)面だったり(100)面だったりしていますが、面を変える意味ってあるのでしょうか？宜しくお願いします。 塩化亜鉛と酸化亜鉛を混ぜると？ 塩化亜鉛と酸化亜鉛を混ぜるとどのような反応が予想されますでしょうか？ それぞれを含む軟膏を混合して使用しようと考えているのですが。 水酸化亜鉛から酸化亜鉛をつくる 水酸化亜鉛Ｚｎ（ＯＨ）２から水Ｈ２Ｏをとると、酸化亜鉛ＺｎＯになりますが、 実際は何℃くらいで焼けばよいのでしょうか。 酸化鉄の生成 中学理科に関して質問なのですが、酸化鉄を作る実験の問題で、酸化鉄をのせた皿をガスバーナーで弱火で加熱するとあったのですが、その理由としては「酸化鉄全体に熱がいきわたるように」だそうです。どうして弱火で加熱すると温度が全体にいきわたるのですか？強火ではだめなんですか？ 回答の方、よろしくお願いいたします。 注目のQ&A 私はとてつもなく運が悪いです。 外付けHDD「このフォルダーは空です」 中3 夢に向かって努力をしたい 自分を変えたい 出会い系で知り合った人妻について 一方的に親友に縁を切られました LIFEBOOK A577/P A746 飲み薬 タイヤ比較検討 パソコンのスペック 突然、知らない親族の未払金支払い通知が届きました カテゴリ 学問・教育 自然科学 理科（小学校・中学校）化学物理学科学生物学地学天文学・宇宙科学環境学・生態学その他（自然科学） カテゴリ一覧を見る OKWAVE コラム 美容男子ミドル世代の悩み解決？休日ファッション・爪・目元ケア プラモデル塗装のコツとは？初心者向けガイド 突然のトラブル？プリンター・メール・LINE編 携帯料金を賢く見直す！格安SIMと端末選びのポイントは？ 友達って必要？友情って何だろう あなたにピッタリな商品が見つかる！ OKWAVE セレクト コスメ化粧品 化粧水・クレンジングなど 健康食品・サプリ コンブチャなど バス用品 入浴剤・アミノ酸シャンプーなど スマホアプリ マッチングアプリなど ヘアケア 白髪染めヘアカラーなど インターネット回線 プロバイダ、光回線など
お礼
ありがとうございます。 乾式製膜法では無理ですか？設備的にそちらの方が整っているのですが、スパッタなどではどうでしょう。